1.一種鋁釔摻雜氧化鋅靶材的制備方法,其特征在于,所述方法為將混合粉體通過在水溶劑中近凈尺寸原位固化成型得到。
2.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述方法包括將氧化鋅粉末、氧化鋁粉末、氧化釔粉末、水和分散劑在球磨機進行球磨后,加入固化劑,形成強度和可靠性高的生坯。
3.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
(1)將分散劑配置成0.6-1.0wt%的預制溶液,加入平均粒徑0.02-1微米的氧化鋁粉末、平均粒徑0.04-1微米的氧化釔粉末和平均粒徑0.2-0.5微米的氧化鋅粉末,在球磨機中球磨8-12小時或高速攪拌,制備成高流動性漿料,漿料中原粉體的體積比為55%-70%;
(2)在漿料中加入0.6-1.0wt%MgO的固化劑,澆注到模具中,靜置12-16小時;
(3)將固化的濕坯脫模,在常溫下固化15-300鐘,或在60℃烘箱中加熱5-90分鐘,得到干燥的生坯;
(4)將干燥的生坯在燒結爐中升溫至400-600℃,保溫0.5-1小時,然后升溫至1300-1550℃,保溫5-8小時,燒結成致密陶瓷,加工成型得到鋁釔摻雜氧化鋅靶材。
4.根據權利要求3所述的制備方法,其特征在于,所述的分散劑為聚丙烯酸銨。
5.根據權利要求3所述的制備方法,其特征在于,粉末原料的尺寸為300-1000納米。
6.根據權利要求3所述的制備方法,其特征在于,粉末原料的純度大于99.99%。
7.根據權利要求3所述的制備方法,其特征在于,所述球磨采用氧化鋯或氧化鋁球;所述的模具的材料為無孔洞不吸水的塑料、玻璃、金屬材料,優選為不銹鋼模具。
8.根據權利要求3所述的制備方法,其特征在于,所述的固化劑為氧化鎂。
9.根據權利要求3所述的制備方法,其特征在于,所述的氧化鋅粉末和氧化鋁粉末為混合粉末,采用化學共沉淀法制備或兩種粉末球磨混合,純度大于99.97%。
10.根據權利要求1-9中任一項所述的制備方法制備得到的鋁釔摻雜氧化鋅靶材。