本申請涉及半導體制造，特別是涉及一種光罩盒的開盒裝置。

背景技術：

1、光罩盒作為半導體制造過程中不可或缺的工具，主要用于存放和保護光罩。其主要功能在于減少外界微塵等污染物對光罩的侵蝕，同時實現防靜電效果，以確保光罩的清潔度和完整性。此外，光罩盒還承擔著在生產轉運過程中保護光罩免受碰撞等意外損傷的重要作用。

2、鑒于光罩儲存環境的高要求，光罩盒在完成一定次數的使用后，需要進行清洗以維持其清潔度和性能。現有的清洗流程通常包括將光罩盒置于光罩盒清洗設備中，先通過打開光罩盒，將頂蓋與底座分別放置于清洗設備內進行徹底清洗，清洗完成后再將兩者重新組裝，最后放置于指定位置等待下次使用。

3、在現有技術中，光罩盒的開盒和關盒操作主要依賴于自動化開盒器。具體而言，當光罩盒放置于開盒器上時，通過在位檢測傳感器確認光罩盒的就位狀態，隨后，開盒器的開鎖機構采用微型步進電機驅動蝸桿旋轉，并通過渦輪蝸桿減速機構帶動滑槽機構，使鎖扣關閉并鎖止，從而完成開盒動作；而在關盒過程中，則通過人工將光罩盒頂蓋蓋上后，步進電機反轉，驅動滾珠絲杠，使滑槽機構帶動鎖扣打開，完成關盒。

4、然而，現有技術中存在一個顯著的問題：光罩盒在組裝完成并流入生產線后，偶爾會出現因組裝方向錯誤而導致的光罩盒卡在設備內部的情況，這不僅會導致設備故障停機，還可能對生產效率和產品質量造成嚴重影響。因此，開發一種能夠準確、高效地實現光罩盒開盒、關盒操作，同時確保組裝方向正確的技術，成為當前業內亟待解決的問題。

技術實現思路

1、鑒于以上所述現有技術中光罩盒開關盒過程存在的缺陷及不足，本申請提供一種光罩盒的開盒裝置，以改善現有光罩盒組裝存在人為操作錯誤和光罩盒防呆措施不徹底導致的光罩盒發生組裝錯誤的問題。

2、為了實現上述目的及其他相關目的，本申請提供一種光罩盒的開盒裝置，用于光罩盒的啟閉過程，所述開盒裝置具有與光罩盒外形結構適配的容納部，所述容納部包括一容納腔底板和與所述容納腔底板呈一定角度的至少一個側壁；還包括：

3、至少兩個傳感部，所述傳感部設置于所述容納腔底板上，用于感應所述光罩盒置于所述開盒裝置的所述容納部時的位置準確性，并將就位信號發送至所述開盒裝置的控制機構，以控制所述光罩盒的啟閉狀態。

4、在一些實施方式中，沿所述光罩盒的俯視方向，所述光罩盒的投影為矩形；所述光罩盒的投影落入所述容納部的投影范圍。

5、在一些實施方式中，所述開盒裝置具有兩個所述傳感部，兩個所述傳感部沿所述容納部的其中一條對角線交錯設置于所述容納部的兩個對角位置。

6、在一些實施方式中，所述開盒裝置具有四個所述傳感部，四個所述傳感部沿所述容納部的兩條對角線交錯設置于所述容納部的四個對角位置，且四個所述傳感部呈兩兩對稱排布。

7、在一些實施方式中，在水平方向上，所述傳感部距離所述光罩盒的底座具有一間距，所述間距介于0mm～5mm之間。

8、在一些實施方式中，所述容納腔底板開設一貫穿其自身的安裝槽，所述傳感部的感應器件埋設于所述安裝槽內，在光罩盒下放接觸所述容納腔底板的過程中，所述感應器件感應接觸距離，并控制光罩盒的啟閉狀態。

