本發明涉及慣性計測裝置的防振結構和該防振結構的制造方法。

背景技術：

1、已知一種具備角速度傳感器或加速度傳感器等多個傳感器、用于建筑物或結構體等的位移量測定的慣性計測裝置（imu：inertial?measurement?unit）。在現有的慣性計測裝置的結構中，由于來自與檢測對象不同的外部的振動傳播到傳感器，從而無法檢測出準確的計測數據，因此提出了在慣性計測裝置設置防振結構的方案。

2、例如，在專利文獻1中公開了具備防振結構的慣性計測裝置。在該慣性計測裝置中，具備保持包括慣性傳感器的傳感器單元的防振結構，該防振結構構成為將第1基板與第2基板層疊而成。在第1基板與第2基板之間設置有凝膠襯套等防振構件，防止了來自外部的振動傳播到傳感器單元。

3、專利文獻1：日本特開2022-50915號公報

4、但是，專利文獻1的慣性計測裝置有改良的余地。詳細地說，在專利文獻1中，沒有找到關于考慮包括諧振頻率和振幅放大率在內的防振特性來謀求防振結構的優化的記載，有可能無法得到充分的防振性能。

技術實現思路

1、即，被要求了具有期望的防振特性的防振結構及其制造方法。

2、本申請的一個方案涉及的防振結構是固定于振動源并載置計測裝置的防振結構，其中，具備固定于振動源的第1防振結構和與所述第1防振結構重疊的第2防振結構，所述第1防振結構包括第1質量體和支承所述第1質量體的第1防振構件，所述第2防振結構包括第2質量體和支承所述第2質量體的第2防振構件，所述計測裝置載置于所述第2質量體之上，所述第2防振結構的第2結構比大于所述第1防振結構的第1結構比。

3、本申請的一個方案涉及的防振結構的制造方法是，所述防振結構具備固定于振動源的第1防振結構和與所述第1防振結構重疊的第2防振結構，所述第1防振結構包括第1質量體和第1防振構件，所述第2防振結構包括第2質量體和第2防振構件，在所述第2質量體之上載置計測裝置，所述防振結構的制造方法包括：從單位參數的數據庫獲取所使用的防振構件的所述單位參數的工序；基于期望的諧振頻率和振幅放大率生成基準參數的工序；基于所述基準參數，確定諧振頻率與振幅放大率的相關關系中的坐標上的3點的工序；基于所述坐標上的3點，算出任意的結構比rr中的近似直線的工序；基于分割率分割所述近似直線，算出所述第2防振結構中的所述第2質量體的量和所述第2防振構件的量的工序；以及輸出所算出的算出結果的工序。

技術特征：

1.一種防振結構，其特征在于，是固定于振動源并載置計測裝置的防振結構，

2.根據權利要求1所述的防振結構，其中，

3.根據權利要求2所述的防振結構，其中，

4.根據權利要求3所述的防振結構，其中，

5.根據權利要求2所述的防振結構，其中，

6.根據權利要求1所述的防振結構，其中，

7.根據權利要求6所述的防振結構，其中，

8.一種防振結構的制造方法，其特征在于，所述防振結構具備固定于振動源的第1防振結構和與所述第1防振結構重疊的第2防振結構，所述第1防振結構包括第1質量體和第1防振構件，所述第2防振結構包括第2質量體和第2防振構件，在所述第2質量體之上載置計測裝置，所述防振結構的制造方法包括：

9.根據權利要求8所述的防振結構的制造方法，其中，

10.根據權利要求8所述的防振結構的制造方法，其中，

11.根據權利要求8所述的防振結構的制造方法，其中，

12.根據權利要求11所述的防振結構的制造方法，其中，

13.根據權利要求12所述的防振結構的制造方法，其中，

14.根據權利要求13所述的防振結構的制造方法，其中，

15.根據權利要求12所述的防振結構的制造方法，其中，

16.根據權利要求10或11所述的防振結構的制造方法，其中，

17.根據權利要求12所述的防振結構的制造方法，其中，

技術總結
提供具有期望的防振特性的防振結構及其制造方法。防振結構是固定于振動源并載置計測裝置的防振結構，并且具備固定于振動源的第1防振結構和與所述第1防振結構重疊的第2防振結構，所述第1防振結構包括第1質量體和支承所述第1質量體的第1防振構件，所述第2防振結構包括第2質量體和支承所述第2質量體的第2防振構件，所述計測裝置載置于所述第2質量體之上，所述第2防振結構的第2結構比大于所述第1防振結構的第1結構比。

技術研發人員：小林祥宏
受保護的技術使用者：精工愛普生株式會社
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28