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一種沉降器排放液中氯硅烷的回收裝置的制作方法

文檔序號:12099752閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種沉降器排放液中氯硅烷的回收裝置,其包括:渣漿緩沖罐,用于儲存排放液并分離出氯硅烷;輸入管道,通過閥門連接至渣漿緩沖罐的頂部,用于將從沉降器排出的排放液輸送到所述渣漿緩沖罐;第一輸出管道,通過閥門連接至渣漿緩沖罐的中部,用于將在渣漿緩沖罐中分離出的氯硅烷輸送至蒸餾裝置;其中,所述第一輸出管道上設(shè)置有第一過濾器和第一屏蔽泵;第二輸出管道,通過閥門連接至渣漿緩沖罐的底部,用于將在渣漿緩沖罐中分離出的殘留液輸送至水洗裝置。通過對沉降器排放液中氯硅烷進行回收再利用,提高了多晶硅生產(chǎn)中的中間產(chǎn)品三氯氫硅的產(chǎn)量,節(jié)約了對廢渣進行水洗的水量及藥品用量,降低了多晶硅的生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員:楊紫琪;張博;王勇
受保護的技術(shù)使用者:青海黃河上游水電開發(fā)有限責任公司光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)分公司
文檔號碼:201620992995
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.30
技術(shù)公布日:2017.03.22

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