專利名稱：基板檢查系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及用于對在液晶顯示器(IXD)、等離子體顯示器(rop)等平板顯示器 (FPD)的制造中所使用的大型基板進行檢查的基板檢查系統。
背景技術：
以往，在對平板顯示器所使用的基板進行的檢查中存在如下所述的目視檢查(人工宏觀檢查)在將基板立起成規定角度的狀態下從基板表面側照射宏觀照明光而利用目視根據來自基板的反射光的散射狀況來判斷缺陷，或者，在將基板垂直地立起的狀態下從基板背面側照射背光(back light)照明光而利用目視根據透射光的散射狀況來判斷缺陷。 另外，存在利用顯微鏡等微觀檢查部將基板上的任意部位放大而觀察缺陷的微觀檢查。不過，隨著近年來的平板顯示器的大型化，切割為多個平板顯示器的母玻璃基板也大型化，例如，出現了 1500_X 1800mm以上的大型母玻璃基板。隨著該母玻璃的大型化， 包括人工宏觀檢查裝置及微觀檢查裝置在內的基板的生產線也大型化。因此，提出有通過用簡單的裝置進行人工宏觀檢查及微觀檢查而謀求節省空間的技術(例如，參照專利文獻I及專利文獻2)。這樣的用于進行人工宏觀檢查及微觀檢查的裝置如下這樣設置例如，具有用于使微觀檢查裝置的基板搭載部(基板保持件)立起到作業者側的驅動部，在使基板搭載部立起的狀態下從基板的上方照射宏觀照明光而利用目視進行檢查。專利文獻I :日本特開2003-344294號公報專利文獻2 日本特開2000-28537號公報不過，在以往的人工宏觀檢查過程中，在使保持有基板的基板保持件立起成適于檢查者的目視觀察的傾斜角度的狀態下從基板的上方照射宏觀照明光而檢測反射光，或者，為了在使基板保持件鉛垂地立起的狀態下從基板的后方照射背光照明光而檢測透射光，基板保持件優選使用僅保持基板的周緣的、中空結構的構件。但是，使用中空的基板保持件時，在基板中間部的基板保持力較弱，因此，基板易于發生晃動，在進行放大觀察的微觀檢查過程中發生影像晃動等不良情況。因此，在微觀檢查過程中，優選使用用于水平地保持基板整體的由一張板形成的基板保持件。這樣，用簡單的裝置進行人工宏觀檢查和微觀檢查時，如果優先進行微觀檢查，則應該選擇由一張板形成的基板保持件。使用一張板的基板保持件時，不僅因玻璃基板透明而基板保持件上的劃痕等可見而成為誤檢測的主要原因，而且存在不能進行利用背光照明進行的目視檢查這樣的問題。而且，在使用共用的基板保持件進行人工宏觀檢查和微觀檢查時，通過使微觀檢查裝置的基板搭載部立起而進行人工宏觀檢查，因此，不能同時進行人工宏觀檢查和微觀檢查，從而也產生檢查生產節拍時間變長、進而產生不能提高基板的生產效率這樣的問題
發明內容
本發明的課題在于鑒于上述以往的情況、提供一種不降低生產效率及檢查性能就能夠謀求節省空間的大型基板用的基板檢查系統。本發明提供一種基板檢查系統，其用于用多種檢查方法對被檢查對象基板進行檢查，在該基板檢查系統中，包括自動檢查裝置，其用于利用攝像部拍攝上述被檢查對象基板而進行檢查；架臺，其具有橫跨上述自動檢查裝置的門型形狀的腿部；人工宏觀檢查裝置，其配置在上述架臺上，用于直視上述被檢查對象基板而進行目視檢查；基板輸送機器人，其用于對于上述自動檢查裝置和上述人工宏觀檢查裝置輸入、輸出上述被檢查對象基板，上述人工宏觀檢查裝置借助上述架臺獨立于上述自動檢查裝置地配置在上述自動檢查裝置的上方。在本發明中，人工宏觀檢查裝置與自動檢查裝置是相互獨立的裝置，因此，能夠同時進行利用人工宏觀檢查裝置進行的檢查和利用自動檢查裝置進行的檢查，不會降低兩檢查的運轉效率，即使將人工宏觀檢查裝置配置在自動檢查裝置的上方而謀求節省空間，生產效率也不降低。而且，人工宏觀檢查裝置與自動檢查裝置能夠不使用共用的基板保持部而是使用適于各檢查裝置的基板保持部，因此，檢查性能不降低。因此，采用本發明，不降低生產效率及檢查性能就能夠謀求基板檢查系統的節省空間。


圖I是透視地表示本發明的一實施方式的基板檢查系統的內部結構的主視圖。圖2是表示本發明的一實施方式的基板檢查系統的基板輸入狀態的概略左視圖。圖3是透視地表示本發明的其他的實施方式的基板檢查系統的內部結構的主視圖。
