本申請涉及光伏，特別是涉及一種太陽能電池及其制備方法、光伏組件。

背景技術：

1、tbc（topcon-bc，背結背接觸高效電池）技術把高效的topcon（tunnel?oxidepassivated?contact?solar?cell，隧穿氧化層鈍化接觸太陽能電池）技術與背結/背接觸技術相結合，利用topcon電池技術優異的鈍化接觸結構，但將電極全部設置在電池背面，避免正面因柵線遮擋引起的光能損失，最大化利用入射光子，有助于提升電池轉換效率。

2、然而，在制備tbc電池的p型極性區、n型極性區時，通常需要進行多次高溫步驟，需要的設備繁雜、昂貴，且工藝流程復雜、工藝時間長。

技術實現思路

1、本申請實施例提供一種太陽能電池及其制備方法、光伏組件，能夠減少高溫步驟，降低成本，縮短工藝時間，提高制備效率。

2、本申請第一方面提供了一種太陽能電池的制備方法，包括：

3、提供襯底，所述襯底的背面形成有隧穿層和多晶硅層，多晶硅層位于所述隧穿層遠離所述襯底的一側，所述多晶硅層包括交替的第一區域和第二區域；

4、于所述多晶硅層上形成硼硅玻璃層，激光作用于所述硼硅玻璃層的位于所述第一區域的部分，使得所述硼硅玻璃層中的硼擴散至所述多晶硅層的第一區域中形成第一極性區，去除所述多晶硅層上剩余的所述硼硅玻璃層；

5、于所述多晶硅層上形成磷硅玻璃層，激光作用于所述磷硅玻璃層的位于所述第二區域的部分，使得所述磷硅玻璃層中的磷擴散至所述多晶硅層的第二區域中形成第二極性區，去除所述多晶硅層上剩余的所述磷硅玻璃層；

6、于所述第一極性區形成第一電極，于所述第二極性區形成第二電極。

7、在其中一個實施例中，所述激光作用于所述硼硅玻璃層的位于所述第一區域的部分，使得所述硼硅玻璃層中的硼擴散至所述多晶硅層的第一區域中形成第一極性區，包括：

8、激光作用于所述硼硅玻璃層的位于所述第一區域的部分，使得所述多晶硅層的位于所述第一區域的遠離所述襯底的表面液化，以使所述硼硅玻璃層的覆蓋所述第一區域的部分從預設界面向遠離所述襯底方向熔化，所述預設界面為所述硼硅玻璃層與所述多晶硅層之間的界面；

9、在所述多晶硅層液化及所述硼硅玻璃層熔化過程中，所述硼硅玻璃層中的硼擴散至所述多晶硅層中，以使所述第一區域形成第一極性區。

10、在其中一個實施例中，所述多晶硅層液化及所述硼硅玻璃層熔化，使得所述硼硅玻璃層燒蝕，以去除所述硼硅玻璃層的位于所述第一區域的部分。

11、在其中一個實施例中，所述激光作用于所述磷硅玻璃層的位于所述第二區域的部分，使得所述磷硅玻璃層中的磷擴散至所述多晶硅層的第二區域中形成第二極性區，包括：

12、激光作用于所述磷硅玻璃層的位于所述第二區域的部分，使得所述多晶硅層的位于所述第二區域的遠離所述襯底的表面液化，以使所述磷硅玻璃層的覆蓋所述第二區域的部分從預設界面向遠離所述襯底方向熔化，所述預設界面為所述磷硅玻璃層與所述多晶硅層之間的界面；

