一種半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體元器件多工位測(cè)試裝置，其中，包括至少三個(gè)獨(dú)立的測(cè)試工位和至少一導(dǎo)軌；每個(gè)工位，對(duì)應(yīng)于被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的各個(gè)引腳，設(shè)有多個(gè)導(dǎo)電測(cè)試爪；所述測(cè)試爪通過(guò)導(dǎo)線與一主機(jī)控制器連接，并接受一測(cè)試爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)，與所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件引腳電接觸。由于設(shè)置了至少三個(gè)工位以及工位切換導(dǎo)軌，本實(shí)用新型的半導(dǎo)體元器件多工位測(cè)試裝置，可以一次性完成所測(cè)試的半導(dǎo)體元器件所有參數(shù)的測(cè)量，從而提高了工作效率，并降低了測(cè)試的成本，從而保證了產(chǎn)品的品質(zhì)。
【專利說(shuō)明】
一種半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，尤其涉及的是一種半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體元器件市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈，產(chǎn)品穩(wěn)定性要求也越來(lái)越高，每個(gè)半導(dǎo)體元器件在出廠前，都需要經(jīng)過(guò)一系列的測(cè)試工作，合格后才可以出廠。而在三極管的參數(shù)測(cè)試工序中，不僅需要測(cè)試三極管的一項(xiàng)常規(guī)參數(shù)，還必須測(cè)試三極管的兩項(xiàng)特殊參數(shù)，Rg(柵極電阻)和EAS(單脈沖雪崩能量)，共三項(xiàng)參數(shù)。而現(xiàn)行測(cè)試分選設(shè)備只能提供兩工位測(cè)試，也就是只能一次測(cè)試兩項(xiàng)參數(shù)。因此為了滿足測(cè)試三項(xiàng)參數(shù)的要求，現(xiàn)行做法是，對(duì)于一批產(chǎn)品，使用兩臺(tái)分選設(shè)備來(lái)完成測(cè)試工作，這不僅降低了工作效率，提升了測(cè)試的成本，同時(shí)可能帶來(lái)一定的質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)不局限于三極管，其它的半導(dǎo)體元器件尤其是三個(gè)及以上引腳的元器件，其參數(shù)測(cè)試中，一般是最多只能一次測(cè)量?jī)身?xiàng)參數(shù)，效率低，不滿足于實(shí)際生產(chǎn)需要。
[0004]因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置，通過(guò)在測(cè)試裝置中設(shè)置至少三個(gè)工位以及工位切換導(dǎo)軌，使得所述多工位測(cè)試裝置可以一次性完成所測(cè)試的半導(dǎo)體元器件所需要完成的三個(gè)參數(shù)的測(cè)量。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]—種半導(dǎo)體元器件多工位測(cè)試裝置，其中，包括至少三個(gè)獨(dú)立的測(cè)試工位和一導(dǎo)軌;每個(gè)工位，對(duì)應(yīng)于被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的各個(gè)引腳，設(shè)有多個(gè)導(dǎo)電測(cè)試爪;所述測(cè)試爪通過(guò)導(dǎo)線與一主機(jī)控制器連接，并接受一測(cè)試爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)而上下移動(dòng)，與所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件引腳電接觸；
[0008]所述的多工位測(cè)試裝置，其中，所述被檢測(cè)半導(dǎo)體元器件的塑料頭承托在所述導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌用于將所述被檢測(cè)元器件在各工位間移動(dòng)，接受各工位上所述測(cè)試爪所連接設(shè)備的檢測(cè)；
[0009]所述的多工位測(cè)試裝置，其中，所述導(dǎo)軌按照各工位位置方向，呈上下傾斜放置；
[0010]所述的多工位測(cè)試裝置，其中，所述導(dǎo)軌在每個(gè)工位對(duì)應(yīng)位置設(shè)有一可伸縮擋板，用于阻擋所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的下滑并保證所述半導(dǎo)體元器件停留于對(duì)應(yīng)的工位，且所述半導(dǎo)體元器件的引腳位于所述工位上的對(duì)應(yīng)測(cè)試爪的正下方；
[0011]所述的多工位測(cè)試裝置，其中，所述測(cè)試爪包括一橫桿以及連接的一豎桿，所述測(cè)試爪上覆蓋有絕緣層，所述橫桿自由端電連接一檢測(cè)裝置，所述豎桿自由端導(dǎo)電體暴露在夕卜，并對(duì)應(yīng)所述被檢測(cè)元器件的各引腳，用于在驅(qū)動(dòng)下接觸導(dǎo)電；
[0012]所述的多工位測(cè)試裝置，其中，所述測(cè)試爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一動(dòng)力裝置，驅(qū)動(dòng)一承載固定支架上下平移，所述承載固定支架帶動(dòng)所連接的各測(cè)試爪上下移動(dòng)；
