本申請屬于晶圓加工，尤其涉及一種晶圓傳輸裝置及半導(dǎo)體檢測設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在晶圓的加工制造過程中，晶圓的高效搬運與傳輸至關(guān)重要，需要同時確保速度、穩(wěn)定性及安全性。

2、目前，晶圓的傳輸通常是通過機械臂實現(xiàn)，現(xiàn)有的機械臂大多結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜、成本高昂、不便于維護且占用空間較大，不利于提升晶圓加工產(chǎn)線整體的緊湊性，增加了晶圓的加工成本。

3、因此如何能提供一種結(jié)構(gòu)簡單、加工成本低且占用空間小的晶圓傳輸裝置，已成為本領(lǐng)域亟待解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┮环N晶圓傳輸裝置及半導(dǎo)體檢測設(shè)備，具有結(jié)構(gòu)簡單、加工維護成本低以及占用空間小的優(yōu)點。

2、本申請?zhí)峁┝艘环N晶圓傳輸裝置，其中，所述晶圓傳輸裝置包括：

3、機架；

4、驅(qū)動元件，安裝于所述機架；

5、旋轉(zhuǎn)件，與所述驅(qū)動元件連接，所述驅(qū)動元件能驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)；

6、至少一個擺臂，具有用于直接或間接地承載晶圓的承載面，所述擺臂與所述機架轉(zhuǎn)動連接，且所述擺臂與所述旋轉(zhuǎn)件通過導(dǎo)向結(jié)構(gòu)連接，所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)過程中通過所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)引導(dǎo)所述擺臂擺動。

7、如上所述的晶圓傳輸裝置，其中，所述擺臂設(shè)有兩個，兩個所述擺臂連接于所述旋轉(zhuǎn)件沿第一水平方向的兩側(cè)，所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)過程中驅(qū)動兩個所述擺臂同步擺動并沿所述旋轉(zhuǎn)件的旋轉(zhuǎn)軸線呈中心對稱布置。

8、如上所述的晶圓傳輸裝置，其中，所述擺臂具有沿第一水平方向延伸的收納位置。

9、如上所述的晶圓傳輸裝置，其中，所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)包括導(dǎo)向空間及導(dǎo)向柱，所述導(dǎo)向柱設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)件上，所述導(dǎo)向空間形成于所述擺臂，且所述導(dǎo)向空間沿所述擺臂的長度方向延伸設(shè)置，所述導(dǎo)向柱的一部分嵌入至所述導(dǎo)向空間中，所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)過程中，所述導(dǎo)向柱沿所述導(dǎo)向空間往復(fù)移動并推動所述擺臂擺動。

10、如上所述的晶圓傳輸裝置，其中，所述擺臂上設(shè)有導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向孔的內(nèi)部空間為所述導(dǎo)向空間，所述導(dǎo)向孔沿所述豎直方向貫穿所述擺臂，所述導(dǎo)向柱的一部分插入至所述導(dǎo)向孔中，所述導(dǎo)向柱的上端平齊或低于所述擺臂的上表面，所述擺臂的上表面為所述承載面。

11、如上所述的晶圓傳輸裝置，其中，所述擺臂的上表面為所述承載面，所述擺臂的下表面上設(shè)有導(dǎo)向槽，所述導(dǎo)向槽的內(nèi)部空間為所述導(dǎo)向空間，所述導(dǎo)向柱的一部分插入至所述導(dǎo)向槽中。

12、如上所述的晶圓傳輸裝置，其中，所述機架上設(shè)有固定軸，所述固定軸沿所述豎直方向延伸，每個所述擺臂與一個所述固定軸轉(zhuǎn)動連接；

13、所述擺臂上設(shè)有通孔，所述通孔中設(shè)有軸承，所述軸承與所述擺臂及所述固定軸連接。

14、如上所述的晶圓傳輸裝置，其中，所述承載面上設(shè)有吸盤；

15、和/或，所述承載面上設(shè)有防滑件。

16、如上所述的晶圓傳輸裝置，其中，所述驅(qū)動元件為電機，所述旋轉(zhuǎn)件上設(shè)有定位座，所述定位座上設(shè)有定位孔，所述定位孔的中心與所述旋轉(zhuǎn)件的中心位于同一條沿所述豎直方向延伸的直線上，所述電機的輸出軸固定插接于所述定位孔中。

17、如上所述的晶圓傳輸裝置，其中，所述機架包括支撐板及至少兩個支腿，所述驅(qū)動元件及所述擺臂均與所述支撐板連接，所述支腿沿所述豎直方向延伸，兩所述支腿的上端分別連接于與所述支撐板沿第一水平方向的兩端；

