專(zhuān)利名稱(chēng)：一種用于微光像增強(qiáng)器光電陰極輸入窗的清潔方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)電真空器件用的光學(xué)玻璃，光纖面板表面清潔的方法，主要用于微光像增強(qiáng)器多堿光電陰極玻璃輸入窗和光纖面板輸入窗的表面清潔。也可用于類(lèi)似的光電陰極輸入窗的表面清潔。
背景技術(shù)：
以微光像增強(qiáng)器為代表的真空光電子器件在國(guó)防、科研等行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用，在國(guó)際國(guó)內(nèi)受到普遍的重視。微光像增強(qiáng)器(見(jiàn)圖1)，主要由陰極輸入窗、光電陰極、錐電極或微通道板、熒光屏、陽(yáng)極輸出窗等零部件組成。其工作原理:在夜間低照度下，將人眼不能直接看見(jiàn)的景物圖像，通過(guò)陰極輸入窗上的光電陰極轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的光電子圖像，光電子圖像經(jīng)過(guò)錐電極或微通道板電子倍增器的放大、增強(qiáng)，再經(jīng)陽(yáng)極高壓加速，由熒光屏轉(zhuǎn)換成亮度足夠的光學(xué)圖像，最后經(jīng)過(guò)陽(yáng)極輸出窗輸出，供人眼觀看。它的光電陰極的制作需要在超高真空條件下進(jìn)行，同時(shí)要求所要蒸鍍的多堿光電陰極玻璃輸入窗I或光纖面板輸入窗2 (見(jiàn)圖2表面的清潔程度相當(dāng)高，要求達(dá)到原子級(jí)清潔，即輸入窗表面的微量化學(xué)物質(zhì)為零。采用一般的化學(xué)或機(jī)械清洗，在完成之后，從微觀上看，如玻璃輸入窗的表面實(shí)際上還是存留一部分化學(xué)殘留物，這樣在其表面蒸鍍光電陰極時(shí)，由于光電陰極膜層生長(zhǎng)為一種半導(dǎo)體膜層，因此殘留在玻璃表面的微量化學(xué)物質(zhì)就會(huì)對(duì)光電陰極的結(jié)構(gòu)和性能產(chǎn)生影響，導(dǎo)致光電陰極的技術(shù)性能不穩(wěn)定和技術(shù)指標(biāo)明顯下降，嚴(yán)重影響到微光像增強(qiáng)器的質(zhì)量，因此在像增強(qiáng)器的制造過(guò)程中，為了使輸入窗表面達(dá)到原子級(jí)清潔，往往需要對(duì)玻璃窗表面進(jìn)行機(jī)械拋光，然后再進(jìn)行清洗、烘干。由于采用機(jī)械拋光的辦法，一般只能單件生產(chǎn)，一件一件的拋光。具體的工藝為:將90g氧化鈰拋光粉(Cerox 1650)放入純水中，在溫度為20°C的環(huán)境下攪拌均勻；調(diào)節(jié)壓縮空氣的氣壓，使拋光頭壓力約為1.5大氣壓,根據(jù)所要拋光的輸入窗的表面調(diào)節(jié)拋光機(jī)的前、后偏心輪,使左右方向的位移相等，調(diào)節(jié)拋光機(jī)的轉(zhuǎn)速為1000轉(zhuǎn)/分鐘，調(diào)節(jié)拋光機(jī)定時(shí)器的時(shí)間；將工件放入拋光卡盤(pán)，啟動(dòng)定時(shí)器開(kāi)始拋光，拋光結(jié)束之后，取下工件，用純水清洗干凈，然后放入工件托架，并將工件托架放入盛有純水的不銹鋼桶中，重復(fù)以上過(guò)程直至工件裝滿(mǎn)工件托架；在工件托架裝滿(mǎn)之后，再將工件托架放入超聲波清洗槽，超聲5分鐘，取出工件托架，用純水沖洗工件托架即工件I分鐘，之后更換不銹鋼桶中的純水，再次將工件托架放入超聲波清洗槽，再超聲5分鐘；超聲結(jié)束之后，取出工件托架，再用純水沖洗I分鐘，從工件架上取下一件工件，放入離心甩干機(jī)，將工件一件一件甩干，放入培養(yǎng)皿。重復(fù)該過(guò)程，甩干全部工件并放入培養(yǎng)皿；最后對(duì)工件按技術(shù)要求進(jìn)行抽檢。利用這種機(jī)械拋光的方法對(duì)光電陰極輸入窗進(jìn)行清洗，雖然能夠達(dá)到零件的技術(shù)要求。但此種方法耗費(fèi)時(shí)間較長(zhǎng),工作效率低下,成本高,遠(yuǎn)不適應(yīng)大批量生產(chǎn)的需求。同時(shí)由于使用拋光粉，對(duì)環(huán)境也產(chǎn)生一定的污染
