技術總結
本發明提供一種有機材料蒸鍍設備和方法。本發明的有機材料蒸鍍設備，其蒸發裝置包括蒸發器皿、及導熱球；所述蒸發器皿用于承載有機材料，所述導熱球用于分散在有機材料中使有機材料受熱均勻，在蒸鍍過程中，所述導熱球在有機材料內部均勻傳熱，從而能夠平衡整個蒸鍍過程中有機材料的熱蒸發速率，有效提高蒸鍍過程中有機材料熱蒸發速率的穩定性，進而改善基板上的成膜均勻性，提高OLED器件質量。

技術研發人員：陳黎暄
受保護的技術使用者：深圳市華星光電技術有限公司
文檔號碼：201611110521
技術研發日：2016.12.02
技術公布日：2017.05.10