具體實施例方式以下，參照附圖對本發明的實施方式的基板檢查系統進行說明。圖I是透視地表示本發明的一實施方式的基板檢查系統I的內部結構的主視圖。圖2是表示基板檢查系統I的基板輸入狀態的概略左視圖。如圖I所示，基板檢查系統I包括人工宏觀檢查裝置10，其作為目視觀察裝置， 用于作業者以目視進行觀察；微觀檢查裝置20，其作為自動檢查裝置，用于對用數字顯微鏡(攝像部)拍攝到的圖像進行圖像處理而檢測缺陷；外殼2(以雙點劃線圖示)，基板檢查系統I對作為被檢查對象基板的、例如作為一邊為1500_以上的大型玻璃基板的平板顯示器用的母玻璃基板(以下，簡稱為玻璃基板)G進行檢查。人工宏觀檢查裝置10具有基板保持件11，其作為基板保持部，用于保持玻璃基板G ;擺動機構，其用于使該基板保持件11傾斜成適于作業者的目視檢查的角度；宏觀照明光源16，其用于從上方對被保持于基板保持件11的玻璃基板G進行照射，該基板保持件11 被該擺動機構傾斜。而且，人工宏觀檢查裝置10具有用于在立起基板保持件11的狀態下從玻璃基板G的背面側照射透射光的背光照明光源17 (以雙點劃線圖示)。擺動機構具有兩個滑動部12，其用于樞軸支承保持件轉動軸11a，該保持件轉動軸Ila設在基板保持件11的兩側邊的大致中央；兩個框架13，其用于以該滑動部12能夠滑動的方式支承該滑動部12 ;驅動部，其用于使這些框架13轉動到規定的角度。驅動部例如由兩個傾斜軸15構成，該兩個傾斜軸15將各框架13以各框架13能夠旋轉的方式支承于人工宏觀檢查裝置的架臺，該兩個傾斜軸15使兩個臂部14連接于各框架13的與下述的固定軸18相反側的一端，該兩個傾斜軸15作為用于使臂部14上下運動的滑動軸驅動部。 驅動部也可以是使驅動電動機連接于兩個框架13的旋轉軸而成的機構。另外，雖然分別配置有兩個滑動部12、兩個框架13、兩個臂部14及兩個傾斜軸15， 但在圖I的主視圖中位于重疊的位置，因此，在圖中僅圖示了跟前側。人工宏觀檢查裝置10配置在微觀檢查裝置20的上方，能夠與利用該微觀檢查裝置20進行的微觀檢查相互獨立地進行目視檢查。人工宏觀檢查裝置10所采用的基板保持件11呈用于對形成為矩形狀的玻璃基板 G的周緣進行保持的中空的矩形框結構，能夠以保持件轉動軸Ila為中心進行轉動。另外， 如圖2所示，基板保持件11利用多個周緣保持部Ilb對玻璃基板G的周緣進行保持。為了將較薄的玻璃基板G不至于發生撓曲那樣水平地保持，該基板保持件11優選是將截面形狀被形成為長方形的支承構件以比基板保持件11的上表面低的方式呈格子狀配置在矩形框的內部，并在支承構件上設置用于吸附保持玻璃基板G的吸盤而形成的。通過利用該吸盤吸附玻璃基板G的背面，能夠在基板保持件11擺動時抑制玻璃基板G的晃動。用于在例如基板保持件11的彼此相對的兩個邊的中央對基板保持件11進行樞軸支承的左右一對的滑動部12成I組地配置，滑動部12與平行配置的一對框架13相卡合， 并能夠在圖示實線所示的位置與圖示單點劃線所示的位置之間(附圖標記12-2、12-3)相對于一對框架13滑動。由于該滑動部12沿著框架13滑動，被滑動部12樞軸支承的基板保持件11也沿著框架13在圖示實線所示的位置與圖示雙點劃線所示的位置之間滑動(附圖標記 11_2、11-3)。各框架13利用凸緣13a以各框架13能夠旋轉的方式被固定軸18支承，該固定軸 18被固定于未圖示的目視檢查用架臺，該凸緣13a作為形成在各框架13的與連接有臂部 14側相反一側的一端側的軸承部。與各框架13連接的臂部14沿著在鉛垂方向上延伸的傾斜軸15進行上下運動(附圖標記14-1、14-2)，從而各框架13在輸出、輸入玻璃基板G時的水平狀態(附圖標記13-1)與適于檢查者3的目視觀察的傾斜狀態(附圖標記13-2)之間轉動。另外，由于這些框架13的轉動，基板保持件11及滑動部12也一起轉動(附圖標記 11-1、11-2、12-1、12-2)。另外，人工宏觀檢查裝置用的架臺具有門型形狀的腿部，以橫跨作為自動檢查裝置的微觀檢查裝置20的方式配置。人工宏觀檢查裝置10的架臺與微觀檢查裝置20的架臺相互獨立地單獨配置。該人工宏觀檢查裝置10由于是供檢查者3通過目視觀看玻璃基板而進行觀察的裝置，因此，受來自外部及內部的振動的影響較小，能夠不在無塵室的地面設置除振臺就直接設置該人工宏觀檢查裝置10。作為自動檢查裝置的微觀檢查裝置因來自外部的振動的影響而拍攝到的圖像晃動而不能進行準確的檢查，因此，優選在架臺上設置用于使來自外部的振動衰減的除振臺。優選這樣相互獨立地構成人工宏觀檢查裝置用架臺和微觀檢查用架臺24。
微觀檢查裝置20具有工作臺21，其安裝于微觀檢查裝置用架臺24，用于水平地載置玻璃基板G ;固定式的機架22，其呈門型形狀，以橫跨該工作臺21的方式配置；顯微鏡 23，其設于該機架22，在線性電動機等驅動部件的驅動下在與玻璃基板G的輸送方向正交的I軸線方向(與圖I的紙面垂直的方向)上移動；未圖示的基板輸送部，其用于保持玻璃基板G并沿著輸送方向輸送玻璃基板G。作為工作臺21，例如能夠使用如下述的基板輸送工作臺等懸浮工作臺，其在利用空氣使玻璃基板G懸浮的狀態下利用基板輸送部對玻璃基板G的端部進行保持并進行輸送或者利用基板輸送部在通過玻璃基板G的重心的中心線上保持玻璃基板G并進行輸送; 旋轉工作臺，其在利用自由輥等旋轉體支承玻璃基板G的狀態下利用基板輸送部保持玻璃基板G并進行輸送；輥輸送帶，其利用被旋轉驅動的驅動輥在與玻璃基板G的背面接觸來支承玻璃基板G的狀態下進行輸送。