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基于CH3NH3PbI3材料的P型HHMT晶體管及其制備方法與流程

文檔序號:11136775閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種基于CH3NH3PbI3材料的P型HHMT晶體管的制備方法,其特征在于,包括:

選取Al2O3材料作為襯底材料;

采用第一掩膜版在所述襯底材料表面形成源漏電極;

在所述襯底材料及所述源漏電極表面生長空穴傳輸層;

采用第二掩膜版在所述空穴傳輸層表面生長CH3NH3PbI3材料形成光吸收層;

采用第三掩膜版在所述光吸收層表面生長形成柵電極材料,以完成所述P型HHMT晶體管的制備。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,采用第一掩膜版在所述襯底材料表面形成源漏電極,包括:

采用氬氣對磁控濺射設備的濺射腔體進行清洗后抽真空;

選取質量比純度≥99.99%的第一金屬材料作為濺射靶材,以質量百分比純度≥99.999%的氬氣作為濺射氣體通入濺射腔,在真空度為6×10-4~1.3×10-3Pa的條件下在所述襯底材料表面形成所述源漏電極。

3.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,所述第一金屬材料為Au、Al、Ti、Ni、Ag或Pt。

4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,在所述襯底材料及所述源漏電極表面生長空穴傳輸層,包括:

配制濃度為72.3mg/mL的Spiro-OMeTAD的氯苯溶液,并加入濃度為520mg/mL鋰鹽的乙腈溶液、四叔丁基吡啶和300mg/mL鈷鹽的乙腈溶液,以體積比為10:17:11在常溫下攪拌,得到Spiro-OMeTAD溶液;

將所述Spiro-OMeTAD溶液滴加至所述襯底材料及所述源漏電極表面并旋涂,形成所述空穴傳輸層。

5.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,采用第二掩膜版在所述空穴傳輸層表面生長CH3NH3PbI3材料形成光吸收層,包括:

將PbI2和CH3NH2I先后加入DMSO:GBL中,形成得到PbI2和CH3NH2I的混合溶液;

將PbI2和CH3NH3I的混合溶液攪拌后靜置得到所述CH3NH3PbI3溶液;

采用所述第二掩膜版,在所述空穴傳輸層表面旋涂所述CH3NH3PbI3材料以形成所述光吸收層。

6.根據權利要求5所述的方法,其特征在于,在所述孔穴傳輸層表面旋涂所述CH3NH3PbI3材料以形成所述光吸收層,包括:

采用所述第二掩膜版,利用單一旋涂法在所述空穴傳輸層表面旋涂厚度為200~300nm的所述CH3NH3PbI3材料;

在溫度為100℃下退火處理形成所述光吸收層。

7.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,采用第三掩膜版在所述光吸收層表面生長形成柵電極材料,包括:

采用氬氣對磁控濺射設備的濺射腔體進行清洗后抽真空;

選取質量比純度≥99.99%的第二金屬材料作為濺射靶材,以質量百分比純度≥99.999%的氬氣作為濺射氣體通入濺射腔,在真空度為6×10-4~1.3×10-3Pa的條件下在所述光吸收層表面形成所述柵電極材料。

8.根據權利要求7所述的方法,其特征在于,所述第二金屬材料為Au、Al、Ti、Ni、Ag或Pt。

9.一種基于CH3NH3PbI3材料的P型HHMT晶體管,其特征在于,所述HHMT晶體管由權利要求1-8任一項所述的方法制備形成。

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