[0013]所述的多工位測(cè)試裝置，其中，所述測(cè)試爪具有彈性;且所述測(cè)試爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一動(dòng)力裝置，驅(qū)動(dòng)一承載固定支架帶動(dòng)固定連接于其上的一絕緣體上下平移，所述絕緣體壓迫所述測(cè)試爪向下移動(dòng)，且所述測(cè)試爪在絕緣體上移時(shí)回彈原位置；
[0014]所述的多工位測(cè)試裝置，其中，還包括一設(shè)置于所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件引腳下方且貼近所述引腳的絕緣塊，用于在所述引腳與所述測(cè)試爪接觸時(shí)，支承所述引腳；
[0015]所述的多工位測(cè)試裝置，其中，所述動(dòng)力裝置包括一氣缸，其上安裝一限位調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)所述氣缸的幅度；
[0016]所述的多工位測(cè)試裝置，其中，所述動(dòng)力裝置包括一電機(jī)，所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)一圓盤(pán)旋轉(zhuǎn)，所述承載固定支架活動(dòng)連接于所述輪盤(pán)非中心位置，受所述輪盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)而上下平動(dòng);所述半導(dǎo)體元器件為三極管。
[0017]本實(shí)用新型提供的半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置，由于設(shè)置了至少三個(gè)工位以及工位切換導(dǎo)軌，可以一次性完成所測(cè)試的半導(dǎo)體元器件所有參數(shù)的測(cè)量，從而提高了工作效率，并降低了測(cè)試的成本，保證了產(chǎn)品的品質(zhì)。
【附圖說(shuō)明】

[0018]圖1為本實(shí)用新型半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置的三工位示意圖；
[0019]圖2為本實(shí)用新型半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖中:1、第一工位，2、第二工位，3、第三工位，4、測(cè)試爪，5、固定片，6、塑膠塊，7、動(dòng)力裝置，8、承載固定支架，9、絕緣體，10、安裝板，11、絕緣塊，12、引腳，13、塑料頭，14、導(dǎo)軌。
【具體實(shí)施方式】
[0021]本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置，為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及效果更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0022]本實(shí)用新型半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置的一個(gè)具體實(shí)施例，如圖1所示，采用三工位為例來(lái)說(shuō)明，當(dāng)然，在實(shí)際應(yīng)用中，也可以根據(jù)需要，采用多于三工位的設(shè)置。本實(shí)施例中的所述三個(gè)工位，第一工位1、第二工位2、第三工位3呈上下排列。每個(gè)所述工位上都設(shè)有多個(gè)測(cè)試爪4，所述測(cè)試爪4的數(shù)目根據(jù)被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的引腳12的數(shù)目對(duì)應(yīng)設(shè)置，使得在每個(gè)所述工位上，被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的每個(gè)所述引腳12都對(duì)應(yīng)一測(cè)試爪4，從而可以通過(guò)所述測(cè)試爪4電連接入所述工位上設(shè)置的檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行檢測(cè);例如，對(duì)于檢測(cè)一個(gè)三極管的情況，因?yàn)槿龢O管具有三個(gè)引腳，故設(shè)置有三個(gè)測(cè)試爪。
[0023]所述測(cè)試爪4采用導(dǎo)電材料制作，尤其是采用金屬材料制作，其呈彎折設(shè)計(jì)，形成一橫桿連接一豎桿，所述豎桿的自由端為接觸端，設(shè)有接觸點(diǎn)或接觸面，用于接觸并電連接所述引腳12;所述橫桿的自由端通過(guò)導(dǎo)線電連接所述工位上設(shè)置的測(cè)試設(shè)備的主機(jī)控制器。所述測(cè)試爪4外圍，除了其用于電連接的兩端點(diǎn)以外，均包裹有一層電絕緣材料。