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要任務(wù)和目的是，根據(jù)現(xiàn)行的對(duì)微光像增強(qiáng)器多堿光電陰極輸入窗表面機(jī)械拋光的清洗方法所存在的缺陷，研制一種采用等離子清潔技術(shù)，對(duì)微光像增強(qiáng)器多堿光電陰極玻璃輸入窗和光纖面板輸入窗的表面進(jìn)行清洗，從根本上服原方法只能單件操作，工作效率低下，成本高，影響環(huán)境等不足。達(dá)到有效地保證光電陰極質(zhì)量，提高效率，完全適應(yīng)現(xiàn)代微光像增強(qiáng)器大批量生產(chǎn)的需求。本發(fā)明的主要技術(shù)方案是:對(duì)微光像增強(qiáng)器光電陰極玻璃輸入窗和光纖面板輸入窗表面進(jìn)行等離子清洗，其工藝流程:
A、配制洗滌液。將一定量的洗滌劑放入不銹鋼桶中，之后向桶中注入一定量的純水并進(jìn)行充分混合，形成洗滌液，純水與洗滌劑比例為體積比100:1，即濃度為1%;
B、清洗工件。手拿干凈海綿,沾洗滌液輕輕擦洗工件的外表面,每件工件約數(shù)秒鐘,之后放入工件托架，重復(fù)該過(guò)程直至清洗完一批工件；
C、沖洗工件。用純水沖洗工件及工件架I分鐘，之后放入裝有干凈純水的不銹鋼桶中；
D、超聲波清洗。將不銹鋼桶放入超聲波清洗槽，超聲5分鐘；
E、再?zèng)_洗工件。超聲結(jié)束之后，取出工件托架，再用純水沖洗I分鐘；
F、甩干工件。從工件架上取下一件工件，放入離心甩干機(jī)，將工件甩干，放入培養(yǎng)皿。重復(fù)該過(guò)程，并將甩干工件一一裝入專(zhuān)用固定墊中；
G、工件裝機(jī)。將裝有工件的專(zhuān)用固定墊裝入等離子清洗機(jī)的石英管中，關(guān)好石英管密封門(mén)；
H、調(diào)節(jié)氬氣壓力。打開(kāi)氬氣減壓閥,使輸出氬氣壓力達(dá)到0.1MPa ；
1、等離子清洗。啟動(dòng)等離子清洗機(jī)運(yùn)行程序，首先對(duì)石英腔體進(jìn)行抽真空達(dá)10—4乇，接著對(duì)石英腔體充入氬氣，使石英管腔體內(nèi)的壓力控制在10 —2乇，之后啟動(dòng)輝光放電，對(duì)工件進(jìn)行等離子清洗7分鐘；
J、結(jié)束程序。關(guān)掉氬氣，在石英腔體中充入氮?dú)?，?dāng)石英腔體中的壓力恢復(fù)到大氣壓時(shí)，打開(kāi)石英腔體門(mén)，取出專(zhuān)用固定墊，將工件從專(zhuān)用固定墊上一一取出，放入培養(yǎng)皿中；
K、檢驗(yàn)。根據(jù)批次和數(shù)量，對(duì)工件進(jìn)行抽檢，用針筒將純水滴在工件表面，純水迅速散開(kāi)或散開(kāi)消失，說(shuō)明工件合格，如果純水仍然保持水滴的形狀不會(huì)散開(kāi)，則工件不合格，說(shuō)明工件表面存在一層化學(xué)殘留物和其它雜質(zhì)。若出現(xiàn)不合格的現(xiàn)象需加倍抽檢或進(jìn)行全部檢驗(yàn)，將不合格的工件(4)按工序重新清潔。本發(fā)明通過(guò)試用證明:完全達(dá)到研制目的，與傳統(tǒng)的機(jī)械拋光清洗方法相比，效率提高了 5倍以上，成本降低了 70%，對(duì)環(huán)境無(wú)污染，工件在該道工序的合格率基本上達(dá)到100%，完全適應(yīng)大批量生產(chǎn)的需求。為我公司乃至該行業(yè)內(nèi)解決了一大技術(shù)難題。


下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)地描述。圖1，是微光像增強(qiáng)器的主要結(jié)構(gòu)示意圖。圖2，是微光像增強(qiáng)器的多堿光電陰極光纖面板輸入窗示意圖。圖3，是本發(fā)明的工藝流程圖。圖4，是本發(fā)明專(zhuān)用固定墊3及工件4的安裝位置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式 參照?qǐng)D1、2、3、4，對(duì)本發(fā)明的主要技術(shù)方案進(jìn)行說(shuō)明:微光像增強(qiáng)器光電陰極玻璃輸入窗I和光纖面板輸入窗2的表面進(jìn)行等離子清洗，其具體工藝流程同上。所述的等離子清洗機(jī)為:⑶R-1OPR型，主要參數(shù):頻率13.56MHz，功率300W，市場(chǎng)可購(gòu)置；洗滌劑為:RBS_25型濃縮中性洗滌劑，市場(chǎng)可購(gòu)置；超聲波清洗機(jī)為:1012S型，市場(chǎng)可購(gòu)置；專(zhuān)用固定墊3(見(jiàn)圖4):根據(jù)等離子清洗的特點(diǎn)自行設(shè)計(jì)的安裝工具，其結(jié)構(gòu)由臺(tái)階柱(3-2)在底板(3-1)面上，按工件4 (輸入窗)的外徑大小排列組裝而成。
