本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)，具體而言，涉及一種可移動(dòng)式供氣裝置以及供氣系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，半導(dǎo)體材料等產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中廣泛使用著特氣設(shè)備，特氣設(shè)備內(nèi)常通電源連接plc控制模塊驅(qū)動(dòng)電磁閥，再利用電磁閥驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)電氣元件，從而達(dá)到設(shè)備正常運(yùn)作的功能。因此在生產(chǎn)車間出現(xiàn)緊急停電的情況或者電氣元器件出現(xiàn)損壞時(shí)，電氣元件缺少驅(qū)動(dòng)無(wú)法正常運(yùn)行，進(jìn)而導(dǎo)致設(shè)備宕機(jī)、產(chǎn)線停產(chǎn)，造成不可忽視的財(cái)產(chǎn)損失，因此需要一鍵強(qiáng)制功能，利用外界氣源向特氣設(shè)備內(nèi)輸送特定的氣體，以保障設(shè)備正常運(yùn)作。

2、行業(yè)現(xiàn)有設(shè)備中，經(jīng)技術(shù)改進(jìn)后多單臺(tái)控制柜上新增強(qiáng)制撥碼供氣功能，但在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，廠區(qū)停電、或者驅(qū)動(dòng)元器件損壞導(dǎo)致設(shè)備宕機(jī)的現(xiàn)象也并不常見(jiàn)，從而導(dǎo)致設(shè)備上的一鍵強(qiáng)制供氣使用率并不高；同時(shí)每臺(tái)設(shè)備均配備一套完整一鍵強(qiáng)制供氣功能既占用了設(shè)備的空間、同時(shí)也增加了設(shè)備成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的目的在于提供一種可移動(dòng)式供氣裝置，可實(shí)現(xiàn)靈活地對(duì)不同位置的待供氣設(shè)備進(jìn)行供氣，以驅(qū)動(dòng)電氣元件工作，同時(shí)不增加特氣設(shè)備的體積。

2、本申請(qǐng)的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

3、第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種可移動(dòng)式供氣裝置，包括架體，所述架體包括第一支撐部與第二支撐部；所述第一支撐部與所述第二支撐部均用于與氣瓶接觸，并且被配置為將氣瓶呈傾斜狀態(tài)支撐于所述架體；所述架體還包括把手，所述架體下方設(shè)置有行走機(jī)構(gòu)。

4、上述技術(shù)方案提供的供氣裝置設(shè)置有把手與行走機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)在人力的作用下進(jìn)行轉(zhuǎn)移，以攜帶氣瓶轉(zhuǎn)移至需要供氣的設(shè)備所在位置。上述技術(shù)方案提供的供氣裝置可獨(dú)立于特氣設(shè)備而存在，因此，不會(huì)增加特氣設(shè)備的體積。上述技術(shù)方案中，由于架體的第一支撐部與第二支撐部可將氣瓶?jī)A斜地設(shè)置于架體，能夠減少氣瓶在架體運(yùn)動(dòng)過(guò)程中出現(xiàn)晃動(dòng)的可能，提高了供氣裝置的安全性。

5、在一些可選的實(shí)施方案中，所述第一支撐部包括支撐面，所述支撐面用于接觸氣瓶的底部，所述第二支撐部用于接觸氣瓶的柱面。

6、采用上述技術(shù)方案中的設(shè)置方式，第一支撐部可與氣瓶進(jìn)行較大面積的接觸、氣瓶中較多位置可與第二支撐部進(jìn)行接觸，能夠?qū)馄窟M(jìn)行更加穩(wěn)定地支撐。

7、在一些可選的實(shí)施方案中，所述架體包括兩并排設(shè)置的支撐桿，每個(gè)所述支撐桿均設(shè)置所述第二支撐部，且所述第二支撐部朝向相對(duì)的所述支撐桿的方向凸出。