另外，在采用使機架22沿著工作臺21移動的移動型機架時，能夠采用使工作臺21 固定于架臺24上的固定型工作臺。人工宏觀檢查裝置10的基板保持件11及框架13等以不與微觀檢查裝置20的機架22、工作臺21或基板輸送機器人4的手臂4a相干涉的方式配置在微觀檢查裝置20的空間區域中。在用于將人工宏觀檢查裝置10的整體和微觀檢查裝置(自動檢查裝置)整體覆蓋起來的外殼2上，形成有用于對于人工宏觀檢查裝置10輸出、輸入玻璃基板G的基板輸出輸入用窗部2a、用于對于微觀檢查裝置20輸出、輸入玻璃基板G的基板輸出輸入用窗部 2b。人工宏觀檢查裝置10側的基板輸出輸入用窗部2a與微觀檢查裝置20側的基板輸出輸入用窗部2b為相同形狀、相同面積且窗部2a設在窗部2b的正上方。基板輸出輸入用窗部2a、2b以與用于將玻璃基板G輸送到I層的微觀檢查裝置(自動檢查裝置)和2層的人工宏觀檢查裝置中的圖2所示的基板輸送機器人4的手臂4a的上下移動方向相一致的方式配置。通過如上所述地將兩裝置的與基板輸出輸入用窗部2a、2b相對應的基板輸入空間配置為(與基板輸送機器人4的移動方向)相同的上下關系，能夠利用I個基板輸送機器人4將玻璃基板G供給到配置于I層的微觀檢查裝置20的基板輸入空間、配置于2層的人工宏觀檢查裝置10的基板輸入空間中。另外，只要在將基板輸送機器人4固定于地面的狀態下使手臂4a上下移動，就能使手臂4a易于相對于基板輸出輸入用窗部2a、2b進行對位。在人工宏觀檢查裝置10的架臺上形成有作為供檢查者3進行目視檢查的檢查作業空間2c的檢查作業臺。以下，說明使用上述的基板檢查系統I進行的玻璃基板G的檢查。在基板檢查系統I中，人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置20是相互獨立的裝置，因此，能夠同時進行人工宏觀檢查及微觀檢查。首先，說明人工宏觀檢查。利用圖2所示的基板輸送機器人4將用多條手臂4a支承著的玻璃基板G從外殼2 的基板輸出輸入用窗部2a輸入到人工宏觀檢查裝置10中。此時，傾斜軸15使臂部14移動到下方，框架13被保持成水平狀態(13-1)。另外，基板保持件11也被保持成與框架13 平行的水平狀態(11-1)。
將玻璃基板G定位并保持在基板保持件11上的基準位置時，傾斜軸15使臂部14 向上方移動。由此，與臂部14連接的框架13以固定軸18為中心轉動，傾斜到供檢查者3 進行目視檢查的位置(13-2)。然后，一邊使基板保持件11以保持件轉動軸Ila為中心轉動并利用滑動部12使基板保持件11相對于檢查者的視野位置(眼的高度位置)在上下方向上移動，一邊通過檢查者3目視宏觀照明光源16照射的光的反射光或者背光照明光源17照射的光的透射光而對玻璃基板G進行人工宏觀檢查。另外，對玻璃基板G的背面進行人工宏觀檢查時，在使框架13稍稍放倒到在基板保持件11進行翻轉時不與宏觀照明光源16相干涉的位置的狀態下，使基板保持件11以保持件轉動軸Ila為中心翻轉。另外，使用背光照明光源17照射的光的透射光，通過目視進行宏觀檢查時，也可以將基板保持件11立起到基板保持件11不與宏觀照明光源16相干涉那樣的程度，并且也可以以使基板保持件11接近檢查者3的方式將框架13立起。而且，也可以設為在將基板保持件11立起的狀態下、背光照明光源17能夠以接近基板保持件11的背面的方式移動。 宏觀檢查結束之后，通過利用傾斜軸15使臂部14降低而使框架13轉動到水平狀態，并且使基板保持件11返回到水平狀態，利用基板輸送機器人4從基板輸出輸入用窗部2a輸出玻璃基板G。對于微觀檢查，首先，利用圖2所不的基板輸送機器人4從外殼2的輸出輸入用窗部2b將玻璃基板G輸入到微觀檢查裝置20中。將玻璃基板G載置在工作臺21上時，將該玻璃基板G定位于基準位置。進行定位之后，利用未圖示的基板輸送部使玻璃基板G移動到規定位置，顯微鏡23沿著與該基板輸送部的輸送方向(圖I的左右方向)正交的方向(與圖I的紙面垂直的方向)移動，從而利用顯微鏡23對玻璃基板G進行微觀檢查。微觀檢查結束之后，利用未圖示的基板輸送部使玻璃基板G返回到輸出位置，利用基板輸送機器人4從窗部2b輸出玻璃基板G。在以上說明的本實施方式中，檢查者3不因進行檢查而介于微觀檢查裝置(自動檢查裝置)20的裝置內，因此，能夠將微觀檢查裝置(自動檢查裝置)20的高度較低地抑制成與機架22同等的高度。利用該微觀檢查裝置(自動檢查裝置)20的上空的空間來配置人工宏觀檢查裝置10而采用2層結構，由此，與并列設有兩裝置的基板檢查系統相比，能夠減小設置空間。