[0024]所述橫桿的自由端一段，通過(guò)一固定片5安裝固定于一塑膠塊6上，所述塑膠塊6固定于一安裝板10上，使得所述橫桿連接豎桿的一段可以有限度的在驅(qū)動(dòng)下進(jìn)行上下移動(dòng)，從而迫使所述豎桿的裸露端部可以與所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的引腳電接觸和分離。而用于驅(qū)動(dòng)所述橫桿的測(cè)試爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一動(dòng)力裝置7，連接并驅(qū)動(dòng)一承載固定支架8;在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述動(dòng)力裝置7為一電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸上固定連接一一定直徑的圓盤(pán)，所述圓盤(pán)的非圓心位置活動(dòng)連接所述承載固定支架8，其與所述圓盤(pán)的連接點(diǎn)可以自由地在原地轉(zhuǎn)動(dòng)，使得當(dāng)所述圓盤(pán)在所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)下旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述承載固定支架8的另一端可以上下平動(dòng)，例如，所述圓盤(pán)非圓心位置可以開(kāi)有一圓孔，所述承載固定支架8的下端設(shè)有一圓柱體，可以伸入所述圓孔內(nèi)并自由轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0025]本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例中，所述動(dòng)力裝置7為一活塞可上下平動(dòng)的氣缸，所述活塞連接所述承載固定支架8，從而驅(qū)動(dòng)所述承載固定支架8上下平移。
[0026]所述承載固定支架8在各工位對(duì)應(yīng)位置活動(dòng)連接各工位上的所述測(cè)試爪4的橫桿，但保持與所述橫桿之間的電絕緣，例如，通過(guò)在所述承載固定支架8的對(duì)應(yīng)于各工位高度的相應(yīng)位置開(kāi)有供各所述橫桿插入并通過(guò)的一橫排小孔，使得所述各橫桿跟隨所述承載固定支架8在驅(qū)動(dòng)下上下移動(dòng)，從而使得所述橫桿端部連接的所述豎桿也上下移動(dòng)，各所述豎桿的自由端部暴露在外的導(dǎo)電體與被檢測(cè)元器件的各所述引腳12也跟隨產(chǎn)生電連接或斷開(kāi)，從而完成和結(jié)束各工位上的檢測(cè)過(guò)程。
[0027]本實(shí)用新型的一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述測(cè)試爪4，尤其其橫桿部分，由彈性導(dǎo)電材料制成，例如彈性金屬材料制成。所述承載固定支架8下端連接所述動(dòng)力裝置7，上端安裝有一絕緣體9，例如一絕緣陶瓷圈，所述絕緣體9長(zhǎng)度設(shè)為可接觸所述工位上各測(cè)試爪4的橫桿，當(dāng)所述絕緣體9跟隨所述承載固定支架8在所述動(dòng)力裝置7驅(qū)動(dòng)下向下平移時(shí)，可以壓迫帶動(dòng)各測(cè)試爪4的橫桿也向下運(yùn)動(dòng)，從而使得所述各豎桿的自由端部與被檢測(cè)元器件的各所述引腳12也跟隨產(chǎn)生電連接，從而進(jìn)行各工位上的檢測(cè)過(guò)程。而當(dāng)所述絕緣體9跟隨所述承載固定支架8在所述動(dòng)力裝置7驅(qū)動(dòng)下向上平移時(shí)，所述各測(cè)試爪4的橫桿則在自身彈性作用下向上回彈離開(kāi)，從而斷開(kāi)所述各豎桿的自由端部與被檢測(cè)元器件的各所述引腳12的電接觸。
[0028]在本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例中，為保證所述測(cè)試爪4的豎桿自由端部與所述引腳12的電接觸，可以在所述引腳12的下方緊鄰設(shè)置一絕緣塊11，例如采用一陶瓷塊制作，當(dāng)所述引腳12與所述測(cè)試爪4的豎桿自由端部接觸時(shí)，起到支承體的作用。
[0029]在本實(shí)用新型的多工位測(cè)試裝置測(cè)試工作時(shí)，所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的塑料頭13安放于一導(dǎo)軌14上，在本裝置安放的時(shí)候，所述導(dǎo)軌，按照各工位位置方向，呈上下傾斜放置，使得所述所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件可以在所述導(dǎo)軌14上從上向下滑動(dòng)，且在每個(gè)工位對(duì)應(yīng)位置設(shè)有一可伸縮擋板，用于阻擋所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的下滑并保證所述半導(dǎo)體元器件停留于對(duì)應(yīng)的工位，其引腳12位于所述工位上的對(duì)應(yīng)測(cè)試爪的正下方，從而在所述測(cè)試爪驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)測(cè)試爪下移并接觸所述引腳12后，所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件電連接相應(yīng)工位所連接的檢測(cè)設(shè)備，完成該工位所進(jìn)行的參數(shù)檢測(cè)。當(dāng)該工位檢測(cè)完畢，所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件則在阻擋其下滑的可伸縮擋板縮回后，下滑至下一工位，繼續(xù)接受相應(yīng)檢測(cè)。
[0030]本實(shí)用新型提供的半導(dǎo)體元器件的多工位測(cè)試裝置，由于設(shè)置了至少三個(gè)工位以及供所測(cè)試的半導(dǎo)體元器件進(jìn)行工位切換的導(dǎo)軌，可以一次性完成所測(cè)試的半導(dǎo)體元器件所有參數(shù)的測(cè)量，從而提高了工作效率，并降低了測(cè)試的成本，保證了產(chǎn)品的品質(zhì)。
