本實(shí)用新型涉及玻璃基板技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種氣浮平臺(tái)、氣浮裝置及玻璃基板傳送裝置。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，隨著技術(shù)的發(fā)展與市場(chǎng)的需求，平板顯示行業(yè)的玻璃基板幅面不斷擴(kuò)大，厚度不斷變薄，因此對(duì)生產(chǎn)線的制作技術(shù)要求更高。目前大尺寸的玻璃基板多采用接觸式滾輪傳輸和皮帶傳輸，這些接觸方式容易對(duì)玻璃基板造成劃傷和污染，并且易造成基板的破碎，從而嚴(yán)重影響產(chǎn)品的質(zhì)量，進(jìn)而生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的第一個(gè)目的是提供一種氣浮平臺(tái)，該氣浮平臺(tái)可以在放置玻璃基板時(shí)避免與玻璃基板接觸，從而防止玻璃基板受到劃傷和污染。

本實(shí)用新型的第二個(gè)目的是提供一種氣浮裝置，該氣浮裝置可以在放置玻璃基板時(shí)避免與玻璃基板接觸，從而防止玻璃基板受到劃傷和污染。

本實(shí)用新型的第三個(gè)目的是提供一種玻璃基板傳送裝置，該傳送裝置在傳送玻璃基板的過(guò)程中可以避免玻璃基板受到劃傷和污染。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種氣浮平臺(tái)，用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上貼合疊放的進(jìn)氣層和出氣層，所述進(jìn)氣層的頂部形成有周向封閉的凹槽，該凹槽的底部形成有沿高度方向貫穿所述進(jìn)氣層的進(jìn)氣孔，以連接進(jìn)氣管接頭，所述出氣層上均勻地布設(shè)有沿高度方向貫穿所述出氣層的出氣孔，所述出氣孔通過(guò)所述凹槽與所述進(jìn)氣孔連通。

可選地，所述凹槽為多個(gè)，每個(gè)所述凹槽的底部形成有一個(gè)所述進(jìn)氣孔。

可選地，所述出氣孔以矩形陣列的形式設(shè)置在所述出氣層上。

可選地，所述凹槽包括多個(gè)長(zhǎng)條形的鍵槽，該鍵槽沿所述氣浮平臺(tái)的長(zhǎng)度方向延伸，所述凹槽還包括在寬度方向上相鄰的兩個(gè)所述鍵槽之間的連通部，所述進(jìn)氣孔與所述連通部相連通。

可選地，所述進(jìn)氣層和出氣層的寬度方向的邊部分別均勻地設(shè)有多個(gè)通孔，以通過(guò)螺紋件緊固所述進(jìn)氣層和出氣層。

可選地，所述進(jìn)氣層和出氣層之間還設(shè)有分流層，所述分流層的上下兩端分別貼合所述出氣層和進(jìn)氣層，所述分流層上設(shè)有對(duì)應(yīng)于所述出氣孔的分流孔。

可選地，所述分流孔的孔徑小于所述出氣孔。

可選地，所述進(jìn)氣層和分流層之間涂有固定膠，所述進(jìn)氣層、分流層和出氣層的寬度方向的邊部分別均勻地設(shè)有多個(gè)通孔，以通過(guò)螺紋件緊固所述進(jìn)氣層、分流層和出氣層。

根據(jù)本實(shí)用新型的第二個(gè)方面，提供一種氣浮裝置，用于放置玻璃基板，包括基座和放置在該基座上的氣浮平臺(tái)，所述氣浮平臺(tái)為根據(jù)以上所述的氣浮平臺(tái)，所述氣浮平臺(tái)為矩形陣列的多個(gè)，并且相鄰的所述氣浮平臺(tái)貼合設(shè)置。

根據(jù)本實(shí)用新型的第三個(gè)方面，提供一種玻璃基板傳送裝置，包括：氣浮裝置，用于放置所述玻璃基板；定位裝置，用于在傳送所述玻璃基板前將所述玻璃基板定位在所述氣浮裝置上；以及移動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)所述玻璃基板沿所述氣浮裝置移動(dòng)，所述氣浮裝置為以上所述的氣浮裝置，所述定位裝置包括用于在長(zhǎng)度方向上定位所述玻璃基板的第一氣缸，和在寬度方向上定位所述玻璃基板的第二氣缸，所述移動(dòng)裝置包括設(shè)置在所述氣浮裝置寬度方向的一側(cè)的真空吸盤(pán)，以從單側(cè)吸附所述玻璃基板運(yùn)動(dòng)。

