技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種電泳共沉積制備陶瓷結(jié)合劑超細(xì)磨料拋光盤的方法。該方法首先將超細(xì)磨料和超細(xì)陶瓷粉加入到有機(jī)溶劑中，通過磁力攪拌和超聲分散將其制備成顆粒均勻分散的懸浮液；再向懸浮液中添加高價金屬陽離子，使分散均勻的顆粒帶上正電荷；然后通過電泳共沉積的方法，使溶液中的帶電顆粒均勻地沉積在陰級基板上；最后將風(fēng)干后的基板放入箱式電阻爐中進(jìn)行固化燒結(jié)，制備出陶瓷結(jié)合劑超細(xì)磨料拋光盤。本發(fā)明提供的拋光盤制備方法簡單易行且成本低廉，不僅能使超細(xì)磨料均勻分散在陶瓷結(jié)合劑中，而且涂層厚度可控，能沉積在異形基體上。該方法制備的拋光盤在半導(dǎo)體晶圓的高效超精密加工領(lǐng)域具有良好的應(yīng)用前景。

技術(shù)研發(fā)人員：陸靜;徐西鵬;王艷輝;羅求發(fā)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華僑大學(xué)
文檔號碼：201611159306
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.15
技術(shù)公布日：2017.05.17