本技術(shù)涉及廢氣處理，具體而言，涉及一種廢氣處理設(shè)備及多機(jī)互備系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造、液晶面板制造、led、太陽能等行業(yè)生產(chǎn)原物料中，含有多種易燃易爆、有毒有害等氣體，對(duì)環(huán)境或人體皆具有一定的危害性，必須防止其直接排放大氣中，因此需要廢氣處理設(shè)備對(duì)廢氣進(jìn)行處理。廢氣處理設(shè)備處理廢氣時(shí)，是通過管道將生產(chǎn)產(chǎn)生的廢氣通入設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行處理，通過加熱廢氣進(jìn)行高溫處理，改變氣體成分，部分氣體發(fā)生反應(yīng)后的粉塵等產(chǎn)物經(jīng)過過濾、水洗，隨后經(jīng)排水管路排出。

2、經(jīng)發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的廢氣處理設(shè)備采用管路直連進(jìn)氣，當(dāng)設(shè)備發(fā)生故障時(shí)，需要停止輸入廢氣，影響工作效率。當(dāng)設(shè)備故障需要切入其他設(shè)備時(shí)，如果故障設(shè)備輸入管道的壓力較低，廢氣會(huì)倒灌入故障設(shè)備，造成廢氣不經(jīng)過處理直接排出的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種廢氣處理設(shè)備及多機(jī)互備系統(tǒng)，其能夠改變廢氣的運(yùn)行路線，持續(xù)輸送廢氣，工作效率高；并能夠防止廢氣倒灌，提高設(shè)備安全性。

2、本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

3、第一方面，本實(shí)用新型提供一種廢氣處理設(shè)備，包括：

4、設(shè)備本體，設(shè)備本體上設(shè)有第二進(jìn)氣口和備用進(jìn)氣口。第二進(jìn)氣口和備用進(jìn)氣口均用于向設(shè)備本體內(nèi)部通入廢氣。

5、三通閥，三通閥包括第一進(jìn)氣口、第一出氣口和第二出氣口，第一進(jìn)氣口用于通入廢氣，三通閥能夠?qū)ǖ谝贿M(jìn)氣口和第一出氣口之間的氣路，或者第一進(jìn)氣口和第二出氣口之間的氣路。三通閥用于通入廢氣，并選擇性地將廢氣從第一出氣口或者第二出氣口排出。第一出氣口和第二進(jìn)氣口通過第一管道連接，第二出氣口上連接有旁通管道。當(dāng)設(shè)備本體正常運(yùn)行時(shí)，廢氣經(jīng)過第一管道進(jìn)入設(shè)備本體內(nèi)；當(dāng)設(shè)備本體發(fā)生故障時(shí)，將旁通管道連接其他設(shè)備的備用進(jìn)氣口，廢氣經(jīng)過旁通管道進(jìn)入其他設(shè)備進(jìn)行處理。

6、第一檢測(cè)組件，第一檢測(cè)組件用于檢測(cè)第一管道和旁通管道的壓力。檢測(cè)并防止第一管道的壓力低于旁通管道的壓力。

7、補(bǔ)氣組件，補(bǔ)氣組件用于向第一管道補(bǔ)氣。當(dāng)?shù)谝还艿赖膲毫Φ陀谂酝ü艿赖膲毫r(shí)，補(bǔ)氣組件向第一管道進(jìn)行補(bǔ)氣，使得第一管道的壓力大于或者等于旁通管道的壓力，防止氣體倒灌。

8、第二方面，本實(shí)用新型提供一種多機(jī)互備系統(tǒng)，包括多個(gè)如前述實(shí)施方式的廢氣處理設(shè)備，廢氣處理設(shè)備的旁通管道與另一廢氣處理設(shè)備的備用進(jìn)氣口連通。當(dāng)設(shè)備本體正常運(yùn)行時(shí)，三通閥切換到第一出氣口出氣，廢氣從第一進(jìn)氣口進(jìn)入三通閥，依次經(jīng)過第一出氣口、第一管道和第二進(jìn)氣口進(jìn)入設(shè)備本體進(jìn)行處理；當(dāng)設(shè)備本體發(fā)生故障時(shí)，三通閥切換到第二出氣口出氣，廢氣從第一進(jìn)氣口進(jìn)入三通閥，依次經(jīng)過第二出氣口、旁通管道輸送到其他能夠正常運(yùn)行的設(shè)備本體進(jìn)行處理，此時(shí)發(fā)生故障的設(shè)備本體可以進(jìn)行維修，不影響系統(tǒng)的正常工作。

9、本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果是：

10、本實(shí)用新型的廢氣處理設(shè)備通過設(shè)置三通閥，當(dāng)設(shè)備本體發(fā)生故障時(shí)，將通氣路徑切換到三通閥的第二出氣口，將廢氣從旁通管道輸出到能正常運(yùn)行的設(shè)備進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線可持續(xù)生產(chǎn)，提高了工作效率；本實(shí)用新型的廢氣處理設(shè)備通過第一檢測(cè)組件檢測(cè)第一管道和旁通管道的壓力，通過補(bǔ)氣組件向第一管道補(bǔ)氣，避免了第一管道的壓力過小，發(fā)生廢氣倒灌的情況。