9、在一些實施方式中，所述傳感部還包括調節支架，所述調節支架位于所述容納腔底板的背面，用以安裝所述感應器件并調節所述感應器件的檢測間隙參數。

10、在一些實施方式中，所述感應器件的檢測間隙小于或等于2mm。

11、在一些實施方式中，所述傳感部的感應器件為紅外傳感器、光纖傳感器、微動開關或者電容式接近開關中的任一一種。

12、在一些實施方式中，所述開盒裝置還配置有指示部，用以分別指示開盒裝置的多種工作狀態。

13、與現有技術相比，本申請提供的光罩盒的開盒裝置至少具有以下有益效果：

14、本申請技術方案針對光罩盒組裝方向錯誤問題，在現有的開盒裝置中增加防呆單元，也即傳感部，使用傳感部感應安裝距離以確定光罩盒邊角是否組裝到位。通過安裝于開盒裝置容納部內多個位置的傳感部，可判斷正要開盒或是關盒的光罩盒是否組裝錯誤或是擺放錯誤，用于光罩盒組裝時的防呆或是檢測光罩盒組裝是否正確。若發生光罩盒組裝錯誤問題，傳感部沒有被完全觸發，開盒裝置無法進行相應的開關盒動作，需要人為干預，排除異常，保證光罩盒組裝正常無誤；若放置一個組裝錯誤的光罩盒于開盒裝置上用于開盒，因組裝錯誤，傳感部沒有被完全觸發，開盒裝置無法進行相應的開盒動作，可避免組裝錯誤的光罩盒流出。

技術特征：

1.一種光罩盒的開盒裝置，用于光罩盒的啟閉過程，所述開盒裝置具有與光罩盒外形結構適配的容納部，所述容納部包括一容納腔底板和與所述容納腔底板呈一定角度的至少一個側壁；其特征在于，還包括：

2.根據權利要求1所述的光罩盒的開盒裝置，其特征在于，沿所述光罩盒的俯視方向，所述光罩盒的投影為矩形；所述光罩盒的投影落入所述容納部的投影范圍。

3.根據權利要求1所述的光罩盒的開盒裝置，其特征在于，所述開盒裝置具有兩個所述傳感部，兩個所述傳感部沿所述容納部的其中一條對角線交錯設置于所述容納部的兩個對角位置。

4.根據權利要求1所述的光罩盒的開盒裝置，其特征在于，所述開盒裝置具有四個所述傳感部，四個所述傳感部沿所述容納部的兩條對角線交錯設置于所述容納部的四個對角位置，且四個所述傳感部呈兩兩對稱排布。

5.根據權利要求1所述的光罩盒的開盒裝置，其特征在于，在水平方向上，所述傳感部距離所述光罩盒的底座具有一間距，所述間距介于0mm～5mm之間。

6.根據權利要求1所述的光罩盒的開盒裝置，其特征在于，所述容納腔底板開設一貫穿其自身的安裝槽，所述傳感部的感應器件埋設于所述安裝槽內，在光罩盒下放接觸所述容納腔底板的過程中，所述感應器件感應接觸距離，并控制光罩盒的啟閉狀態。

7.根據權利要求6所述的光罩盒的開盒裝置，其特征在于，所述傳感部還包括調節支架，所述調節支架位于所述容納腔底板的背面，用以安裝所述感應器件并調節所述感應器件的檢測間隙參數。

8.根據權利要求6所述的光罩盒的開盒裝置，其特征在于，所述感應器件的檢測間隙小于或等于2mm。

9.根據權利要求1所述的光罩盒的開盒裝置，其特征在于，所述傳感部的感應器件為紅外傳感器、光纖傳感器、微動開關或者電容式接近開關中的任一一種。

10.根據權利要求1所述的光罩盒的開盒裝置，其特征在于，所述開盒裝置還配置有指示部，用以分別指示開盒裝置的多種工作狀態。

技術總結
本申請提供了一種光罩盒的開盒裝置，用于光罩盒的啟閉過程，開盒裝置具有與光罩盒外形結構適配的容納部，容納部包括一容納腔底板和與容納腔底板呈一定角度的至少一個側壁；還包括至少兩個傳感部，傳感部設置于容納腔底板上，用于感應所述光罩盒置于開盒裝置的容納部時的位置準確性，并將就位信號發送至開盒裝置的控制機構，以控制所述光罩盒的啟閉狀態。本申請技術方案針對光罩盒組裝方向錯誤問題，使用傳感部感應安裝距離以確定光罩盒邊角是否組裝到位，安裝于容納部內多個位置的傳感部可判斷正要開盒或是關盒的光罩盒是否組裝錯誤或是擺放錯誤，避免組裝錯誤的光罩盒流出。

技術研發人員：李全鑫,逄宇帆
受保護的技術使用者：青島方益技術有限公司
技術研發日：20240701
技術公布日：2025/4/28