另外，人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置(自動檢查裝置)20是相互獨立的裝置，因此，能夠同時進行利用宏觀檢查裝置10進行的檢查與利用微觀檢查裝置(自動檢查裝置)20進行的檢查，不會降低兩檢查的運轉效率，即使將人工宏觀檢查裝置10配置在微觀檢查裝置20的上方而謀求節省空間，生產效率也不降低。而且，能夠不使用人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置(自動檢查裝置)20共用的基板保持部而是使用適于各檢查裝置10、20的基板保持部(基板保持件11、工作臺21)， 因此，檢查性能不降低。因此，采用本實施方式，能夠不降低生產效率及檢查性能就謀求基板檢查系統I 的節省空間。另外，在本實施方式中，能夠將比人工宏觀檢查裝置10易于受到振動的影響的微觀檢查裝置20配置在人工宏觀檢查裝置10的下方，并且能夠使人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置(自動檢查裝置)20分離而設置于地面，因此，來自人工宏觀檢查裝置10的振動不會傳遞到微觀檢查裝置20而能夠進行精度較高的微觀檢查。另外，通過使人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置20為相互獨立的結構，能夠易于在現場進行組裝，并且能夠使人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置20分開而易于輸送。另外，作為自動檢查裝置，不限于本實施方式的微觀檢查裝置20，例如，也可以設為如線寬測量裝置、分光測光裝置、激光修補(laser repair)裝置等那樣包括放大檢查裝置的檢查裝置，該放大檢查裝置具有放大檢查部(例如顯微鏡)和用于拍攝被放大檢查部放大了的影像的攝像部。另外，作為自動檢查裝置，也包括利用線傳感器照相機拍攝玻璃基板整體的自動宏觀檢查裝置。即，自動檢查裝置只要是與人工檢查裝置那樣的讓檢查者貼著裝置并直視玻璃基板來進行檢查的裝置不同，讓檢查者在離開裝置的位置能夠作業的裝置即可。該自動檢查裝置在進行檢查、觀察時不需要使檢查者貼著裝置。因此，在自動檢查裝置中，檢查者不會進入到運轉中的裝置內來進行檢查，因此，不需要供檢查者移動的檢查作業空間，能夠相應地將自動檢查裝置的最大高度抑制得較低。例如，自動檢查裝置的最大高度以用于支承檢查頭的門型的機架的上表面為最大高度。在自動檢查裝置中，用于拍攝基板的檢查頭成為決定裝置的高度的主要原因，因此， 安裝有該檢查頭的機架的上表面成為自動檢查裝置的最大高度位置。通過使人工宏觀檢查裝置以人工宏觀檢查裝置不與該自動檢查裝置的機架相干涉的方式接近該自動檢查裝置的機架而配置人工宏觀檢查裝置，能夠降低人工宏觀檢查裝置的設置高度。另外，對于本實施方式的微觀檢查裝置20，說明了機架22為固定式且在工作臺21 上輸送玻璃基板G的例，但通過使機架22為移動式并在使玻璃基板G靜止的狀態下進行檢查或者觀察，能夠減小用于水平地載置玻璃基板G的工作臺，能夠進一步謀求節省空間。另外，在采用了移動型機架的情況下，通過將人工宏觀檢查裝置的檢查作業臺配置在機架的移動空間之上，能夠與使檢查作業臺降低了的高度相對應地將人工宏觀檢查裝置的設置高度抑制得較低。能夠與這樣使檢查作業臺降低了的高度相對應地將人工宏觀檢查裝置的高度抑制得較低。在此情況下，將微觀檢查裝置(自動檢查裝置)的基板輸入空間設在靠人工宏觀檢查裝置的檢查作業臺側，使該微觀檢查裝置(自動檢查裝置)向與人工宏觀檢查裝置的檢查作業臺遠離的方向與之錯開配置，由此，能夠將人工宏觀檢查裝置的檢查作業臺配置在將微觀檢查裝置錯開后的I層部分的空間區域中。通過設置該空間區域，不會與微觀檢查裝置相干涉就能夠將人工宏觀檢查裝置的檢查作業臺配置在較低的位置。<其他的實施方式>圖3是透視地表示本發明的其他的實施方式的基板檢查系統31的內部結構的主視圖。在上述的一實施方式的基板檢查系統I中，為了在微觀檢查裝置20的上方的空間中對作為大型基板的玻璃基板G進行人工宏觀檢查，有時裝置的總高度也超過例如6m，由于工廠的不同，有時考慮到頂棚高度這一點而不能配置基板檢查系統I。因此，本實施方式的基板檢查系統31采用了能夠比上述基板檢查系統I進一步抑制高度的結構。
