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一種單晶爐電極穩定支撐裝置的制作方法

文檔序號:11190831閱讀:583來源:國知局
一種單晶爐電極穩定支撐裝置的制造方法

本實用新型涉及單晶硅棒生產制造時所用的單晶爐技術領域,具體涉及一種單晶爐電極穩定支撐裝置。



背景技術:

單晶爐是單晶硅拉制中的重要設備,單晶爐在使用時需通過電極向其供電,因此電極的固定位置和固定的穩定性是保證單晶爐正常工作的重要因素。

目前,電極是通過一個旋轉螺帽將其壓緊在單晶爐爐底盤上,這種固定方式容易導致電極松動,進而使單晶爐真空度降低,氣密性受到影響,降低了生產效率。

同時,在生產過程中,單晶爐內部的揮發物在電極絕緣磁環四周積累,降低了絕緣磁環的絕緣度,從而導致需要經常更換絕緣磁環,費時費力并增加生產成本。



技術實現要素:

為了解決電極容易松動以及需要經常更好絕緣磁環的技術問題,本實用新型的目的是提供一種單晶爐電極穩定支撐裝置,使電極位置固定不動,能更加穩定的支撐電極,保證生產效率,降低了絕緣磁環的更換頻率,節省成本。

本實用新型所采用的技術方案是:一種單晶爐電極穩定支撐裝置,所述單晶爐通過橫梁支撐,在單晶爐的爐底盤上設置有向單晶爐供電的電極,電極的一側設置有一個水冷管,電極通過穩定支撐裝置設置在爐底盤上,穩定支撐裝置包括不銹鋼連接板和位于不銹鋼連接板下方的絕緣支撐板,不銹鋼連接板的一端通過多個螺絲釘a與絕緣支撐板的一端固定連接,不銹鋼連接板的另一端開設有長條形通孔且通過穿設在該長條形通孔上的螺絲釘b與橫梁固定連接,通過調節螺絲釘b在長條形通孔內的位置從而實現調節穩定支撐裝置與電極之間的距離,所述絕緣支撐板由板狀的連接段和條狀的支撐段構成,其中,連接段的一側通過弧形避讓部與支撐段連接,另一側通過導向槽部與支撐段連接,支撐段上開設有螺孔,螺孔內穿設有用以頂緊電極的螺絲釘c。

所述螺絲釘a共有3個,且3個螺絲釘a呈等邊三角形分布。

所述不銹鋼連接板與絕緣支撐板之間設置有穩定塊,穩定塊通過螺絲釘a與不銹鋼連接板和絕緣支撐板固定連接。

與現有技術相比,本實用新型具有以下有益效果:

一、本實用新型所述的一種單晶爐電極穩定支撐裝置保證了電極安裝后其位置固定不動,能更加穩定的支撐電極,保證電極正常工作同時保證生產效率;

二、本實用新型中的絕緣支撐板具有絕緣性能,加強了電極絕緣磁環的絕緣性能,同時降低了絕緣磁環的更換頻率,節省成本,并且在更換絕緣磁環時更加快捷方便;

三、不銹鋼連接板可通過長條形通孔改變其與螺絲釘b的相對位置從而實現調節穩定支撐裝置與電極之間的距離,使本實用新型適用范圍廣,并且通過本實用新型能快速安裝電極,方便實用;

四、絕緣支撐板的連接段的一側通過弧形避讓部與支撐段連接,在保證了絕緣支撐板強度的同時配合了水冷管的安裝,一舉多得,連接段的另一側通過導向槽部與支撐段連接,在保證了絕緣支撐板強度的同時保證了螺孔的位置,定位更加精準,使本實用新型穩定性更強。

附圖說明

圖1是穩定支撐裝置與爐底盤相配合的結構示意圖;

圖2是本實用新型的俯視結構示意圖;

圖中標記:1、橫梁 ,2、爐底盤,3、電極, 4、穩定支撐裝置,401、不銹鋼連接板,402、絕緣支撐板,4021、連接段,4022、支撐段,4023、弧形避讓部,4024、導向槽部,403、螺絲釘a,404、長條形通孔,405、螺絲釘b,406、螺絲釘c,407、穩定塊。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作詳細說明,本實施例以本實用新型技術方案為前提,給出了詳細的實施方式和具體的操作過程,但本實用新型的保護范圍不限于下述的實施例。

如圖所示,一種單晶爐電極穩定支撐裝置,所述單晶爐通過橫梁1支撐,在單晶爐的爐底盤2上設置有向單晶爐供電的電極3,電極3的一側設置有一個水冷管,其特征在于:電極3通過穩定支撐裝置4設置在爐底盤2上,穩定支撐裝置4包括不銹鋼連接板401和位于不銹鋼連接板401下方的絕緣支撐板402,不銹鋼連接板401的一端通過多個螺絲釘a403與絕緣支撐板402的一端固定連接,不銹鋼連接板401的另一端開設有長條形通孔404且通過穿設在該長條形通孔404上的螺絲釘b405與橫梁1固定連接,通過調節螺絲釘b405在長條形通孔404內的位置從而實現調節穩定支撐裝置4與電極3之間的距離,所述絕緣支撐板402由板狀的連接段4021和條狀的支撐段4022構成,其中,連接段4021的一側通過弧形避讓部4023與支撐段4022連接,另一側通過導向槽部4024與支撐段4022連接,支撐段4022上開設有螺孔,螺孔內穿設有用以頂緊電極3的螺絲釘c406,弧形避讓部4023由外突的圓弧部a和內凹的圓弧部b構成,弧形避讓部4023呈S形,以不影響水冷管的安裝。連接段4021通過螺絲釘a403與不銹鋼連接板401連接。

以上為本實用新型的基本實施方式,可在以上基礎上做進一步的改進、優化和限定:

如,所述螺絲釘a403共有3個,且3個螺絲釘a403呈等邊三角形分布。

又如,所述不銹鋼連接板401與絕緣支撐板402之間設置有穩定塊407,穩定塊407通過螺絲釘a403與不銹鋼連接板401和絕緣支撐板402固定連接。

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