專利名稱：玻璃基板刻劃方法
技術領域：
本發明涉及玻璃基板刻劃方法，特別是涉及對在表面形成有強化層的強化玻璃進行刻劃的玻璃基板刻劃方法。
背景技術：
作為在玻璃基板上形成用于分割的刻劃槽的方法，有使用激光來形成的方法。此時，通過沿著刻劃預定線來照射激光而使基板的一部分溶解、蒸發，來形成刻劃槽。但是，在該方法中，有時被溶解、蒸發的基板的一部分附著在基板表面上，伴隨而來的是質量的惡化。另外，在被溶解、蒸發的部分上形成的斑痕成為降低基板端面強度的原因。 作為其他的刻劃槽形成方法，存在如在專利文獻I或2中公開的方法。此處，在作為玻璃基板的刻劃槽起點的地方，形成有初始龜裂，對該初始龜裂照射激光。由此，在激光照射部分產生熱應カ，龜裂發展而形成刻劃槽。另外，在專利文獻3中公開有用于改善被分割的基板的截面處的直角度及直進性的激光刻劃方法。此處，在沿著刻劃預定線在基板上形成刻劃槽時，在刻劃預定線的終端附近，形成沒有形成有刻劃槽的區域。專利文獻專利文獻I日本特開平3-489號公報專利文獻2日本特開平9-1370號公報專利文獻3日本再公表特許2007/094348號公報但是，最近的FPD (平板顯示器)業界強調基板端面的強度，因此作為玻璃基板，主要使用在表面形成有強化層的化學強化玻璃。該化學強化玻璃具有通過離子交換處理而使表面具有壓縮應カ的層(強化層)，最近，特別是在要求端面強度的觸摸面板等防護玻璃中應用。如上所述的強化玻璃，耐久性高且很難受損。因此，很難在強化玻璃的端面上穩定地形成初始龜裂并形成刻劃槽。例如，在初始龜裂的深度淺時，不會形成刻劃槽。并且，相反，當初始龜裂過深吋，不能使初始龜裂沿著刻劃預定線發展，不能形成期望的刻劃槽。另外，如上所述的強化玻璃在表面具有很強的壓縮應力，在內部具有拉伸應力。因此，當利用以往的方法對強化玻璃照射激光而形成刻劃槽時，龜裂主要是以在激光的掃描開始側的基板端面上形成的刻劃槽(龜裂)為起點，在整個厚度方向上發展的情況較多。如上所述，當龜裂在基板的整個深度上形成時，基板沿著刻劃線自然地被分離(以下，將基板通過刻劃而被完全分割的情況記為“全切”)。在如上所述的情況中，交叉刻劃エ序、即沿著與之前的刻劃線垂直的刻劃線形成刻劃槽的エ序變得非常困難。

發明內容
本發明的目的在干，能夠比較容易且穩定地對表面被強化的強化玻璃形成期望的刻劃槽。
本發明的另一目的在于，在對表面被強化的強化玻璃形成刻劃槽時能夠防止全切，而容易地將玻璃基板分割為期望的形狀。第I發明的對強化玻璃進行刻劃的玻璃基板刻劃方法,該強化玻璃的表面具備帶有壓縮應力的強化層，其中，所述刻劃方法包括第I步驟和第2步驟。在第I步驟中，在強化玻璃的表面，去除強化層而形成初始龜裂。在第2步驟中，在對初始龜裂照射激光進行加熱的同時，對被加熱的區域進行冷卻，使龜裂沿著刻劃預定線發展。此處，在強化玻璃的表面上，形成超過強化層深度的初始龜裂。之后，對初始龜裂照射激光進行加熱，并且對被加熱的區域進行冷卻。由此，初始龜裂沿著刻劃預定線發展。此處，形成超過強化層深度的初始龜裂，從而能夠比較容易、穩定地形成期望的刻劃槽。第2發明的玻璃基板刻劃方法是在第I發明的刻劃方法中，在第I步驟中，初始龜裂的深度為強化玻璃的強化層厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。此處，在初始龜裂的深度不足強化玻璃的強化層厚度的I. 14倍時，強化層會殘留，即使進行后續步驟中的基于激光照射的加熱處理及冷卻處理，龜裂也不會發展，很難形成刻劃槽。另ー方面，在初始龜裂的深度超過強化層厚度的I. 67倍時，通過后續步驟中的加熱及冷卻，龜裂會在期望之外地向不同于形成有刻劃線方向的方向進展，很難形成期望的刻劃槽。