可選地，所述第一氣缸為直線氣缸，并且為四個(gè)，分別用于設(shè)置在所述玻璃基板的四角。

可選地，所述第二氣缸為旋轉(zhuǎn)氣缸，并且為兩個(gè)，分別用于設(shè)置在所述玻璃基板寬度方向上的一側(cè)。

通過(guò)上述技術(shù)方案，使用氣流支撐玻璃基板，避免玻璃基板在運(yùn)輸過(guò)程中與支撐裝置接觸，從而防止造成劃傷和污染，進(jìn)而提高玻璃基板的成品率，提高工作效率。

本實(shí)用新型的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的具體實(shí)施方式部分予以詳細(xì)說(shuō)明。

附圖說(shuō)明

附圖是用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的具體實(shí)施方式一起用于解釋本實(shí)用新型，但并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式提供的氣浮平臺(tái)的爆炸圖；

圖2是本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式提供的玻璃基板傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

10 進(jìn)氣層；11 進(jìn)氣孔；

12 鍵槽；13 連通部；

20 出氣層；21 出氣孔；

30 分流層；31 分流孔；

40 進(jìn)氣管接頭；50 第一氣缸；

60 第二氣缸； 70 真空吸盤(pán)。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實(shí)施方式僅用于說(shuō)明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限制本實(shí)用新型。

在本實(shí)用新型中，在未作相反說(shuō)明的情況下，使用的方位詞“上、下”通常是指各部件在正常工作狀態(tài)時(shí)的上和下，傳送裝置的長(zhǎng)度方向是指玻璃基板的傳送方向，寬度方向是指在玻璃基板平面上垂直于長(zhǎng)度方向的方向，高度方向是指垂直于玻璃基板平面的方向，另外，本實(shí)用新型中氣浮平臺(tái)與傳送裝置的長(zhǎng)度方向、寬度方向以及高度方向均相同。此外，圖2中的箭頭指向?yàn)椴ＡЩ宓膫魉头较颉?/p>

如圖1所示，本實(shí)用新型提供的氣浮平臺(tái)用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上貼合疊放的進(jìn)氣層10和出氣層20，進(jìn)氣層10的頂部形成有周向封閉的凹槽，該凹槽的底部形成有沿高度方向貫穿進(jìn)氣層10的進(jìn)氣孔11，以連接進(jìn)氣管接頭40，出氣層20上均勻地布設(shè)有沿高度方向貫穿出氣層20的出氣孔21，出氣孔21通過(guò)凹槽與進(jìn)氣孔11連通。這樣，氣體通過(guò)氣管接頭首先進(jìn)入到凹槽中，再經(jīng)由凹槽進(jìn)入到出氣孔21中，由于出氣孔21均勻布設(shè)，保證用于支撐玻璃基板的氣流均勻地流出，可以使玻璃基板穩(wěn)定地置于氣浮平臺(tái)上方。該氣浮平臺(tái)使用氣流支撐玻璃基板，尤其適用于玻璃基板的傳送，通過(guò)氣體支撐的形式，最大限度地避免了玻璃基板與支撐裝置或傳送裝置等的直接接觸，從而解決因摩擦而導(dǎo)致玻璃基板的劃傷、污染及變形問(wèn)題。

具體地，上述的凹槽可以為多個(gè)，每個(gè)凹槽形成有一個(gè)進(jìn)氣孔11，多個(gè)凹槽相互間隔地設(shè)置在進(jìn)氣層10的頂部，各自形成獨(dú)立的型腔，可以確保進(jìn)氣層10結(jié)構(gòu)的整體強(qiáng)度，需要說(shuō)明的是，每個(gè)出氣孔21均保持在凹槽的影響范圍內(nèi)，即凹槽的開(kāi)設(shè)依據(jù)出氣孔21的位置，確保每個(gè)出氣孔21可以均勻地出氣，從而保持玻璃基板的穩(wěn)定安放。