18、所述支腿的下端連接設(shè)有墊板。

19、本申請還提供了一種半導(dǎo)體檢測設(shè)備，其中，所述半導(dǎo)體檢測設(shè)備包括如上所述的晶圓傳輸裝置。

20、本申請的晶圓傳輸裝置及半導(dǎo)體檢測設(shè)備，由機架、驅(qū)動元件、旋轉(zhuǎn)件及至少一個擺臂組成，機架作為驅(qū)動元件、旋轉(zhuǎn)件以及擺臂的安裝基礎(chǔ)，通過驅(qū)動元件驅(qū)動旋轉(zhuǎn)件轉(zhuǎn)動，從而帶動擺臂擺動，擺臂上設(shè)有承載面能夠用于承載晶圓，在擺臂擺動過程中實現(xiàn)晶圓的傳輸，本申請?zhí)峁┑木A傳輸裝置部件數(shù)量較少，結(jié)構(gòu)簡單，加工制造以及維護成本較低，占用空間較少，適用于狹小空間，有利于提升晶圓加工產(chǎn)線的緊湊性，降低晶圓的加工成本。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述晶圓傳輸裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述擺臂(4)設(shè)有兩個，兩個所述擺臂(4)連接于所述旋轉(zhuǎn)件(3)沿第一水平方向(x)的兩側(cè)，所述旋轉(zhuǎn)件(3)旋轉(zhuǎn)過程中驅(qū)動兩個所述擺臂(4)同步擺動并沿所述旋轉(zhuǎn)件的旋轉(zhuǎn)軸線呈中心對稱布置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述擺臂(4)具有沿第一水平方向(x)延伸的收納位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)(m)包括導(dǎo)向空間(m2)及導(dǎo)向柱(m1)，所述導(dǎo)向柱(m1)設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)件(3)上，所述導(dǎo)向空間(m2)形成于所述擺臂(4)，且所述導(dǎo)向空間(m2)沿所述擺臂(4)的長度方向延伸設(shè)置，所述導(dǎo)向柱(m1)的一部分嵌入至所述導(dǎo)向空間(m2)中，所述旋轉(zhuǎn)件(3)旋轉(zhuǎn)過程中，所述導(dǎo)向柱(m1)沿所述導(dǎo)向空間(m2)往復(fù)移動并推動所述擺臂(4)擺動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述擺臂(4)上設(shè)有導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向孔的內(nèi)部空間為所述導(dǎo)向空間(m2)，所述導(dǎo)向孔沿所述豎直方向(z)貫穿所述擺臂(4)，所述導(dǎo)向柱(m1)的一部分插入至所述導(dǎo)向孔中，所述導(dǎo)向柱(m1)的上端平齊或低于所述擺臂(4)的上表面，所述擺臂(4)的上表面為所述承載面。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述擺臂(4)的上表面為所述承載面，所述擺臂(4)的下表面上設(shè)有導(dǎo)向槽，所述導(dǎo)向槽的內(nèi)部空間為所述導(dǎo)向空間(m2)，所述導(dǎo)向柱(m1)的一部分插入至所述導(dǎo)向槽中。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述機架(1)上設(shè)有固定軸(52)，所述固定軸(52)沿所述豎直方向(z)延伸，每個所述擺臂(4)與一個所述固定軸(52)轉(zhuǎn)動連接；

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述承載面上設(shè)有吸盤(41)；

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述驅(qū)動元件(2)為電機，所述旋轉(zhuǎn)件(3)上設(shè)有定位座(31)，所述定位座(31)上設(shè)有定位孔(311)，所述定位孔(311)的中心與所述旋轉(zhuǎn)件(3)的中心位于同一條沿所述豎直方向(z)延伸的直線上，所述電機的輸出軸(21)固定插接于所述定位孔(311)中。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述機架(1)包括支撐板(11)及至少兩個支腿(12)，所述驅(qū)動元件(2)及所述擺臂(4)均與所述支撐板(11)連接，所述支腿(12)沿所述豎直方向(z)延伸，兩所述支腿(12)的上端分別連接于與所述支撐板(11)沿第一水平方向(x)的兩端；

11.一種半導(dǎo)體檢測設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體檢測設(shè)備包括如權(quán)利要求1至10任一項所述的晶圓傳輸裝置。

技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種晶圓傳輸裝置及半導(dǎo)體檢測設(shè)備。晶圓傳輸裝置包括機架；驅(qū)動元件，安裝于所述機架；旋轉(zhuǎn)件，與所述驅(qū)動元件連接，所述驅(qū)動元件能驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)；至少一個擺臂，具有承載面，所述擺臂與所述機架轉(zhuǎn)動連接，且所述擺臂與所述旋轉(zhuǎn)件通過導(dǎo)向結(jié)構(gòu)連接，所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)過程中通過所述導(dǎo)向結(jié)構(gòu)引導(dǎo)所述擺臂擺動。本申請?zhí)峁┑木A傳輸裝置及半導(dǎo)體檢測設(shè)備，具有結(jié)構(gòu)簡單、加工維護成本低以及占用空間小的優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員：董金輝,張之光,米濤
受保護的技術(shù)使用者：東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/28