本發(fā)明涉及一種層疊體、圖案形成方法、固化物及電子部件。
背景技術(shù):
1、已知一種在印刷布線板上安裝有發(fā)光二極管(以下有時(shí)縮寫為led)的發(fā)光裝置。為了高效地利用所安裝的led的光,存在有在印刷布線板上形成高反射率的阻焊劑的情況。存在對(duì)阻焊劑的形成要求高精度的情況。
2、與此相關(guān)聯(lián)地,例如,日本專利特開2007-071914號(hào)公報(bào)提出了一種能夠提高成型精度的感光性干膜。另外,日本專利特開2004-109421號(hào)公報(bào)提出了一種能夠?qū)崿F(xiàn)抗蝕劑的高分辨率的干膜光致抗蝕劑用膜。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明要解決的問題
2、在使用在支撐膜上形成有感光性樹脂層的干膜來形成高反射率的阻焊劑的情況下,存在曝光時(shí)的分辨率由于感光性樹脂層的高反射率而降低的情況。因此,本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的目的在于提供一種層疊體,能夠形成高反射率且高分辨率的固化物。
3、解決問題的手段
4、本發(fā)明包含以下實(shí)施方式。
5、[1]一種層疊體,具備:
6、在400nm以上且500nm以下的波長(zhǎng)范圍中的平均透射率為70%以下的第一膜;以及
7、配置在所述第一膜上、包含白色顏料、且在400nm以上且500nm以下的波長(zhǎng)范圍中的平均反射率為50%以上的感光性樹脂層。
8、[2]根據(jù)[1]中所述的層疊體,所述第一膜的平均厚度為20μm以上且50μm以下。
9、[3]根據(jù)[1]或[2]中所述的層疊體,所述感光性樹脂層的平均厚度為5μm以上且100μm以下。
10、[4]根據(jù)[1]至[3]中任意一項(xiàng)所述的層疊體,相對(duì)于所述感光性樹脂層的總固體量,所述感光性樹脂層的所述白色顏料的含有率為9質(zhì)量%以上且95質(zhì)量%以下。
11、[5]根據(jù)[1]至[4]中任意一項(xiàng)所述的層疊體,所述第一膜在400nm以上且500nm以下的波長(zhǎng)范圍中的平均透射率相對(duì)于在360nm中的透射率的比為0.9以上且1.5以下。
12、[6]根據(jù)[1]至[5]中任意一項(xiàng)所述的層疊體,所述感光性樹脂層在400nm以上且500nm以下的波長(zhǎng)范圍中的平均反射率相對(duì)于在360nm中的反射率的比為4.0以上。
13、[7]根據(jù)[1]至[6]中任意一項(xiàng)所述的層疊體,所述感光性樹脂層還包含熱固性樹脂。
14、[8]根據(jù)[1]至[7]中任意一項(xiàng)所述的層疊體,還具備:
15、配置在所述感光性樹脂層的與所述第一膜相反側(cè)的面上的第二膜。
16、[9]一種圖案形成方法,包含以下步驟:
17、將根據(jù)[1]至[7]中任意一項(xiàng)所述的層疊體以所述感光性樹脂層與基板相對(duì)的方式粘合到所述基板上;
18、隔著所述層疊體的所述第一膜對(duì)所述感光性樹脂層進(jìn)行曝光;
19、去除所述第一膜,在所述基板上形成圖案,所述圖案包含所述感光性樹脂層的固化物。
20、[10]一種固化物,包含于通過根據(jù)[9]所述的圖案形成方法所形成的圖案。
21、[11]一種電子部件,其中,包含根據(jù)[10]所述的固化物。
22、發(fā)明效果
23、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式,能夠提供一種層疊體,能夠形成高反射率且高分辨率的固化物。
1.一種層疊體,其中,具備:
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的層疊體,其中,所述第一膜的平均厚度為20μm以上且50μm以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的層疊體,其中,所述感光性樹脂層的平均厚度為5μm以上且100μm以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的層疊體,其中,相對(duì)于所述感光性樹脂層的總固體量,所述感光性樹脂層的所述白色顏料的含有率為9質(zhì)量%以上且95質(zhì)量%以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的層疊體,其中,所述第一膜在400nm以上且500nm以下的波長(zhǎng)范圍中的平均透射率相對(duì)于在360nm中的透射率的比為0.9以上且1.5以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的層疊體,其中,所述感光性樹脂層在400nm以上且500nm以下的波長(zhǎng)范圍中的平均反射率相對(duì)于在360nm中的反射率的比為4.0以上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的層疊體,其中,所述感光性樹脂層還包含熱固性樹脂。
8.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的層疊體,其中,還具備:
9.一種圖案形成方法,其中,包含以下步驟:
10.一種固化物,其中,包含于通過根據(jù)權(quán)利要求9所述的圖案形成方法所形成的圖案。
11.一種電子部件,其中,包含根據(jù)權(quán)利要求10所述的固化物。