1.一種多晶硅鑄錠爐，所述鑄錠爐內(nèi)設(shè)置有坩堝、護(hù)板、底板、蓋板，坩堝放置在底板上，護(hù)板設(shè)置在坩堝外側(cè)，蓋板設(shè)置在坩堝上方；所述鑄錠爐內(nèi)還包括進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)設(shè)置在坩堝側(cè)壁，包括進(jìn)氣管以及將從進(jìn)氣管進(jìn)來(lái)的氣體進(jìn)行分流的分流組件，所述的分流組件與所述進(jìn)氣管垂直連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述的分流組件包括一個(gè)與所述進(jìn)氣管呈丁字連接的容納氣體的空腔和一個(gè)進(jìn)氣通道。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述的進(jìn)氣通道為口徑小于所述進(jìn)氣管口徑并與所述空腔垂直連接的分支進(jìn)氣管。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述的分支進(jìn)氣管的數(shù)量為2-6個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述的進(jìn)氣通道為設(shè)置在所述空腔上的橫截面小于所述進(jìn)氣管口徑的凹槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述的進(jìn)氣通道為設(shè)置在所述空腔上的孔徑小于所述進(jìn)氣管口徑的小孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述進(jìn)氣通道一側(cè)及相對(duì)一側(cè)的所述護(hù)板設(shè)有開口，所述開口呈凹形。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述護(hù)板開口頂端低于所述坩堝側(cè)壁頂端的距離為2厘米以上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述護(hù)板開口頂端低于所述坩堝側(cè)壁頂端的距離為3-8厘米。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述鑄錠爐內(nèi)還設(shè)置有出氣通道，所述出氣通道設(shè)置在與所述進(jìn)氣通道相對(duì)一側(cè)的所述護(hù)板開口處。