如圖3所示，基板檢查系統31包括作為人工檢查裝置的人工宏觀檢查裝置40、作為自動檢查裝置的微觀檢查裝置50、外殼32。人工宏觀檢查裝置40具有基板保持件41，其用于保持作為大型基板的玻璃基板 G ;擺動機構，其用于將該基板保持件41傾斜成適于檢查者33的目視觀察的角度；宏觀照明光源46，其用于從保持于被該擺動機構傾斜了的基板保持件41的被檢查對象基板(玻璃基板)G的上方進行照射。而且，人工宏觀檢查裝置40具有用于利用透射光進行的檢查的背光照明光源47。擺動機構具有兩個滑動部42，其用于樞軸支承基板保持件41的保持件轉動軸 41a ;兩個框架43，其用于以該滑動部42能夠滑動的方式支承該滑動部42 ;驅動部，其用于使這些框架43轉動規定角度。該驅動部具有兩個臂部44，其一端與各框架43連接；兩個傾斜軸45，其傾斜地配置在微觀檢查裝置50的上方，用于推拉臂部44的剩下的另一端。采用本實施方式時，框架43只要處于傾斜成規定角度的狀態即可，例如，也可以在使框架43 傾斜成圖3的實線所示的規定的角度的狀態下固定框架43。在此情況下，在使框架43傾斜成規定角度的狀態下，如果框架43的一端側(基端側)延伸到比微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50的最大高度位置S低的位置，則能夠將基板保持件41推出到微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50的外側。優選通過使框架43延伸到微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50的工作臺51的外側而能夠將基板保持件41推出到工作臺51的外側。在將框架43固定成規定角度的情況下，可以在利用輸送機器人4進行基板輸入的位置使基板保持件41轉動成水平狀態并在目視觀察位置使基板保持件41轉動成適于基板目視觀察的角度。另外，在本實施方式中，也分別配置有兩個滑動部42、兩個框架43、兩個臂部44及兩個傾斜軸45，但在圖3的主視圖中位于重疊的位置，因此，在圖中僅表示了跟前側。在人工宏觀檢查裝置40中，框架43的一部分、臂部44、傾斜軸45、背光照明光源 47等(臨時說成基板保持件41及滑動部42)配置在微觀檢查裝置50的上方。在此情況下， 在微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50中，在接近被配置在上方的人工宏觀檢查裝置40的檢查作業空間32c的一側設有玻璃基板G的基板輸入空間(32b)，在該基板輸入空間(32b)的內側配置有以橫跨工作臺51的方式呈門型形狀的固定式的機架52。在該微觀檢查裝置50 的基板輸入空間(32b)中設定有供圖2所示的輸送機器人4將玻璃基板G相對于工作臺51 上輸入、輸出用的手臂4a的上下移動動作空間。通過以微觀檢查裝置50的基板輸入空間(32b)與人工宏觀檢查裝置40的輸入空間(32a)對齊的方式將人工宏觀檢查裝置40配置在微觀檢查裝置50的上方，能夠將人工宏觀檢查裝置40降低到不與微觀檢查裝置50相干涉的較低的位置而設置。基板保持件41呈用于對被形成為矩形狀的玻璃基板G的周緣進行保持的中空的矩形框構造，能夠以保持件轉動軸41a為中心進行轉動。用于在例如基板保持件41的彼此相對的兩個邊的中央對基板保持件41進行樞軸支承的左右一對的滑動部42成I組地配置，滑動部42以相對于平行配置的一對框架43能夠移動的方式與一對框架43 (附圖標記42-2、42_3)相卡合。由于該滑動部42的移動,被滑動部42樞軸支承的基板保持件41也移動(附圖標記41-2、41-3)。另外，基板保持件41在位于微觀檢查裝置50的上方的位置(附圖標記41-2)與一部分(也可以是全部)處于比微觀檢查裝置50的上端(面S)靠下方的位置(附圖標記 41-3)之間沿著框架43移動。各框架43利用被形成在一端(下側)的凸緣43a與被固定于未圖示的架臺的固定軸48相連接。該固定軸48被設在比微觀檢查裝置50的工作臺51靠前方的位置，并且被設在比微觀檢查裝置50的最高高度位置(面S)靠下方的位置。框架43以固定軸48為旋轉中心而以不與微觀檢查裝置50的工作臺51相干涉的方式在圖示箭頭的范圍內轉動。這樣將固定軸48配置在與微觀檢查裝置50的工作臺51分開的前方，從而將框架 43的一端側(基端側)推出到比微觀檢查裝置50的工作臺51靠外側的位置。通過使滑動部42移動到該框架43的被推出的部分，能夠將可移動地設于滑動部42的基板保持件41 推出到比微觀檢查裝置50的最高高度位置低的工作臺51的前方。在本實施方式中，通過將基板保持件41推出到作為自動檢查裝置的微觀檢查裝置50的前方，能夠將作為檢查作業空間32c的檢查作業臺設在與微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50分開的前方。檢查作業空間32c沿著人工宏觀檢查裝置40的目視觀察用窗配置。