1.一種晶圓缺陷檢測方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取目標晶圓的多個第一信號，包括：
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述運動參數包括所述采樣時刻和運動速度；所述獲取所述目標晶圓基于所述目標運動軌跡運動的過程中經過各個所述采樣點時的運動參數，基于所述運動參數計算每相鄰兩個所述采樣點之間的空間間隔，包括：
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述運動速度包括線速度；所述基于所述時間間隔和所述運動速度計算得到相鄰兩個所述采樣點的空間間隔，包括：
5.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述運動速度包括角速度，所述目標運動軌跡包括螺旋軌跡；所述基于所述時間間隔和所述運動速度計算得到相鄰兩個所述采樣點的空間間隔，包括：
6.根據權利要求4或5所述的方法，其特征在于，所述每相鄰兩次采樣得到的兩個所述第二信號對應的兩個所述采樣點為相鄰的兩個目標采樣點；對多個所述采樣點對應的多個所述第一信號進行等空間間隔采樣以得到多個第二信號，包括：
7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述基于每相鄰兩個所述采樣點之間的空間間隔遍歷多個所述采樣點，并從多個所述采樣點中選出多個目標采樣點，包括：
8.一種晶圓缺陷檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：
9.一種終端設備，其特征在于，包括：收發器、存儲器和處理器；
10.一種晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，所述系統包括：模數轉換器和如權利要求9所述的終端設備；
11.根據權利要求10所述的系統，其特征在于，所述系統還包括光電倍增管；
12.根據權利要求11所述的系統，其特征在于，所述系統還包括激光發射設備；
13.一種計算機可讀存儲介質，其特征在于，所述計算機可讀存儲介質中存儲有計算機程序，所述計算機程序適于由處理器加載并執行如權利要求1-7任一所述的方法。