技術(shù)特征：

1.一種基板處理裝置，用以連續(xù)地進(jìn)行一并地處理復(fù)數(shù)片基板的批次處理以及逐片地處理基板的單片處理，其中，

2.如權(quán)利要求1所記載的基板處理裝置，其中，

3.如權(quán)利要求1所記載的基板處理裝置，其中，

4.如權(quán)利要求2所記載的基板處理裝置，其中，

5.如權(quán)利要求1所記載的基板處理裝置，其中，

6.如權(quán)利要求1所記載的基板處理裝置，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基板處理裝置，重新檢視具備批次式模塊以及單片式模塊的裝置的構(gòu)成，借此改善處理量。在本發(fā)明的處理區(qū)塊(9)的單片處理的單片處理區(qū)域(R2)設(shè)置有緩沖部(31)，緩沖部(31)能夠供第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(HTR)以及中心機(jī)械手(CR)雙方接取并傳遞基板(W)。因此，第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(HTR)經(jīng)由緩沖部(31)一并地接取并傳遞處理完畢的基板(W)以及未處理的基板(W)。因此，能激發(fā)出第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)(HTR)的潛力，從而能提供處理量高的基板處理裝置(1)。

技術(shù)研發(fā)人員：前川直嗣
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/24