8、上述技術(shù)方案中，兩個(gè)支撐桿上的第二支撐部可以從兩側(cè)對(duì)氣瓶的柱面進(jìn)行支撐，可使氣瓶穩(wěn)定地被支撐在兩根桿之間的位置。

9、在一些可選的實(shí)施方案中，所述支撐桿還設(shè)置有固定孔，所述固定孔用于設(shè)置綁帶以固定氣瓶。

10、在一些可選的實(shí)施方案中，所述架體還可拆卸地連接有操作盤面，所述操作盤面設(shè)置有供氣管路，所述供氣管路的入口用于連接氣瓶、出口用于連接電氣元件。

11、上述技術(shù)方案中，操作盤面與架體之間為可拆卸連接，方便對(duì)操作面盤進(jìn)行更換。操作面盤上設(shè)置有供氣管路，通過(guò)供氣管路可以將氣瓶中的氣體通入電氣元件中，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)特氣設(shè)備中的電氣元件工作。

12、在一些可選的實(shí)施方案中，所述供氣管路依次設(shè)置有第一閥門、調(diào)壓閥、第二閥門以及機(jī)控閥，其中，所述第一閥門位于所述供氣管路入口端、所述機(jī)控閥位于所述供氣管路的出口端。

13、在一些可選的實(shí)施方案中，所述機(jī)控閥的出口連接有氣動(dòng)指示燈，所述氣動(dòng)指示燈的出口用于連接電氣元件。

14、上述技術(shù)方案中，通過(guò)觀察氣動(dòng)指示燈可以判斷是否有氣流經(jīng)過(guò)氣動(dòng)指示燈，而氣動(dòng)指示燈的出口用于連接電氣元件，因此，可以通過(guò)觀察氣動(dòng)指示燈判斷是否有氣流通向電氣元件。

15、在一些可選的實(shí)施方案中，所述供氣管路的出口端包括多個(gè)并聯(lián)的支路，所述支路連接于所述第二閥門的出口，所述機(jī)控閥與所述氣動(dòng)指示燈串聯(lián)于所述支路。

16、上述技術(shù)方案中，供氣管路的出口端包括多個(gè)并聯(lián)支路，可實(shí)現(xiàn)由每個(gè)支路獨(dú)立地向一個(gè)電氣元器件進(jìn)行供電，通過(guò)氣動(dòng)指示燈可以觀察該支路是否有氣流經(jīng)過(guò)。

17、在一些可選的實(shí)施方案中，還包括第三閥門以及泄壓閥，所述第二閥門、所述第三閥門以及所述泄壓閥并聯(lián)連接于所述調(diào)壓閥的出口。

18、上述技術(shù)方案中，通過(guò)在調(diào)壓閥的出口連接第三閥門，可以在更換氣瓶之后，通過(guò)第三閥門進(jìn)行放氣，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)供氣管路的入口至第三閥門之間的管路進(jìn)行吹掃。通過(guò)泄壓閥可以設(shè)置調(diào)壓閥的出口所連接的管路的壓力上限，以避免調(diào)壓閥損壞而使得進(jìn)入電氣元件中的氣體壓力過(guò)大而導(dǎo)致的電氣元件損壞。

19、第二方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種供氣系統(tǒng)，包括氣瓶以及第一方面提供的可移動(dòng)式供氣裝置，所氣瓶的底面與所述第一支撐部接觸，所述氣瓶的側(cè)面與所述第二支撐部接觸。

20、上述技術(shù)方案提供的供氣系統(tǒng)可以應(yīng)用于設(shè)備停電狀態(tài)下對(duì)電氣元器件進(jìn)行供氣，以使設(shè)備繼續(xù)運(yùn)行、減少損失。上述技術(shù)方案提供的供氣裝置可獨(dú)立于特氣設(shè)備而存在，因此，不會(huì)增加特氣設(shè)備的體積以及成本。上述技術(shù)方案提供的供氣系統(tǒng)配備有行走機(jī)構(gòu)以及氣瓶，無(wú)需現(xiàn)場(chǎng)另外尋找氣源，使用便捷。

