本技術涉及晶圓加工，具體來說涉及一種晶圓涂覆工裝。

背景技術：

1、晶圓生產是半導體工業中的一個重要環節，主要用生產集成電路片，而在晶圓生產過程可以分為幾個主要的工藝流程，包括切片、拋光、清洗、掩膜、光刻等。而在光刻前晶圓會涂覆一層膠體，用來增強抗腐蝕能力和抗劃傷能力。但是在對晶圓片噴涂的過程中，膠體通過噴嘴均勻涂覆在晶圓片上，則會有少量的膠體飛濺在膠桶的內壁上，在膠體長時間放置后會凝固，以至于后續難易清理。

技術實現思路

1、本實用新型的目的是針對現有的技術存在上述問題，旨在解決晶圓在噴涂膠體后發生凝固后，不便于后續清理的問題。

2、為了實現上述目的，本實用新型可通過下列技術方案來實現：一種晶圓涂覆工裝，包括：

3、涂膠筒，其一側開設有齒形槽，且在其另一側開設有滑槽；

4、夾持單元，其設置于所述涂膠筒上，且所述夾持單元包括設置于所述涂膠筒內的夾持板；

5、清潔單元，其包括支撐架、第一電機以及設置于所述第一電機輸出端的齒輪，所述支撐架的一端設置有滑動設置于所述滑槽內的軸承，且在其另一端與所述第一電機相配合，所述齒輪與所述齒形槽相嚙合；

6、所述支撐架上滑動設置有清洗刷，所述清洗刷與所述支撐架之間設置有彈簧，所述彈簧抵推清洗刷與所述涂膠筒的內壁相貼合。

7、本實用新型實施例，所述夾持單元還包括設置于所述涂膠筒上的第二電機，所述第二電機的輸出端設置有螺桿，所述螺桿與所述夾持板螺紋連接。

8、本實用新型實施例，所述夾持板上呈圓周陣列滑動設置有夾塊，所述夾塊上設置有與所述夾持板螺紋連接的旋鈕。

9、本實用新型實施例，所述夾持板具有一夾持槽，所述夾持槽內開設有通孔。

10、本實用新型實施例，所述支撐架上卡接有水接頭，所述水接頭的一端設置有朝向所述涂膠筒內壁的噴灑頭。

11、本實用新型實施例，所述涂膠筒的底部設置有底架，所述底架上設置有位于涂膠筒正下方的廢液收集罐。

12、本實用新型實施例，所述支撐架上設置有圓架，所述第一電機通過圓架固定于所述支撐架上。

13、與現有技術相比，本申請的優點為：將晶圓片固定至夾持板上進行噴涂膠體，在噴涂完成后，可利用第一電機進行輸出，以此使支撐架沿著齒形槽滑動，并對涂膠筒的內壁進行清潔，提高了對該工裝的清潔效率。

技術特征：

1.一種晶圓涂覆工裝，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的一種晶圓涂覆工裝，其特征在于，所述夾持單元還包括設置于所述涂膠筒上的第二電機，所述第二電機的輸出端設置有螺桿，所述螺桿與所述夾持板螺紋連接。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓涂覆工裝，其特征在于，所述夾持板上呈圓周陣列滑動設置有夾塊，所述夾塊上設置有與所述夾持板螺紋連接的旋鈕。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓涂覆工裝，其特征在于，所述夾持板具有一夾持槽，所述夾持槽內開設有通孔。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓涂覆工裝，其特征在于，所述支撐架上卡接有水接頭，所述水接頭的一端設置有朝向所述涂膠筒內壁的噴灑頭。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓涂覆工裝，其特征在于，所述涂膠筒的底部設置有底架，所述底架上設置有位于涂膠筒正下方的廢液收集罐。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓涂覆工裝，其特征在于，所述支撐架上設置有圓架，所述第一電機通過圓架固定于所述支撐架上。

技術總結
本技術提供了一種晶圓涂覆工裝，包括：涂膠筒，其一側開設有齒形槽，且在其另一側開設有滑槽；夾持單元，其設置于所述涂膠筒上，且所述夾持單元包括設置于所述涂膠筒內的夾持板；清潔單元，其包括支撐架、第一電機以及設置于所述第一電機輸出端的齒輪，所述支撐架的一端設置有滑動設置于所述滑槽內的軸承，且在其另一端與所述第一電機相配合，所述齒輪與所述齒形槽相嚙合；所述支撐架上滑動設置有清洗刷。本技術提供的晶圓涂覆工裝，將晶圓片國固定至夾菜吃板上進行噴涂膠體，在噴涂完成后，可利用第一電機進行輸出，以此使支撐架沿著齒形槽滑動，并對涂膠筒的內壁進行清潔，提高了對該工裝的清潔效率。

技術研發人員：吳明
受保護的技術使用者：浙江藍特光學股份有限公司
技術研發日：20240417
技術公布日：2025/3/20