技術特征：

技術總結
本申請公開了一種掩膜板及其制作方法，該方法包括：提供基板，基板的材料為絕緣材料；在基板上形成圖案化的電極層，圖案化的電極層上具有多個電極，所述電極層的材料為導電材料；采用電鑄工藝，在所述圖案化的電極層上形成電鑄膜；采用機械剝離工藝，將所述電鑄膜剝離所述基板和所述電極，得到掩膜板。本發明的掩膜板制作方法，基板選用絕緣材料，之后在基板上形成圖案化的電極層，在電極層上電鑄得到電鑄膜，之后采用機械剝離工藝，剝離電鑄膜，得到掩膜板。由于基板材料的調整，使得電鑄膜與基板之間的附著力小于現有技術中的不銹鋼等金屬材料基板與電鑄膜間的附著力，從而在一定程度上提高了掩膜板的良率，從根本上解決了現有技術中的問題。

技術研發人員：李春霞
受保護的技術使用者：上海天馬有機發光顯示技術有限公司
技術研發日：2017.05.23
技術公布日：2017.09.15