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支承玻璃基板及使用其的層疊體的制作方法

文檔序號:11106160閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明的技術課題在于,通過創制不易發生加工基板的尺寸變化的支承基板、及使用其的層疊體,從而有助于半導體封裝體的高密度安裝。本發明的支承玻璃基板,其特征在于,在20~200℃的溫度范圍內的平均線性熱膨脹系數超過81×10-7/℃且為110×10-7/℃以下。

技術研發人員:鈴木良太
受保護的技術使用者:日本電氣硝子株式會社
文檔號碼:201580038593
技術研發日:2015.08.27
技術公布日:2017.05.10

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