11、本實(shí)用新型的多機(jī)互備系統(tǒng)通過多個(gè)上述的廢氣處理設(shè)備互聯(lián)，當(dāng)其中一個(gè)廢氣處理設(shè)備發(fā)生故障時(shí)，切換廢氣通道，能夠?qū)U氣通入另一廢氣處理設(shè)備進(jìn)行處理，減少設(shè)備和主機(jī)的停機(jī)時(shí)間和停機(jī)率，避免了主機(jī)臺(tái)啟動(dòng)、停止時(shí)調(diào)試等工作造成的資源浪費(fèi)。

技術(shù)特征：

1.一種廢氣處理設(shè)備(100)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備(100)，其特征在于，所述第一檢測(cè)組件(30)包括壓力檢測(cè)件，所述壓力檢測(cè)件分別和所述第一管道(50)、所述旁通管道(60)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的廢氣處理設(shè)備(100)，其特征在于，所述壓力檢測(cè)件為差壓計(jì)(31)，所述差壓計(jì)(31)的兩個(gè)輸入端分別和所述第一管道(50)、所述旁通管道(60)連接，用于檢測(cè)所述第一管道(50)和所述旁通管道(60)的壓力差值。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的廢氣處理設(shè)備(100)，其特征在于，所述壓力檢測(cè)件包括第一檢測(cè)件(32)和第二檢測(cè)件(33)，所述第一檢測(cè)件(32)與所述第一管道(50)連接，所述第二檢測(cè)件(33)與所述旁通管道(60)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備(100)，其特征在于，所述補(bǔ)氣組件(40)包括吹掃管(41)，所述吹掃管(41)的一端連接于所述第一管道(50)的側(cè)壁，并與所述第一管道(50)連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的廢氣處理設(shè)備(100)，其特征在于，所述吹掃管(41)上設(shè)置有電磁閥(42)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備(100)，其特征在于，所述設(shè)備本體(10)還包括第二檢測(cè)組件，所述第二檢測(cè)組件用于獲取所述設(shè)備本體(10)的運(yùn)行信號(hào)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的廢氣處理設(shè)備(100)，其特征在于，還包括控制組件，所述控制組件用于接收所述第一檢測(cè)組件(30)的壓力信號(hào)，并控制所述補(bǔ)氣組件(40)工作或者待機(jī)；所述控制組件還用于接收所述第二檢測(cè)組件的運(yùn)行信號(hào)，并控制所述廢氣處理設(shè)備(100)工作或者待機(jī)。

9.一種多機(jī)互備系統(tǒng)(200)，其特征在于，包括多個(gè)如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的廢氣處理設(shè)備(100)，每個(gè)所述廢氣處理設(shè)備(100)的所述旁通管道(60)均與另一所述廢氣處理設(shè)備(100)的所述備用進(jìn)氣口(12)連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多機(jī)互備系統(tǒng)(200)，其特征在于，所述多機(jī)互備系統(tǒng)(200)包括第一廢氣處理設(shè)備(210)和第二廢氣處理設(shè)備(220)，第一廢氣處理設(shè)備的旁通管道(2104)與第二廢氣處理設(shè)備的備用進(jìn)氣口(2203)連通，以使當(dāng)所述第一廢氣處理設(shè)備(210)發(fā)生故障時(shí)，所述第二廢氣處理設(shè)備(220)代替所述第一廢氣處理設(shè)備(210)運(yùn)行；第二廢氣處理設(shè)備的旁通管道(2204)與第一廢氣處理設(shè)備的備用進(jìn)氣口(2103)連通，以使當(dāng)所述第二廢氣處理設(shè)備(220)發(fā)生故障時(shí)，所述第一廢氣處理設(shè)備(210)代替所述第二廢氣處理設(shè)備(220)運(yùn)行。

技術(shù)總結(jié)
一種廢氣處理設(shè)備及多機(jī)互備系統(tǒng)，涉及廢氣處理技術(shù)領(lǐng)域。本廢氣處理設(shè)備包括設(shè)備本體、三通閥、第一檢測(cè)組件和補(bǔ)氣組件。設(shè)備本體上設(shè)有第二進(jìn)氣口和備用進(jìn)氣口。三通閥包括第一進(jìn)氣口、第一出氣口和第二出氣口。第一進(jìn)氣口用于通入廢氣。三通閥能夠?qū)ǖ谝贿M(jìn)氣口和第一出氣口之間的氣路，或者第一進(jìn)氣口和第二出氣口之間的氣路。第一出氣口和第二進(jìn)氣口通過第一管道連接。第二出氣口上連接有旁通管道。第一檢測(cè)組件用于檢測(cè)第一管道和旁通管道的壓力。補(bǔ)氣組件用于向第一管道補(bǔ)氣。本多機(jī)互備系統(tǒng)包括多個(gè)上述的廢氣處理設(shè)備。本多機(jī)互備系統(tǒng)的廢氣處理設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)產(chǎn)線可持續(xù)生產(chǎn)，提高工作效率，防止廢氣倒灌。

技術(shù)研發(fā)人員：張偉明,余歡,江楓濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海盛劍半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240705
技術(shù)公布日：2025/4/28