技術總結
本發明涉及一種成分均勻、高純度、高密度、低成本的鋁釔摻雜氧化鋅靶材及其制備方法，所述方法為將混合粉體通過在水溶劑中近凈尺寸原位固化成型，不添加或添加極少的有機物，產生密度高、強度高、均勻性好、形狀不受限制的生坯。燒結成型后的陶瓷靶材純度大于99.95％，密度大于99％，可達到99.95％。

技術研發人員：徐從康
受保護的技術使用者：浙江舒瑪新材料有限公司
文檔號碼：201610573453
技術研發日：2016.07.20
技術公布日：2016.12.07