作為優(yōu)選，出氣孔21可以矩形陣列的形式設(shè)置在出氣層20上，增加出氣孔21數(shù)量，擴(kuò)大出氣孔21的影響范圍，從而可以提高出氣孔21出氣的均勻性。

進(jìn)一步地，凹槽可以包括多個(gè)長(zhǎng)條形的鍵槽12，該鍵槽12沿氣浮平臺(tái)的長(zhǎng)度方向延伸，亦即每個(gè)鍵槽12可以沿單行出氣孔21的排列方向延伸，從而確保每個(gè)出氣孔21可以與凹槽連通，凹槽還包括在寬度方向上相鄰的兩個(gè)鍵槽12之間的連通部13，進(jìn)氣孔11與連通部13相連通。具體地，如圖1所示，例如可以在出氣層20上形成兩行出氣孔21，在進(jìn)氣層10上也形成兩行對(duì)應(yīng)的鍵槽12，這里需要說(shuō)明的是，每一行上的鍵槽12可以為一個(gè)或多個(gè)，其具體的數(shù)量依據(jù)氣浮平臺(tái)實(shí)際長(zhǎng)度而定，此處不做具體限定，在圖1示出的實(shí)施方式中，同一行上的鍵槽12為2個(gè)，即整體形成4個(gè)鍵槽12。在寬度方向上相鄰的兩個(gè)鍵槽12之間設(shè)置連通部13，進(jìn)氣孔11與該連通部13相連，由于出氣孔21是對(duì)應(yīng)于鍵槽12設(shè)置的，并不直接與連通部13連通，這種結(jié)構(gòu)可以避免進(jìn)氣孔11流入的氣流直接通過(guò)鍵槽12流入到出氣孔21中，進(jìn)而產(chǎn)生較大的沖擊氣流，劃傷玻璃基板。設(shè)置多個(gè)鍵槽12可以盡量減小進(jìn)氣層10的開(kāi)槽區(qū)域，可以保證進(jìn)氣層10的整體強(qiáng)度，此外，該結(jié)構(gòu)還可以同時(shí)保證每個(gè)出氣孔21均有氣體均勻地流出，從而保持玻璃基板的穩(wěn)定安放。

如圖1所示，進(jìn)氣層10和出氣層20的寬度方向的邊部可以分別均勻地設(shè)有多個(gè)通孔，以通過(guò)螺紋件緊固進(jìn)氣層10和出氣層20，保證出氣層20與進(jìn)氣層10的緊密貼合，防止氣體外泄。具體地，在一個(gè)實(shí)施方式中，出氣層20上的通孔為螺紋孔，進(jìn)氣層10上的通孔為光孔，使用螺釘從進(jìn)氣層10底部穿過(guò)進(jìn)氣層10的光孔旋入到出氣層20的螺紋孔中，螺釘?shù)亩瞬坎簧斐龀鰵鈱?0，從而避免其劃傷玻璃基板。另一種實(shí)施方式中進(jìn)氣層10和出氣層20上的通孔可以均為螺紋孔，也可以通過(guò)螺紋件實(shí)現(xiàn)緊固作用。此外，出氣層20上的通孔還可以為階梯孔，其階梯面用于對(duì)螺紋件進(jìn)行限位，避免螺紋件伸出出氣層20。本實(shí)用新型對(duì)上述通孔的具體形式不做具體限定，只要滿足技術(shù)構(gòu)思，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。

進(jìn)一步地，如圖1所示，進(jìn)氣層10和出氣層20之間還可以設(shè)有分流層30，分流層30的上下兩端分別貼合出氣層20和進(jìn)氣層10，分流層30上設(shè)有對(duì)應(yīng)于出氣孔21的分流孔31，即，從凹槽流出的氣體首先進(jìn)入分流孔31中，再進(jìn)入出氣孔21，其中分流孔31對(duì)應(yīng)于出氣孔21設(shè)置從而使玻璃基板受氣均勻，避免傾斜劃傷。

