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一種沉降器排放液中氯硅烷的回收裝置的制作方法

文檔序號:12099752閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種沉降器排放液中氯硅烷的回收裝置,其特征在于,包括:

渣漿緩沖罐,用于儲存排放液并分離出氯硅烷;

輸入管道,通過閥門連接至所述渣漿緩沖罐的頂部,用于將從沉降器排出的排放液輸送到所述渣漿緩沖罐;

第一輸出管道,通過閥門連接至所述渣漿緩沖罐的中部,用于將在所述渣漿緩沖罐中分離出的氯硅烷輸送至蒸餾裝置;其中,所述第一輸出管道上設置有第一過濾器和第一屏蔽泵;

第二輸出管道,通過閥門連接至所述渣漿緩沖罐的底部,用于將在所述渣漿緩沖罐中分離出的殘留液輸送至水洗裝置。

2.根據權利要求1所述的回收裝置,其特征在于,所述渣漿緩沖罐的頂部通過閥門連接有放空系統,用于排放所述渣漿緩沖罐中的氣體。

3.根據權利要求1所述的回收裝置,其特征在于,所述回收裝置還包括:

第一氮氣輸送管道,通過閥門連接至所述渣漿緩沖罐的頂部,用于向所述渣漿緩沖罐輸入氮氣;

第二氮氣輸送管道,通過閥門連接至所述第二輸出管道,用于向所述第二輸出管道輸入氮氣。

4.根據權利要求1所述的回收裝置,其特征在于,所述第一屏蔽泵連接有連通至所述渣漿緩沖罐的回流管線。

5.根據權利要求1所述的回收裝置,其特征在于,所述第一輸出管道上還設置有第二過濾器和第二屏蔽泵;所述第二過濾器可替代所述第一過濾器,作為所述第一過濾器的備用設備,所述第二屏蔽泵可替代所述第一屏蔽泵,作為所述第一屏蔽泵的備用設備。

6.根據權利要求5所述的回收裝置,其特征在于,所述第一過濾器和第二過濾器分別為過濾孔徑為25~35微米的布袋過濾器。

7.根據權利要求1所述的回收裝置,其特征在于,所述渣漿緩沖罐中儲存的排放液不超過所述渣漿緩沖罐容積的80%。

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