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一種多晶硅料的清洗工藝的制作方法

文檔序號(hào):3458062閱讀:813來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:一種多晶硅料的清洗工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種多晶硅料的清洗工藝,特別是一種用于拉制單晶用的多晶硅料的清洗工藝。
背景技術(shù)
單晶硅太陽(yáng)能電池比多晶硅太陽(yáng)能電池發(fā)電效率高1_2%,所以單晶硅電池很受歡迎。拉制單晶硅棒和多晶硅錠一樣都使用多晶硅原料,而其所用原料都需清洗,去除硅料表面雜質(zhì)。單晶拉制用多晶硅料,目前采用手動(dòng)和機(jī)動(dòng)清洗方式,存在用酸成本偏高和清洗質(zhì)量偏低問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明其目的就在于提供一種多晶硅料的清洗工藝,解決了多晶硅料清洗成本偏高和清洗質(zhì)量偏低的問(wèn)題。具有成本低、質(zhì)量好的特點(diǎn),且操作簡(jiǎn)單、方便。本發(fā)明工藝路線為多晶硅料裝入花籃,浸入純水,撈取濾干,置入第一道混合酸液,浸入純水,置入第二道混合酸,浸入純水,三級(jí)溢流清洗,超聲清洗,硅料甩干脫水,干燥,冷卻,挑選包裝入庫(kù)。實(shí)現(xiàn)上述目的而采取的技術(shù)方案,包括
(1)將多晶硅料用純水洗凈,然后置入硝酸和氫氟酸的混合液中清洗,硝酸和氫氟酸的混合液比例為4. 5-9L: 1-5L,時(shí)間30s—50s ;
(2)撈出浸入純水中;
(3)再置入第二道混合液中清洗,硝酸和氫氟酸的混合液比例為9-15L:l-5L,時(shí)間 8s—20s ;
(4)撈出浸入純水中;
(5)超聲清洗;
(6)離心甩干與烘干爐干燥去水;
(7)分選;
(8)包裝入庫(kù)即可。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果在于,兩種不同配比的酸洗液循環(huán)交替使用, 直至酸液變成淡綠色才排放。酸洗液的多次使用,降低了酸的消耗量,同時(shí)提高了單晶用多晶硅料的品質(zhì),可降低生產(chǎn)成本。解決了多晶硅料清洗成本偏高和清洗質(zhì)量偏低的問(wèn)題。具有成本低、質(zhì)量好的特點(diǎn),且操作簡(jiǎn)單、方便。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明包括
(1) 將多晶硅料用純水洗凈,然后置入硝酸和氫氟酸的混合液中清洗,硝酸和氫氟酸的混合液比例為4. 5-9L: 1-5L,時(shí)間30s—50s ;
3(2)撈出浸入純水中;
(3)再置入第二道混合液中清洗,硝酸和氫氟酸的混合液比例為9-15L:l-5L,時(shí)間 8s—20s ;
(4)撈出浸入純水中;
(5)超聲清洗;
(6)離心甩干與烘干爐干燥去水;
(7)分選;
(8)包裝入庫(kù)即可。所述的超聲清洗設(shè)有三級(jí)溢流工序。所述的硝酸濃度為65% — 68%,氫氟酸濃度為49%純度為EL級(jí)。 實(shí)施例方案為將多晶硅料置入硝酸和氫氟酸的混合液中清洗,硝酸和氫氟酸的混合液重量比為4. 5-9L 1-5L,時(shí)間30s — 50s撈出浸入純水中;再置入第二道混合液(比例為 9-15L:l-5L)中清洗,時(shí)間8s— 20s撈出浸入純水中,繼而用硅料清洗機(jī)中的超聲清洗、再經(jīng)過(guò)硅料清洗機(jī)中的三級(jí)溢流段,然后轉(zhuǎn)入離心甩干與烘干爐干燥去水、分選、包裝入庫(kù)即可。清洗合格的多晶硅料最顯著的特點(diǎn)是有銀色光亮的光澤。回收利用方法,第一道酸洗液因長(zhǎng)時(shí)間清洗,氫氟酸(HF)量會(huì)減少,相應(yīng)與SI02 反應(yīng)能力會(huì)減弱,這時(shí)應(yīng)陸續(xù)補(bǔ)充加入氫氟酸(HF),達(dá)到清洗效果。補(bǔ)充了氫氟酸(HF)量的第一道酸洗液比例已和原來(lái)的第二道酸洗液相似,將其轉(zhuǎn)為以后酸洗硅料的第一道酸洗液使用;而第二道混合液也隨著時(shí)間變長(zhǎng),慢慢減弱其腐蝕硅料的作用,所以酸洗后的硅料光亮?xí)p弱。此時(shí),第二道酸可轉(zhuǎn)為第一道酸洗液使用。一開始將多晶硅料置入純水中浸濕,使水滲透至多晶硅料的空隙中,會(huì)形成一種水膜保護(hù)硅料;如一開始將多晶硅料放入酸液中,酸會(huì)滲透到其空隙中易形成酸斑而不易洗干凈。所以硅料一開始浸入純水中,除上述效果外可洗去硅料表面的粉塵。混合酸是硝酸和氫氟酸配置,溶液為體積比,硝酸濃度為65%—68%,氫氟酸濃度為 49%純度為EL級(jí)。用本清洗方法清洗的多晶硅單晶用料,表面光亮、無(wú)酸斑、無(wú)水漬,清洗效果好。清洗成本底操作簡(jiǎn)單,易于控制清洗質(zhì)量,提高了清洗收益率。
權(quán)利要求
1.一種多晶硅料的清洗工藝,其特征在于,包括(1)將多晶硅料用純水洗凈,然后置入硝酸和氫氟酸的混合液中清洗,硝酸和氫氟酸的混合液比例為4. 5-9L: 1-5L,時(shí)間30s—50s ;(2)撈出浸入純水中;(3)再置入第二道混合液中清洗,硝酸和氫氟酸的混合液比例為9-15L:l-5L,時(shí)間 8s—20s ;(4)撈出浸入純水中;(5)超聲清洗;(6)離心甩干與烘干爐干燥去水;(7)分選;(8)包裝入庫(kù)即可。
2.根椐權(quán)利要求1所述的一種多晶硅料的清洗工藝,其特征在于,所述的超聲清洗設(shè)有三級(jí)溢流工序。
3.根椐權(quán)利要求1所述的一種多晶硅料的清洗工藝,其特征在于,所述的硝酸濃度為 65% — 68%,氫氟酸濃度為49%純度為EL級(jí)。
全文摘要
一種多晶硅料的清洗工藝,包括將多晶硅料用純水洗凈,然后置入硝酸和氫氟酸的混合液中清洗,硝酸和氫氟酸的混合液比例為4.5-9L:1-5L,時(shí)間30s—50s;撈出浸入純水中;再置入第二道混合液中清洗,硝酸和氫氟酸的混合液比例為9-15L:1-5L,時(shí)間8s—20s;撈出浸入純水中;超聲清洗;離心甩干與烘干爐干燥去水;分選;包裝入庫(kù)即可。解決了多晶硅料清洗成本偏高和清洗質(zhì)量偏低的問(wèn)題。具有成本低、質(zhì)量好的特點(diǎn),且操作簡(jiǎn)單、方便。
文檔編號(hào)C01B33/037GK102502652SQ20111034813
公開日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2011年11月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月7日
發(fā)明者黃賢橫 申請(qǐng)人:江西旭陽(yáng)雷迪高科技股份有限公司
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