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一種直拉單晶產業化直徑生長自控的工藝方法與流程

文檔序號:11147559閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明提供了一種直拉單晶產業化直徑生長自控的工藝方法,包括以下步驟:1)、固定導流筒位置,確定爐體內導流筒下沿位置;2)、固定液面位置,確定坩堝內硅溶液液面距導流筒下沿位置;3)、固定CCD攝像機位置,將CCD攝像機的攝像頭正對坩堝內硅液單晶生長光圈,通過CCD攝像機采集拉晶時的外徑尺寸;4)、首爐直徑校正;5)、拉晶生產。本發明所述的一種直拉單晶產業化直徑生長自控的工藝方法中,通過該方法實現產業化規模化生產一種直徑規格的單晶時,自動控制每爐單晶生長直徑,保證每爐單晶直徑值幾乎一致,不需要每爐反復校正,提高自動化水平;降低勞動強度,降低人工成本;降低回收料比例。

技術研發人員:王建平;李建弘;郝勇;王巖
受保護的技術使用者:內蒙古中環光伏材料有限公司
文檔號碼:201611116993
技術研發日:2016.12.07
技術公布日:2017.05.10

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