本技術涉及晶圓提籃，具體為一種晶圓輸運提籃。

背景技術：

1、晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓，是一種成本較高的產品；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的電子產品。在半導體芯片自動化車間加工晶圓產品時，需要對加工后的晶圓進行轉

2、移，常用的工具即為晶圓輸運提籃。其中，為了避免多塊晶圓疊放運輸，造成晶圓的污染、劃傷、破損，影響產品質量，晶圓輸運籃中包括多個間隔設置的晶圓槽，具體的，晶圓輸運提籃包括具有開口的籃體，籃體的內側壁間隔設置晶圓槽，晶圓由開口進入籃體內，且晶圓的邊緣設置于晶圓槽內實現晶圓的放置。

3、為了避免晶圓輸運提籃在運輸過程中晶圓由開口處滑出掉落，現有技術有在晶圓輸運提籃開口處設置止擋機構，止擋機構上設置有與晶圓槽相配合的止擋塊，在輸運過程中，止擋塊在重力作用下與晶圓槽相互重合，從而可以避免晶圓由開口處滑出掉落，然而在輸運提籃過程中，提籃上下抖動，容易帶動止擋機構上下抖動，從而有可能使得止擋塊與晶圓槽相互錯開，從而使得止擋機構失效；因此，我們提出一種晶圓輸運提籃對此進行改進。

技術實現思路

1、本實用新型的目的是針對背景技術中存在的缺點和問題加以改進和創新，提供一種晶圓輸運提籃，提高止擋機構在輸運過程的穩定性。

2、一種晶圓輸運提籃，包括頂板，所述頂板下表面兩側均固定連接有側槽板，兩塊所述側槽板底部之間固定連接有底板，所述側槽板沿高度方向間隔開設有若干晶圓槽，所述側槽板至少一側開設有豎直設置的插槽，所述插槽上插設有止擋機構，止擋機構沿高度方向上間隔設置有止擋塊，止擋塊在輸運過程中與晶圓槽相重合，所述止擋機構上端通過鎖止機構與側槽板相連接，當提籃放置于臺面上時，所述止擋機構受驅向上，使得止擋塊與晶圓槽相錯開。

3、進一步的方案是，所述止擋機構包括與插槽滑動配合的升降條，所述止擋塊安裝在升降條上。

4、進一步的方案是，所述鎖止機構包括安裝于升降條上端的限位塊，所述側槽板上端開設有與限位塊相適配的滑槽，所述限位塊上開設有限位槽，所述滑槽一側設置有凹槽，所述凹槽底壁上固定連接有彈簧，所述彈簧末端固定連接有與凹槽滑動配合的活動塊，所述活動塊上安裝有限位槽相適配的楔形塊。

5、進一步的方案是，當所述限位槽與楔形塊相配合時，所述升降條的底端伸出側槽板；當升降條底端與側槽板底端相齊平時，所述止擋塊與晶圓槽相錯開。

6、進一步的方案是，所述側槽板的一側安裝有豎直設置的止擋條，所述止擋條用于限制晶圓片移出晶圓槽。

7、進一步的方案是，所述頂板上設置有提手。

8、進一步的方案是，所述側槽板外側設置有置放。

9、與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型在提籃輸運過程中，通過限位槽和楔形塊的相互配合，實現對止擋機構的鎖止，從而可以避免在提籃輸運過程中，止擋機構與側槽板發生相對運動；此外，當提籃放置于臺面上，止擋機構受驅向上運動，使得限位塊自動將楔形塊擠壓進入到凹槽中，從而實現對止擋機構的自動解鎖；由于利用工作臺面的抵持實現解鎖，使得止擋機構操作簡單，方便易行；即本實用新型即兼顧了止擋機構的操作便利性，又提高了其工作過程中的穩定性。

技術特征：

1.一種晶圓輸運提籃，包括頂板（2），所述頂板（2）下表面兩側均固定連接有側槽板（3），兩塊所述側槽板（3）底部之間固定連接有底板（5），其特征在于：所述側槽板（3）沿高度方向間隔開設有若干晶圓槽（7），所述側槽板（3）至少一側開設有豎直設置的插槽（18），所述插槽（18）上插設有止擋機構，止擋機構沿高度方向上間隔設置有止擋塊（9），止擋塊（9）在輸運過程中與晶圓槽（7）相重合，所述止擋機構上端通過鎖止機構與側槽板（3）相連接，當提籃放置于臺面上時，所述止擋機構受驅向上，使得止擋塊（9）與晶圓槽（7）相錯開；

2.根據權利要求1所述的一種晶圓輸運提籃，其特征在于：當所述限位槽（12）與楔形塊（16）相配合時，所述升降條（8）的底端伸出側槽板（3）；當升降條（8）底端與側槽板（3）底端相齊平時，所述止擋塊（9）與晶圓槽（7）相錯開。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓輸運提籃，其特征在于：所述側槽板（3）的一側安裝有豎直設置的止擋條（19），所述止擋條（19）用于限制晶圓片移出晶圓槽（7）。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓輸運提籃，其特征在于：所述頂板（2）上設置有提手（1）。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓輸運提籃，其特征在于：所述側槽板（3）外側設置有置放板（4）。

技術總結
本技術提供一種晶圓輸運提籃，包括頂板，頂板下表面兩側均固定連接有側槽板，兩塊側槽板底部之間固定連接有底板，側槽板沿高度方向間隔開設有若干晶圓槽，側槽板至少一側開設有豎直設置的插槽，插槽上插設有止擋機構，止擋機構沿高度方向上間隔設置有止擋塊，止擋塊在輸運過程中與晶圓槽相重合，止擋機構上端通過鎖止機構與側槽板相連接，當提籃放置于臺面上時，止擋機構受驅向上，使得止擋塊與晶圓槽相錯開。本技術在提籃輸運過程中，通過限位槽和楔形塊的相互配合，實現對止擋機構的鎖止，從而可以避免在提籃輸運過程中，止擋機構與側槽板發生相對運動；本技術即兼顧了止擋機構的操作便利性，又提高了其工作過程中的穩定性。

技術研發人員：夏淑義,蔣金敏,屈松
受保護的技術使用者：江西長芯半導體有限公司
技術研發日：20240621
技術公布日：2025/4/28