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一種碳化硅寶石的生長(zhǎng)方法與流程

文檔序號(hào):12416731閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種碳化硅寶石的生長(zhǎng)方法,通過(guò)使用蜂窩狀石墨襯底,該石墨襯底一面固定在坩堝上蓋上,另一面與SiC粉料相對(duì)放置,可以同時(shí)生長(zhǎng)多個(gè)SiC單晶顆粒;當(dāng)石墨坩堝放入感應(yīng)加熱爐中進(jìn)行SiC單晶生長(zhǎng),生長(zhǎng)溫度1800℃?2400℃,生長(zhǎng)壓力1×10?4Pa?1×104Pa,得到的SiC顆粒直接用做SiC寶石原料。由此,得到SiC單晶顆粒可以直接作為寶石原料,不需要線切割處理,提高生產(chǎn)效率;無(wú)需使用線切割耗材且沒(méi)有線切割造成的晶體損耗,提高晶體可用比例,降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員:喬松;楊昆;高宇;鄭清超
受保護(hù)的技術(shù)使用者:河北同光晶體有限公司
文檔號(hào)碼:201611125976
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.09
技術(shù)公布日:2017.05.31

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