技術總結
本發明公開了用用于晶體硅擴散的勻流板及其晶體硅擴散工藝爐，用于晶體硅擴散的勻流板，包括勻流板本體，勻流板本體按照區域劃分為爐頂板區域和爐底板區域，爐頂板區域內開有若干勻流通孔，爐底板區域為密封板體。本發明的有益效果為：1.在改善爐體內氣流均勻性的同時，降低更換成本和維護時間，達到降本增效的效果。2.降低因勻流管被腐蝕斷裂而造成的方塊電阻異常等風險。3.進一步起到勻流氣體的作用，改善擴散后方塊電阻的均勻性。

技術研發人員：程曦;匡成國;姜濤;楊東;姚騫;包崇彬
受保護的技術使用者：天威新能源控股有限公司
文檔號碼：201310369412
技術研發日：2013.08.22
技術公布日：2016.12.28