[0031]本實(shí)用新型的應(yīng)用不限于上述的舉例，對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)上述說(shuō)明加以改進(jìn)或變換，例如增加工位數(shù)并相應(yīng)增加各對(duì)應(yīng)的設(shè)置，所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體元器件多工位測(cè)試裝置，其特征在于，包括至少三個(gè)獨(dú)立的測(cè)試工位和一導(dǎo)軌;每個(gè)工位，對(duì)應(yīng)于被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的各個(gè)引腳，設(shè)有多個(gè)導(dǎo)電測(cè)試爪;所述測(cè)試爪通過(guò)導(dǎo)線與一主機(jī)控制器連接，并接受一測(cè)試爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)而上下移動(dòng)，與所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件引腳電接觸。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位測(cè)試裝置，其特征在于，所述被檢測(cè)半導(dǎo)體元器件的塑料頭承托在所述導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌用于將所述被檢測(cè)元器件在各工位間移動(dòng)，接受各工位上所述測(cè)試爪所連接設(shè)備的檢測(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多工位測(cè)試裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌按照各工位位置方向，呈上下傾斜放置。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多工位測(cè)試裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌在每個(gè)工位對(duì)應(yīng)位置設(shè)有一可伸縮擋板，用于阻擋所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件的下滑并保證所述半導(dǎo)體元器件停留于對(duì)應(yīng)的工位，且所述半導(dǎo)體元器件的引腳位于所述工位上的對(duì)應(yīng)測(cè)試爪的正下方。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位測(cè)試裝置，其特征在于，所述測(cè)試爪包括一橫桿以及連接的一豎桿，所述測(cè)試爪上覆蓋有絕緣層，所述橫桿自由端電連接一檢測(cè)裝置，所述豎桿自由端導(dǎo)電體暴露在外，并對(duì)應(yīng)所述被檢測(cè)元器件的各引腳，用于在驅(qū)動(dòng)下接觸導(dǎo)電。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位測(cè)試裝置，其特征在于，所述測(cè)試爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一動(dòng)力裝置，驅(qū)動(dòng)一承載固定支架上下平移，所述承載固定支架帶動(dòng)所連接的各測(cè)試爪上下移動(dòng)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位測(cè)試裝置，其特征在于，所述測(cè)試爪具有彈性;且所述測(cè)試爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一動(dòng)力裝置，驅(qū)動(dòng)一承載固定支架帶動(dòng)固定連接于其上的一絕緣體上下平移，所述絕緣體壓迫所述測(cè)試爪向下移動(dòng)，且所述測(cè)試爪在絕緣體上移時(shí)回彈原位置。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位測(cè)試裝置，其特征在于，還包括一設(shè)置于所述被測(cè)試半導(dǎo)體元器件引腳下方且貼近所述引腳的絕緣塊，用于在所述引腳與所述測(cè)試爪接觸時(shí)，支承所述引腳。9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的多工位測(cè)試裝置，其特征在于，所述動(dòng)力裝置包括一氣缸，其上安裝一限位調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)所述氣缸的幅度。10.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的多工位測(cè)試裝置，其特征在于，所述動(dòng)力裝置包括一電機(jī)，所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)一圓盤(pán)旋轉(zhuǎn)，所述承載固定支架活動(dòng)連接于所述輪盤(pán)非中心位置，受所述輪盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)而上下平動(dòng);所述半導(dǎo)體元器件為三極管。
【文檔編號(hào)】G01R31/26GK205691724SQ201620552944
【公開(kāi)日】2016年11月16日
【申請(qǐng)日】2016年6月8日 公開(kāi)號(hào)201620552944.4, CN 201620552944, CN 205691724 U, CN 205691724U, CN-U-205691724, CN201620552944, CN201620552944.4, CN205691724 U, CN205691724U
【發(fā)明人】嚴(yán)向陽(yáng), 區(qū)永強(qiáng), 肖志華
【申請(qǐng)人】佛山市藍(lán)箭電子股份有限公司