人工宏觀檢查裝置40的目視觀察用窗以與基板保持件41沿著框架43移動到最靠下方位置時的停止位置相對齊的方式設置。檢查作業空間32c的檢查作業臺(作業用床部分)配置得比目視觀察用窗靠下側，成為檢查者33為了進行目視觀察而進行移動的通路。該檢查作業臺設在比目視觀察用窗的下側開口邊低的位置、例如以檢查者的腰的位置為下側開口邊的位置的方式從目視觀察用窗的下側開口邊降低了 750mm IOOOmm的位置。通過降低該檢查作業臺， 能夠降低用于從基板上方照射宏觀照明光的宏觀照明光源46的安裝位置，因此，能夠降低人工宏觀檢查裝置40的高度。作為檢查者33的觀察高度位置的目視觀察用窗與宏觀照明光源46的配置位置關系為具有恒定距離，因此，能夠與使目視觀察用窗降低了的高度相對應地使宏觀照明光源 46的安裝位置降低，從而能夠將裝置整體的高度抑制得較低。另外，在檢查作業空間32c的至少一端設有供檢查者33攀登的臺階。在各框架43的另一端側連接有臂部44。該臂部44被傾斜地配置的傾斜軸45推拉，從而各框架43在相對于水平面傾斜的范圍內，在本實施方式中在輸出、輸入玻璃基板 G時的傾斜狀態(附圖標記43-1)與適于檢查者33進行目視觀察的傾斜狀態(附圖標記 43-2)之間轉動。由于該框架43的轉動，基板保持件41及滑動部42也一起轉動(附圖標記 41_1、41_2、42_1、42_2)。另外，固定軸48位于比作為微觀檢查裝置50的最大高度位置的機架52的上端 (面S)靠下方的位置，因此，框架43的一部分位于比微觀檢查裝置50的最大高度靠下方的位置。微觀檢查裝置50與上述的一實施方式的微觀檢查裝置20同樣具有工作臺51、 固定式的機架52、作為檢查部的顯微鏡53、架臺54、未圖示的基板輸送部。另外，在本實施方式中，作為微觀檢查裝置50的最大高度的上端(面S)是機架52的上端。在外殼32中，與上述的一實施方式的外殼2同樣形成有兩個基板輸出輸入用窗部 32a,32b和檢查作業空間32c。以下，說明了使用上述的基板檢查系統31進行的基板檢查。首先，說明人工宏觀檢查。
與上述第I實施方式同樣利用基板輸送機器人4將玻璃基板G從外殼32的基板輸出輸入用窗部32a輸入到人工宏觀檢查裝置40中。此時，如上所述，框架43因為在從水平狀態傾斜的范圍內轉動而不轉動成水平狀態(43-1)，但基板保持件41以保持件轉動軸 41a為中心而與框架43相對獨立地轉動成水平狀態(41-1)。將玻璃基板G保持在水平狀態的基板保持件41上時，首先，以保持件轉動軸41a 為中心，使基板保持件41轉動成與框架43平行的狀態。然后，傾斜軸45推壓臂部44，從而與臂部44連接的框架43以固定軸48為中心轉動，傾斜到供檢查者33進行目視檢查的位置(43-2)。通過這樣按照基板保持件41、框架43的順序使基板保持件41、框架43轉動，或者，通過使基板保持件41及框架43同時轉動，能夠減小基板保持件41的移動空間。然后，一邊使基板保持件43擺動并利用滑動部42使基板保持件41移動，一邊由檢查者33目視宏觀照明光源46照射的光的反射光或者背光照明光源47照射的光的透射光而對玻璃基板G進行人工宏觀檢查。另外，對玻璃基板G的背面進行人工宏觀檢查時，在使框架43略微倒伏到基板保持件41不與宏觀照明光源46相干涉的狀態下，使基板保持件 41以保持件轉動軸41a為中心翻轉。人工宏觀檢查結束之后，利用傾斜軸45拉回臂部44，使框架43放倒之后(43_1)， 使基板保持件41轉動成水平狀態(41-1)，利用未圖示的基板輸送機器人從基板輸出輸入用窗部32a輸出玻璃基板G。此時，通過按照框架43、基板保持件41的順序使框架43、基板保持件41轉動，或者,通過使框架43及基板保持件41同時轉動，能夠減小基板保持件41 的移動空間。對于微觀檢查,與上述的一實施方式相同，因此省略說明。在以上說明的本實施方式中，也與上述的一實施方式同樣檢查者33不因進行檢查而介于微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50的裝置內，因此，能夠將微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50的高度較低地抑制成與機架52同等的高度。通過利用該微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50的上空的空間來配置人工宏觀檢查裝置40，與并列設有兩裝置的基板檢查系統相比，能夠減小設置空間。另外，人工宏觀檢查裝置40與微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50是相互獨立的裝置，因此，能夠同時進行利用人工宏觀檢查裝置40進行的宏觀檢查和利用微觀檢查裝置 (自動檢查裝置)50進行的微觀檢查，不會降低兩檢查的運轉效率，即使將人工宏觀檢查裝置40配置在微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50的上方而謀求節省空間，生產效率也不降低。