本實用新型涉及半導體封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體地說，是涉及一種用于半導體銅線鍵合工藝的保護氣體檢測報警系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

近年來，在半導體封裝中，因銅線工藝較金錢工藝在成本上有很大的優(yōu)勢，因此，銅線工藝就目前來講是一種趨勢。除了成本較低之外，銅的電導率比金的電導率高，銅的熱導率也高于金，因此在直徑相同的條件下，銅線可以承載更大的電流，使得銅引線不僅可用于功率器件中，也可以用于需要采集更小直徑引線以適應高密度集成電路的封裝中；銅的機械強度高于金，使其更適合細小引線的鍵合。

銅線鍵合為集成芯片制造過程中的關(guān)鍵步驟，而在現(xiàn)有的集成芯片中，由于內(nèi)部多個芯片的焊盤之間直接用銅線連接，如果此時沒有保護氣體，銅線會出現(xiàn)氧化現(xiàn)象，其銅線焊接容易出現(xiàn)拉力不夠的現(xiàn)象,導致產(chǎn)品可靠性達不到要求而出現(xiàn)批量報廢的現(xiàn)象。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種可對銅線焊接過程中的銅線保護氣體流量進行監(jiān)控，保證機臺的穩(wěn)定運行，從而提升產(chǎn)品品質(zhì)的用于半導體銅線鍵合工藝的保護氣體檢測報警系統(tǒng)。

本實用新型的技術(shù)方案如下：

一種用于半導體銅線鍵合工藝的保護氣體檢測報警系統(tǒng)，包括：鍵合機、可編程繼電器、流量開關(guān)及電源，所述電源分別與所述流量開關(guān)和可編程繼電器電連接，所述流量開關(guān)與所述可編程繼電器信號連接，所述可編程繼電器與所述鍵合機電連接，所述流量開關(guān)用于對半導體銅線鍵合工藝的保護氣體流量進行檢測，若檢測到保護氣體流量不達標，則發(fā)出信號到所述可編程繼電器，所述可編程繼電器經(jīng)過運算后，輸出信號到所述鍵合機，所述鍵合機接收到信號后停機。

作為本技術(shù)方案的進一步改進，還包括報警裝置，所述報警裝置與所述可編程繼電器電連接，所述可編程繼電器輸出信號到所述報警裝置，所述報警裝置發(fā)出報警。

作為本技術(shù)方案的進一步改進，所述電源的進電主路上電連接有第一保險管。

作為本技術(shù)方案的進一步改進，所述電源與所述流量開關(guān)、可編程繼電器的電路上電連接有第二保險管。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果在于：通過設(shè)置有流量開關(guān)和可編程繼電器，所述流量開關(guān)用于對半導體銅線鍵合工藝的保護氣體流量進行檢測，若檢測到保護氣體流量不達標，則發(fā)出信號到可編程繼電器，可編程繼電器經(jīng)過運算后，輸出信號到鍵合機，鍵合機接收到信號后停機，還設(shè)置有報警裝置，所述報警裝置接收到信號后發(fā)出報警提醒員工。本實用新型通過監(jiān)測和報警，能有效檢測保護氣體的流量，提高了集成芯片制造的成品率，避免出現(xiàn)批量性報廢問題，從而有效地提高了產(chǎn)品的良品率。

上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明，本實用新型的具體實施方式由以下實施例及其附圖詳細給出。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的電路圖。

具體實施方式

下面將參考附圖并結(jié)合實施例，來詳細說明本實用新型：

請參照圖1、圖2，一種用于半導體銅線鍵合工藝的保護氣體檢測報警系統(tǒng)，該系統(tǒng)可對銅線焊接過程中的防止銅線氧化的保護氣體進行檢測和及時報警，并能夠?qū)φ谏a(chǎn)的機臺立即停機，防止產(chǎn)品因銅線氧化而造成批量性報廢，從而提升產(chǎn)品的品質(zhì)。

該用于半導體銅線鍵合工藝的保護氣體檢測報警系統(tǒng)包括：鍵合機1、可編程繼電器2、流量開關(guān)3及電源4，所述電源4分別與所述流量開關(guān)3和可編程繼電器2電連接，所述流量開關(guān)3與所述可編程繼電器2信號連接，所述可編程繼電器2與所述鍵合機1電連接，所述流量開關(guān)3用于對半導體銅線鍵合工藝的保護氣體流量進行檢測，若檢測到保護氣體流量不達標，則發(fā)出信號到所述可編程繼電器2，所述可編程繼電器2經(jīng)過運算后，輸出信號到所述鍵合機1，所述鍵合機1接收到信號后停機，防止生產(chǎn)出批量性報廢品。

進一步地，還包括報警裝置5，所述報警裝置5與所述可編程繼電器2電連接，若所述流量開關(guān)3檢測到保護氣體流量不達標，所述可編程繼電器2同時輸出信號到所述報警裝置5，所述報警裝置5發(fā)出報警，提醒員工。

為了保證電路的安全運行，在所述電源4的進電主路上電連接有第一保險管6，在所述電源4與所述流量開關(guān)3、可編程繼電器2的電路上電連接有第二保險管7。當電路發(fā)生故障或異常時，伴隨著電流的不斷升高，所述第一保險管6、第二保險管7就會在電流異常升高到一定的高度和一定的時候，自身熔斷切斷電流，從而起到保護電路安全運行的作用。

綜上所述，本實用新型的用于半導體銅線鍵合工藝的保護氣體檢測報警系統(tǒng)可有效地對半導體銅線鍵合工藝的產(chǎn)品進行保護，通過對銅線焊接過程中的銅線保護氣體進行監(jiān)測，在發(fā)生異常時可對正在生產(chǎn)的機臺立即停機，并發(fā)生報警，避免出現(xiàn)批量性報廢問題，大大提高了集成芯片制造的成品率。

以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制；凡本行業(yè)的普通技術(shù)人員均可按說明書附圖所示和以上所述而順暢地實施本實用新型；但是，凡熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，利用以上所揭示的技術(shù)內(nèi)容而做出的些許更動、修飾與演變的等同變化，均為本實用新型的等效實施例；同時，凡依據(jù)本實用新型的實質(zhì)技術(shù)對以上實施例所作的任何等同變化的更動、修飾與演變等，均仍屬于本實用新型的技術(shù)方案的保護范圍之內(nèi)。