權(quán)利要求
1.一種用于微光像增強(qiáng)器光電陰極輸入窗的清潔方法，含工序C沖洗工件、D超聲波清洗、E再?zèng)_洗工件、F甩干工件，其特征在于:微光像增強(qiáng)器光電陰極玻璃輸入窗(I)和光纖面板輸入窗(2)的表面進(jìn)行等離子清洗的具體工藝流程: A、配制洗滌液，將一定量的洗滌劑放入不銹鋼桶中，之后向桶中注入一定量的純水并進(jìn)行充分混合，形成洗滌液，純水與洗滌劑比例為體積比100:1，即濃度為1% ； B、清洗工件，手拿干凈海綿，沾洗滌液輕輕擦洗工件(4)的外表面，每件工件約數(shù)秒鐘，之后放入工件托架，重復(fù)該過(guò)程直至清洗完一批工件； C、沖洗工件，用純水沖洗工件(4)及工件架I分鐘，之后放入裝有干凈純水的不銹鋼桶中； D、超聲波清洗，將不銹鋼桶放入超聲波清洗槽，超聲5分鐘； E、再?zèng)_洗工件，超聲結(jié)束之后，取出工件托架，再用純水沖洗I分鐘； F、甩干工件，從工件架上取下一件工件(4)，放入離心甩干機(jī)，將工件甩干，放入培養(yǎng)皿，重復(fù)該過(guò)程，并將甩干工件一一裝入專(zhuān)用固定墊(3)中； G、工件裝機(jī)，將裝有工件(4)的專(zhuān)用固定墊(3)裝入等離子清洗機(jī)的石英管中，關(guān)好石英管密封門(mén)； H、調(diào)節(jié)氬氣壓力，打開(kāi)氬氣減壓閥,使輸出氬氣壓力達(dá)到0.1MPa ； 1、等離子清洗，啟動(dòng)等離子清洗機(jī)運(yùn)行程序，首先對(duì)石英腔體進(jìn)行抽真空達(dá)10—4乇，接著對(duì)石英腔體充入氬氣，使石英管腔體內(nèi)的壓力控制在10 —2乇，之后啟動(dòng)輝光放電，對(duì)工件(4)進(jìn)行等離子清洗7分鐘； J、結(jié)束程序，關(guān)掉氬氣，在石英腔體中充入氮?dú)?，?dāng)石英腔體中的壓力恢復(fù)到大氣壓時(shí)，打開(kāi)石英腔體門(mén)，取出專(zhuān)用固定墊(3 )，將工件(4)從專(zhuān)用固定墊(3 )上一一取出，放入培養(yǎng)皿中； K、檢驗(yàn)，根據(jù)批次和數(shù)量，對(duì)工件(4)進(jìn)行抽檢，用針筒將純水滴在工件表面，純水迅速散開(kāi)或散開(kāi)消失，說(shuō)明工件合格，如果純水仍然保持水滴的形狀不會(huì)散開(kāi)，則工件不合格，說(shuō)明工件表面存在一層化學(xué)殘留物和其它雜質(zhì)，若出現(xiàn)不合格的現(xiàn)象需加倍抽檢或進(jìn)行全部檢驗(yàn)，將不合格的工件(4)按工序重新清潔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于微光像增強(qiáng)器光電陰極輸入窗的清潔方法，其特征在于:專(zhuān)用固定墊(3)由臺(tái)階柱(3-2)在底板(3-1)面上，按工件(4)的外徑大小排列組裝而成。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于微光像增強(qiáng)器光電陰極輸入窗的清潔方法，主要用于微光像增強(qiáng)器光電陰極玻璃輸入窗和光纖面板輸入窗的表面清潔。其主要技術(shù)方案是研制一種采用等離子清潔技術(shù)，對(duì)像增強(qiáng)器光電陰極輸入窗的表面進(jìn)行清洗，其工藝流程由配制洗滌液、清洗工件、沖洗工件、超聲波清洗、再?zèng)_洗工件、甩干工件、工件裝機(jī)、調(diào)節(jié)氬氣壓力、等離子清洗、結(jié)束程序及檢驗(yàn)組成。本發(fā)明通過(guò)試用證明完全達(dá)到研制目的，從根本上服原方法工作效率低下，成本高，影響環(huán)境等不足。有效地保證了光電陰極的質(zhì)量，提高效率，完全適應(yīng)現(xiàn)代微光像增強(qiáng)器大批量生產(chǎn)的需求。
文檔編號(hào)B08B7/04GK103191889SQ20121000256
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月6日
發(fā)明者李曉峰 申請(qǐng)人:北方夜視技術(shù)股份有限公司