而且，能夠不使用人工宏觀檢查裝置40與微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50共用的基板保持部(基板保持件41)而是使用適于各檢查裝置40、50的基板保持部，因此，檢查性能不降低。因此，采用本實施方式，也能夠不降低生產效率及檢查性能就謀求基板檢查系統 31的節省空間。另外，在本實施方式中，能夠將比人工宏觀檢查裝置40易于受到振動的影響的微觀檢查裝置50配置在人工宏觀檢查裝置40的下方，并且能夠使人工宏觀檢查裝置40與微觀檢查裝置50分離而設置于地面，因此，來自人工宏觀檢查裝置40的振動不會傳遞到微觀檢查裝置50而能夠進行精度較高的微觀檢查。另外，通過使人工宏觀檢查裝置40與微觀檢查裝置50分離，易于在現場進行組裝，并且也易于輸送。另外，將玻璃基板G的輸入空間設在檢查作業空間32c側，將機架52固定設置在從作為該基板輸入空間的圖2所示的基板輸送機器人4的手臂4a的上下移動動作空間遠離的位置。通過使該機架52從檢查作業空間(檢查作業臺)32c側遠離，能夠在作為工作臺51的靠檢查作業空間32c側的上方的基板輸入空間32b、即手臂4a的上下移動動作空間之上形成大的空間。通過這樣將人工宏觀檢查裝置40的檢查作業空間(檢查作業臺)配置在不與微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50相干涉的空間區域中，能夠將檢查作業臺降低到較低的位置而設置，能夠與降低了該檢查作業臺的高度相對應地將裝置整體的高度抑制得較低。另外，通過將人工宏觀檢查裝置40配置在處于微觀檢查裝置50的基板輸入空間的上方的空間中，能夠使微觀檢查裝置50的一部分與人工宏觀檢查裝置40的一部分重疊而進行配置，因此，與將微觀檢查裝置50與人工宏觀檢查裝置40并列配置的情況相比，能夠與重合部分相對應地謀求基板檢查系統31的節省空間。另外，在本實施方式中，作為框架43的轉動中心的固定軸48位于比作為微觀檢查裝置50的最大高度位置的上端(面S)靠下方的位置，因此，能夠將人工宏觀檢查裝置40 的框架43推出到微觀檢查裝置50的工作臺51的前方、并推出到微觀檢查裝置50的工作臺51的下方。由此，能夠與框架43被推出到下方的部分相應地使人工宏觀檢查裝置40的目視觀察用窗降低到下方，因此，能夠進一步將裝置整體的高度抑制得較低。另外，將滑動部42以能夠移動的方式設于框架43，而且將基板保持件41以能夠移動的方式設于該滑動部42，由此，能夠使基板保持件41移動到比框架43的基端部更靠下方的位置。通過采用這樣使基板保持件41分兩個階段滑動的結構，能夠使基板保持件41移動到比微觀檢查裝置(自動檢查裝置)50的最高高度位置更低的位置。由此，能夠降低目視觀察用窗，能夠將與該目視觀察用窗具有恒定的距離關系的宏觀照明位置抑制得較低， 因此，能夠易于抑制裝置整體的高度。另外，傾斜軸45位于微觀檢查裝置50的上方，從而能夠謀求基板檢查系統31的節省空間。另外，在本實施方式中，框架43在相對于水平面傾斜的范圍內轉動(43-1、43_2)， 基板保持件41在進行玻璃基板G的輸出、輸入時與框架43相對獨立地轉動成水平狀態。由此，能夠抑制框架43的移動空間，從而能夠進一步謀求基板檢查系統31的節省空間。另外，如本實施方式這樣，在輸入玻璃基板G時，按照基板保持件41、框架43的順序(或者同時)使基板保持件41、框架43轉動，在輸出玻璃基板G時，按照框架43、基板保持件41的順序(或者同時)使框架43、基板保持件41轉動，由此,能夠減小基板保持件41 的移動空間，因而，能夠進一步謀求基板檢查系統31的節省空間。另外，在本實施方式中，如上所述，將作為框架驅動部的傾斜軸45配置在微觀檢查裝置的上方，因此，能夠謀求基板檢查系統31的進一步節省空間，但也可以采用將框架驅動部與固定軸48直接連接的結構。在此情況下，驅動系統的容量變大，但框架驅動部不是被配置在玻璃基板G的上方而是被配置在側方，從而能夠進行具有優異的清潔性的檢查，能夠進一步提高檢查性能。另外，在上述的各實施方式中，以將自動檢查裝置的機架固定在與基板輸入空間分開的位置的例進行了說明，但也能夠采用可移動地設在基板輸入空間中的移動式機架。 在采用該移動式機架的情況下，也能夠使框架13、43的基端(下端)延伸到比基板輸送機器人的上下運動移動動作空間靠上方的位置。