技術總結
本實用新型公開了一種氣浮平臺、氣浮裝置及玻璃基板傳送裝置，其中氣浮平臺用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上貼合疊放的進氣層(10)和出氣層(20)，進氣層的頂部形成有周向封閉的凹槽，該凹槽的底部形成有沿高度方向貫穿進氣層的進氣孔(11)，以連接進氣管接頭(40)，出氣層上均勻地布設有沿高度方向貫穿出氣層的出氣孔(21)，出氣孔通過凹槽與進氣孔連通。使用氣流支撐玻璃基板，避免玻璃基板在運輸過程中與支撐裝置接觸，從而防止造成劃傷和污染，進而提高玻璃基板的成品率，提高工作效率。

技術研發人員：丁力;程常寶;蔡杰
受保護的技術使用者：江蘇東旭億泰智能裝備有限公司;蕪湖東旭光電裝備技術有限公司;東旭光電科技股份有限公司
文檔號碼：201620661848
技術研發日：2016.06.28
技術公布日：2017.05.24