13、在所述多晶硅層液化及所述磷硅玻璃層熔化過程中，所述磷硅玻璃層中的磷擴散至所述多晶硅層中，以使所述第二區域形成第二極性區。

14、在其中一個實施例中，所述多晶硅層液化及所述硼硅玻璃層熔化，使得所述硼硅玻璃層燒蝕，以去除所述硼硅玻璃層的位于所述第一區域的部分。

15、在其中一個實施例中，所述去除多晶硅層上剩余的所述硼硅玻璃層，包括：

16、利用濕化學法去除所述硼硅玻璃層的未經所述激光作用的區域；和/或

17、所述去除多晶硅層上剩余的所述磷硅玻璃層，包括：

18、利用濕化學法去除所述磷硅玻璃層的未經所述激光作用的區域。

19、在其中一個實施例中，所述太陽能電池的制備方法還包括：

20、在形成所述第一極性區后，利用濕化學法去除經所述激光作用的區域的激光損傷；和/或

21、在形成所述第二極性區后，利用濕化學法去除經所述激光作用的區域的激光損傷。

22、在其中一個實施例中，所述第一區域和所述第二區域相間隔。

23、在其中一個實施例中，所述第一區域和所述第二區域相鄰接；在形成所述第一電極和所述第二電極的步驟之前，所述太陽能電池的制備方法還包括：

24、利用激光工藝去除所述第一極性區和所述第二極性區的交界位置處的部分區域，以至少暴露所述多晶硅層內部的對應所述交界位置處的極性區；

25、利用濕化學法去除所述激光工藝的作用區域，暴露對應所述交界位置處的所述襯底。

26、在其中一個實施例中，所述太陽能電池的制備方法還包括：

27、于形成所述第一極性區和所述第二極性區的所述多晶硅層上形成背面鈍化層；

28、其中，所述第一電極、所述第二電極貫穿所述背面鈍化層至所述多晶硅層。

29、在其中一個實施例中，所述太陽能電池的制備方法還包括：

30、于形成所述襯底的正面形成正面鈍化層。

31、本申請第二方面提供了一種太陽能電池，所述太陽能電池由如上所述的太陽能電池的制備方法制備獲得。

32、本申請第三方面提供了一種光伏組件，包括電池串，所述電池串由多個如上所述的太陽能電池連接而成。

33、上述太陽能電池及其制備方法、光伏組件，其中制備方法包括提供襯底，襯底的背面形成隧穿層、多晶硅層，多晶硅層包括交替的第一區域和第二區域；于多晶硅層上形成硼硅玻璃層，激光作用于硼硅玻璃層的位于第一區域的部分，使得硼硅玻璃層中的硼擴散至多晶硅層中，以使第一區域形成第一極性區；于多晶硅層上形成磷硅玻璃層，激光作用于磷硅玻璃層的位于第二區域的部分，使得磷硅玻璃層中的磷擴散至多晶硅層中，以使第二區域形成第二極性區；分別去除多晶硅層上剩余的硼硅玻璃層及磷硅玻璃層；于第一極性區形成第一電極，于第二極性區形成第二電極。該制備過程，相對相關技術，可以減少高溫步驟，從而減少需要的設備，降低成本，還能夠縮短工藝時間，有助于提高太陽能電池、光伏組件的產能；此外，該制備過程，步驟簡單，可以簡化電池工藝流程，提高制備效率。

技術特征：

1.一種太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述激光作用于所述硼硅玻璃層的位于所述第一區域的部分，使得所述硼硅玻璃層中的硼擴散至所述多晶硅層的第一區域中形成第一極性區，包括：

3.根據權利要求2所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述多晶硅層液化及所述硼硅玻璃層熔化，使得所述硼硅玻璃層燒蝕，以去除所述硼硅玻璃層的位于所述第一區域的部分。

4.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述激光作用于所述磷硅玻璃層的位于所述第二區域的部分，使得所述磷硅玻璃層中的磷擴散至所述多晶硅層的第二區域中形成第二極性區，包括：

5.根據權利要求4所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述多晶硅層液化及所述硼硅玻璃層熔化，使得所述硼硅玻璃層燒蝕，以去除所述硼硅玻璃層的位于所述第一區域的部分。

6.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述去除多晶硅層上剩余的所述硼硅玻璃層，包括：

7.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述太陽能電池的制備方法還包括：

8.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述第一區域和所述第二區域相間隔。

9.根據權利要求1所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述第一區域和所述第二區域相鄰接；在形成所述第一電極和所述第二電極的步驟之前，所述太陽能電池的制備方法還包括：

10.根據權利要求1-9任一項所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述太陽能電池的制備方法還包括：

11.根據權利要求1-9任一項所述的太陽能電池的制備方法，其特征在于，所述太陽能電池的制備方法還包括：

12.一種太陽能電池，其特征在于，所述太陽能電池由如權利要求1-11任一項所述的太陽能電池的制備方法制備獲得。

13.一種光伏組件，其特征在于，包括電池串，所述電池串由多個如權利要求12所述的太陽能電池連接而成。

技術總結
本申請涉及一種太陽能電池及其制備方法、光伏組件，其中制備方法包括提供襯底，襯底的背面形成隧穿層、多晶硅層；于多晶硅層上形成硼硅玻璃層，激光作用于硼硅玻璃層的位于多晶硅層第一區域的部分，使得硼硅玻璃層中的硼擴散至多晶硅層的第一區域以形成第一極性區；于多晶硅層上形成磷硅玻璃層，激光作用于磷硅玻璃層的位于多晶硅層第二區域的部分，使得磷硅玻璃層中的磷擴散至多晶硅層的第二區域以形成第二極性區；分別去除多晶硅層上剩余的硼硅玻璃層及磷硅玻璃層；于第一極性區形成第一電極，于第二極性區形成第二電極。該制備過程，相對相關技術，可以減少高溫步驟，降低成本，還能夠縮短工藝時間，有助于提高太陽能電池、光伏組件的產能。

技術研發人員：王天宇,柳偉,王宇航
受保護的技術使用者：天合光能股份有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28