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一種低成本納米多孔硅粉的制備方法與流程

文檔序號(hào):11888164閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種低成本納米多孔硅粉的制備方法,包括以下步驟:硅粉的刻蝕:將預(yù)處理的硅粉采用刻蝕液進(jìn)行刻蝕,經(jīng)過1?600min的刻蝕得到含有納米級(jí)孔道的多孔硅,孔徑在1?1000nm;所述的刻蝕液為由HF、金屬鹽、乙醇和水組成的混合溶液;硅粉的處理:將含有納米級(jí)孔道的多孔硅置于酸性溶液中浸泡,之后經(jīng)清洗去除雜質(zhì),得到納米多孔硅粉。本發(fā)明中,引入金屬鹽作為刻蝕劑,通過控制腐蝕液濃度可控制多孔硅粉的形貌、孔徑、成孔速度等。本發(fā)明方法利用反應(yīng)放熱實(shí)現(xiàn)常溫下制備多孔硅,避免了加熱設(shè)備。同時(shí)反應(yīng)速度快速,通常在數(shù)分鐘內(nèi)即可制備出多孔硅。

技術(shù)研發(fā)人員:汪雷;唐勛;劉友博;張軍娜;蔡輝;楊德仁
受保護(hù)的技術(shù)使用者:浙江大學(xué)
文檔號(hào)碼:201611185114
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.20
技術(shù)公布日:2017.05.17

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