附圖標記說明I、基板檢查系統；2、外殼；2a、2b、基板輸出輸入用窗部；2c、檢查作業空間；3、檢查者；4、基板輸送機器人；4a、手臂；10、人工宏觀檢查裝置；11、基板保持件；lla、保持件轉動軸；llb、周緣保持部；12、滑動部；13、框架；13a、凸緣；14、臂部；15、傾斜軸；16、宏觀照明光源；17、背光照明光源；18、固定軸；20、微觀檢查裝置(自動檢查裝置)；21、工作臺； 22、機架；23、顯微鏡；24、架臺；31、基板檢查系統；32、外殼；32a、32b、基板輸出輸入用窗部；32c、檢查作業空間；33、檢查者；40、人工宏觀檢查裝置；41、基板保持件；41a、保持件轉動軸；42、滑動部；43、框架；43a、凸緣；44、臂部；45、傾斜軸；46、宏觀照明光源；47、背光照明光源；48、固定軸；50、微觀檢查裝置(自動檢查裝置)；51、工作臺；52、機架；53、顯微鏡； 54、架臺。
權利要求
1.一種基板檢查系統，其用于用多種檢查方法對被檢查對象基板進行檢查，其特征在于，該基板檢查系統包括自動檢查裝置，其用于利用攝像部拍攝上述被檢查對象基板而進行檢查；架臺，其具有橫跨上述自動檢查裝置的門型形狀的腿部；人工宏觀檢查裝置，其配置在上述架臺上，用于直視上述被檢查對象基板而進行目視檢查；基板輸送機器人，其用于對于上述自動檢查裝置和上述人工宏觀檢查裝置輸入、輸出上述被檢查對象基板，上述人工宏觀檢查裝置借助上述架臺獨立于上述自動檢查裝置地配置在上述自動檢查裝置的上方。
2.根據權利要求I所述的基板檢查系統，其特征在于，上述人工宏觀檢查裝置具有基板保持部，其用于保持上述被檢查對象基板；一對框架，其具有規定的角度地配置，用于以上述基板保持部能夠滑動的方式支承上述基板保持部。
3.根據權利要求2所述的基板檢查系統，其特征在于，上述框架的基端側延伸到比上述自動檢查裝置的最大高度位置低的位置。
4.根據權利要求3所述的基板檢查系統，其特征在于，上述自動檢查裝置具有機架，該機架的上端作為上述最大高度位置，該機架用于支承攝像部，該機架固定設置在比上述基板輸送機器人的上下移動動作空間靠外側的位置，上述框架的基端側延伸到不與上述機架及上述上下移動動作空間相干涉的位置。
5.根據權利要求3所述的基板檢查系統，其特征在于，上述自動檢查裝置具有機架，該機架的上端作為上述最大高度位置，該機架用于支承攝像部，該機架以能沿著上述被檢查對象基板的輸入空間移動的方式設置，上述框架的基端部延伸到不與上述機架的移動區域相干涉的位置。
6.根據權利要求2所述的基板檢查系統，其特征在于，上述框架的基端側推出到比上述自動檢查裝置的工作臺靠外側的位置。
7.根據權利要求I所述的基板檢查系統，其特征在于，上述基板保持部的至少一部分移動到位于比上述自動檢查裝置的上端靠下方的位置。
8.根據權利要求I所述的基板檢查系統，其特征在于，上述人工宏觀檢查裝置具有用于供檢查者進行目視觀察的檢查作業臺，該檢查作業臺配置在不與上述自動檢查裝置相干涉的空間區域中。
9.根據權利要求8所述的基板檢查系統，其特征在于，上述檢查作業臺配置在上述自動檢查裝置與上述人工宏觀檢查裝置錯開地配置的空間區域中。
10.根據權利要求8所述的基板檢查系統，其特征在于，上述自動檢查裝置具有用于安裝檢查頭的移動型機架，上述檢查作業臺配置在比上述移動型機架的移動空間靠上方的空間區域中。
11.根據權利要求I所述的基板檢查系統，其特征在于，上述自動檢查裝置借助除振臺設置在地面上，上述人工宏觀檢查裝置借助上述架臺設置在地面上。
12.根據權利要求I所述的基板檢查系統，其特征在于，上述基板輸送機器人具有能夠向被配置在I層的上述自動檢查裝置和被配置在2層的上述人工宏觀檢查裝置移動的手臂，沿著上述手臂的上下移動方向，使上述人工宏觀檢查裝置的基板輸入空間配置在上述自動檢查裝置的基板輸入空間之上。
全文摘要
本發明提供一種基板檢查系統。在大型基板用的基板檢查系統中，不降低生產效率及檢查性能就能謀求節省空間。在用多種檢查方法對被檢查對象基板(G)進行檢查的基板檢查系統(31)中，包括自動檢查裝置(50)，其用于利用攝像部拍攝被檢查對象基板(G)而進行檢查；架臺，其具有橫跨該自動檢查裝置(50)的門型形狀的腿部；人工宏觀檢查裝置(40)，其配置在該架臺上，用于直視被檢查對象基板(G)而進行目視檢查；基板輸送機器人，其用于對于自動檢查裝置(50)和人工宏觀檢查裝置(40)輸入、輸出被檢查對象基板(G)，人工宏觀檢查裝置(40)借助上述架臺獨立于自動檢查裝置(50)地配置在自動檢查裝置(50)的上方。
文檔編號G01N21/88GK102608121SQ201210003880
公開日2012年7月25日 申請日期2012年1月4日 優先權日2011年1月6日
發明者岡平裕幸 申請人:奧林巴斯株式會社