技術(shù)特征：

1.一種可移動(dòng)式供氣裝置，其特征在于，包括架體，所述架體包括第一支撐部與第二支撐部；所述第一支撐部與所述第二支撐部均用于與氣瓶接觸，并且被配置為將氣瓶呈傾斜狀態(tài)支撐于所述架體；所述架體還包括把手，所述架體下方設(shè)置有行走機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可移動(dòng)式供氣裝置，其特征在于，所述第一支撐部包括支撐面，所述支撐面用于接觸氣瓶的底部，所述第二支撐部用于接觸氣瓶的柱面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可移動(dòng)式供氣裝置，其特征在于，所述架體包括兩并排設(shè)置的支撐桿，每個(gè)所述支撐桿均設(shè)置所述第二支撐部，且所述第二支撐部朝向相對(duì)的所述支撐桿的方向凸出。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可移動(dòng)式供氣裝置，其特征在于，所述支撐桿還設(shè)置有固定孔，所述固定孔用于設(shè)置綁帶以固定氣瓶。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的可移動(dòng)式供氣裝置，其特征在于，所述架體還可拆卸地連接有操作盤面，所述操作盤面設(shè)置有供氣管路，所述供氣管路的入口用于連接氣瓶、出口用于連接電氣元件。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可移動(dòng)式供氣裝置，其特征在于，所述供氣管路依次設(shè)置有第一閥門、調(diào)壓閥、第二閥門以及機(jī)控閥，其中，所述第一閥門位于所述供氣管路入口端、所述機(jī)控閥位于所述供氣管路的出口端。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可移動(dòng)式供氣裝置，其特征在于，所述機(jī)控閥的出口連接有氣動(dòng)指示燈，所述氣動(dòng)指示燈的出口用于連接電氣元件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的可移動(dòng)式供氣裝置，其特征在于，所述供氣管路的出口端包括多個(gè)并聯(lián)的支路，所述支路連接于所述第二閥門的出口，所述機(jī)控閥與所述氣動(dòng)指示燈串聯(lián)于所述支路。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可移動(dòng)式供氣裝置，其特征在于，還包括第三閥門以及泄壓閥，所述第二閥門、所述第三閥門以及所述泄壓閥并聯(lián)連接于所述調(diào)壓閥的出口。

10.一種供氣系統(tǒng)，其特征在于，包括氣瓶以及權(quán)利要求1-9任一所述的可移動(dòng)式供氣裝置，所氣瓶的底面與所述第一支撐部接觸，所述氣瓶的側(cè)面與所述第二支撐部接觸。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N可移動(dòng)式供氣裝置以及供氣系統(tǒng)，其中，可移動(dòng)式供氣裝置包括架體，所述架體包括第一支撐部與第二支撐部；所述第一支撐部與所述第二支撐部均用于與氣瓶接觸，并且被配置為將氣瓶呈傾斜狀態(tài)支撐于所述架體；所述架體還包括把手，所述架體下方設(shè)置有行走機(jī)構(gòu)。上述技術(shù)方案提供的供氣裝置設(shè)置有把手與行走機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)在人力的作用下進(jìn)行轉(zhuǎn)移，以攜帶氣瓶轉(zhuǎn)移至需要供氣的設(shè)備所在位置。上述技術(shù)方案提供的供氣裝置可獨(dú)立于特氣設(shè)備而存在，因此，不會(huì)增加特氣設(shè)備的體積。上述技術(shù)方案中，由于架體的第一支撐部與第二支撐部可將氣瓶?jī)A斜地設(shè)置于架體，能夠減少氣瓶在架體運(yùn)動(dòng)過(guò)程中出現(xiàn)晃動(dòng)的可能，提高了供氣裝置的安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：全洪明,黃芹,顧鑫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海正帆科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240812
技術(shù)公布日：2025/4/28