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有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備和方法與流程

文檔序號:11103056閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備,其特征在于,包括:加熱裝置(10)、及設(shè)于加熱裝置(10)上的蒸發(fā)裝置(20);

所述蒸發(fā)裝置(20)包括蒸發(fā)器皿(21)、及導(dǎo)熱球(22);所述蒸發(fā)器皿(21)用于承載有機(jī)材料(50),所述導(dǎo)熱球(22)用于分散在有機(jī)材料(50)中使有機(jī)材料(50)受熱均勻。

2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備,其特征在于,所述導(dǎo)熱球(22)的粒徑為1μm-100μm。

3.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備,其特征在于,所述導(dǎo)熱球(22)為核殼結(jié)構(gòu),包括內(nèi)核體(221)、及包覆內(nèi)核體(221)的導(dǎo)熱層(222)。

4.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備,其特征在于,所述導(dǎo)熱層(222)為碳納米管層、石墨烯層、或陶瓷層;

所述內(nèi)核體(221)為聚合物微球、或SiO2微球。

5.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備,其特征在于,所述導(dǎo)熱層(222)為金屬層,所述內(nèi)核體(221)為SiO2微球,所述導(dǎo)熱球(22)由熔融的金屬材料均勻地包覆SiO2微球而制得。

6.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備,其特征在于,所述導(dǎo)熱球(22)為金屬微球。

7.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備,其特征在于,所述蒸發(fā)器皿(21)為鎢舟。

8.一種有機(jī)材料蒸鍍方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟1、提供有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備、及有機(jī)材料(50);所述有機(jī)材料蒸鍍設(shè)備包括:加熱裝置(10)、及設(shè)于加熱裝置(10)上的蒸發(fā)裝置(20);所述蒸發(fā)裝置(20)包括蒸發(fā)器皿(21)、及導(dǎo)熱球(22);將有機(jī)材料(50)放置于蒸發(fā)器皿(21)中,并向有機(jī)材料(50)中摻雜導(dǎo)熱球(22),使得所述導(dǎo)熱球(22)均勻分散于有機(jī)材料(50)中;

步驟2、提供基板(40),控制加熱裝置(10)產(chǎn)生熱能,控制蒸發(fā)裝置(20)通過所述加熱裝置(10)產(chǎn)生的熱能蒸發(fā)有機(jī)材料(50),使所述有機(jī)材料(50)在基板(40)上形成有機(jī)材料膜層。

9.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)材料蒸鍍方法,其特征在于,所述步驟2中,所述導(dǎo)熱球(22)的熔點(diǎn)高于所述加熱裝置(10)的加熱溫度。

10.如權(quán)利要求7所述的有機(jī)材料蒸鍍方法,其特征在于,所述步驟2還包括提供掩膜板(30),有機(jī)材料(50)穿過掩膜板(30)在基板(40)上形成有機(jī)材料膜層。

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