具體地，分流孔31的孔徑小于出氣孔21，即使得分流孔31中的氣體可以完全進(jìn)入到出氣孔21中，并且出氣孔21的孔徑大于分流孔31，可以起到緩沖作用，避免氣流對(duì)玻璃基板產(chǎn)生過(guò)大的沖擊。

進(jìn)一步地，進(jìn)氣層10和分流層30之間涂有固定膠，例如可以為高強(qiáng)度的雙面膠，防止氣體外泄，進(jìn)氣層10、分流層30和出氣層20的寬度方向的邊部可以分別均勻地設(shè)有多個(gè)通孔，以通過(guò)螺紋件緊固進(jìn)氣層10、分流層30和出氣層20，其緊固的具體形式與上述的緊固進(jìn)氣層10與出氣層20的形式類(lèi)似，此處不再贅述。

此外，如圖2所示，本實(shí)用新型提供的玻璃基板傳送裝置，包括：氣浮裝置，用于放置玻璃基板；定位裝置，用于將在傳送玻璃基板前將玻璃基板定位在氣浮裝置上；以及移動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)玻璃基板沿氣浮裝置移動(dòng)。其中，氣浮裝置包括基座和放置在該基座上的氣浮平臺(tái)，氣浮平臺(tái)為本實(shí)用新型提供的的氣浮平臺(tái)，氣浮平臺(tái)為矩形陣列的多個(gè)，并且相鄰的氣浮平臺(tái)貼合設(shè)置。通過(guò)多個(gè)氣浮平臺(tái)的組合可以擴(kuò)大氣浮裝置的支撐范圍，可以根據(jù)不同尺寸的玻璃基板選擇不同數(shù)量的氣浮平臺(tái)進(jìn)行組合。

具體地，將玻璃基板的傳送方向，即傳送裝置的長(zhǎng)度方向定義為Y軸，傳送裝置的寬度方向定義為X軸，定位裝置可以包括用于在長(zhǎng)度方向上定位玻璃基板的第一氣缸50，和在寬度方向上定位玻璃基板的第二氣缸60。其中，第一氣缸50可以為直線氣缸，并且為四個(gè)，分別用于設(shè)置在玻璃基板的四角，通過(guò)四個(gè)直線氣缸的配合推動(dòng)玻璃基板到指定的Y軸位置。第二氣缸60為旋轉(zhuǎn)氣缸，并且為兩個(gè)，分別用于設(shè)置在玻璃基板寬度方向上的一側(cè)，調(diào)整玻璃基板的到指定的X軸位置，以確保移動(dòng)裝置(例如下述的真空吸盤(pán)70)可以驅(qū)動(dòng)玻璃基板運(yùn)動(dòng)。需要說(shuō)明的是，第一氣缸50和第二氣缸60的具體形式均為本領(lǐng)域內(nèi)的常用技術(shù)手段，這里不再贅述。

如圖2所示，移動(dòng)裝置包括設(shè)置在氣浮裝置寬度方向的一側(cè)的真空吸盤(pán)70，以從單側(cè)吸附玻璃基板運(yùn)動(dòng)，并且不會(huì)劃傷玻璃基板表面。具體地，在一個(gè)實(shí)施方式中，玻璃基板被傳送之前，首先通過(guò)第一氣缸50和第二氣缸60將玻璃基板定位到指定位置，保持玻璃基板表面水平，并且玻璃基板邊部與氣浮平臺(tái)邊部平行，真空吸盤(pán)70吸附玻璃基板的一側(cè)，真空吸盤(pán)70在外部推動(dòng)裝置的作用下驅(qū)動(dòng)玻璃基板移動(dòng)，從而完成玻璃基板的傳送。

以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，但是，本實(shí)用新型并不限于上述實(shí)施方式中的具體細(xì)節(jié)，在本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行多種簡(jiǎn)單變型，這些簡(jiǎn)單變型均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

另外需要說(shuō)明的是，在上述具體實(shí)施方式中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過(guò)任何合適的方式進(jìn)行組合，為了避免不必要的重復(fù)，本實(shí)用新型對(duì)各種可能的組合方式不再另行說(shuō)明。

此外，本實(shí)用新型的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合，只要其不違背本實(shí)用新型的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本實(shí)用新型所公開(kāi)的內(nèi)容。