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一種氮化鋁單晶生長方法與流程
文檔序號:11147600
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來源:國知局
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一種氮化鋁單晶生長方法與制造工藝
技術總結
本發明公開了一種氮化鋁單晶生長方法,長晶時的溫度曲線和壓力曲線簡單可控;在氮化鋁燒結體表面進行長晶,生長得到的氮化鋁單晶體內部幾乎無缺陷;通過采用鎢材料制備坩堝,雜質引入極少;能夠得到最大尺寸為厘米級的氮化鋁單晶;長晶成本較低。
技術研發人員:
吳亮;曹凱;汪佳;劉理想;龔加瑋;王智昊;王琦琨
受保護的技術使用者:
蘇州奧趨光電技術有限公司
文檔號碼:
201611196928
技術研發日:
2016.12.22
技術公布日:
2017.05.10
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