因此，在本發明中，使初始龜裂的深度成為強化玻璃的強化層厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。因此，能夠穩定地形成期望的刻劃槽。第3發明的玻璃基板刻劃方法是在第2發明的刻劃方法中，在第I步驟中，初始龜裂的深度不超過強化玻璃的整個厚度的5. 4%。如上所述，即使初始龜裂的深度為強化層的I. 14 I. 67倍，在玻璃基板整體的厚度薄的情況下，當初始龜裂形成得很深吋，龜裂有時也不會沿著刻劃預定線來發展。因此，在本發明中，使初始龜裂的深度不超過強化玻璃的整個厚度的5. 4%。因此，能夠穩定地形成期望的刻劃槽。第4發明的對強化玻璃進行刻劃的玻璃基板刻劃方法，該強化玻璃的表面具備帶有壓縮應力的強化層，其中，所述刻劃方法包括第I步驟和第2步驟。在第I步驟中，在刻劃預定線的掃描開始側的玻璃基板端面內側的規定距離處的強化玻璃的表面，形成初始龜裂。在第2步驟中，在除了掃描開始側的端部區域，從初始龜裂沿著刻劃預定線照射激光進行加熱的同時，對被加熱的區域進行冷卻，使龜裂沿著刻劃預定線發展。此處，在強化玻璃的表面形成初始龜裂，之后對初始龜裂照射激光進行加熱，并且冷卻被加熱的區域。由此，初始龜裂沿著刻劃預定線發展。此時，從刻劃預定線的掃描開始側的玻璃基板端面到內側的規定距離處的強化玻璃的表面，形成初始龜裂，從該初始龜裂開始激光的照射。即，在從激光的掃描開始側的玻璃端面到初始龜裂為止的端部區域，不進行基于激光的加熱及加熱區域的冷卻處理。如以上所述，由于在激光的掃描開始側的端部區域上不照射激光，因此能夠避免在使用以往方法來對強化玻璃進行刻劃時產生的基板的自然分離。因此，容易進行例如交叉刻劃等之后的加工步驟。
第5發明的玻璃基板刻劃方法是在第4發明的刻劃方法中，在強化玻璃的表面，反射激光的反射膜形成于刻劃預定線的掃描開始側的端部區域。并且，第2步驟是對形成有反射膜的強化玻璃的表面執行處理在形成不照射激光的區域吋，能夠通過使激光振蕩的接通/斷開控制與光學系統等的移動同步來形成。但是，如本發明所示，通過在不照射激光的區域上形成反射膜，從而能夠更容易地實施第2步驟。另外，作為反射膜，可以考慮反射激光的金屬圖案膜、ITO膜
坐寸o第6發明的玻璃基板刻劃方法是在第4或第5發明的刻劃方法中，在第2步驟中，從刻劃預定線的掃描結束側的玻璃基板端面到內側的規定距離處為止的端部區域，停止基于激光照射的加熱及加熱區域的冷卻。此處，除了掃描開始側的端部區域以外，對掃描結束側的端部區域也不照射激光。因此，能夠更可靠地避免基板的自然分離。第7發明的玻璃基板刻劃方法是在第6發明的刻劃方法中，第2步驟是通過在刻劃預定線的掃描開始側及掃描結束側的端部區域，形成反射激光的反射膜來實施。此處，與上述同樣地，通過在不照射激光的區域上形成反射膜，從而能夠更容易地實施第2步驟。第8發明的玻璃基板刻劃方法是在第4至第7發明的任意ー個的刻劃方法中，在第I步驟中，初始龜裂的深度為強化玻璃的強化層厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。此處，與第2發明同樣，能夠穩定地形成期望的刻劃槽。第9發明的玻璃基板刻劃方法是在第8發明的刻劃方法中，在第I步驟中，初始龜裂的深度不超過強化玻璃的整個厚度的5. 4%。此處，與第3發明同樣，能夠穩定地形成期望的刻劃槽。發明效果如以上所述，在本發明中，能夠比較容易地穩定地對表面被強化的強化玻璃形成期望的刻劃槽。另外，在另ー觀點的發明中，在對表面被強化的強化玻璃形成刻劃槽時能夠防止全切，而容易地將玻璃基板分割為期望的形狀。


圖I是用于實施本發明的第I實施方式的刻劃方法的裝置的示意結構圖。圖2是用于實施本發明的第2實施方式的刻劃方法的裝置的示意結構圖。圖3是表示在通過以往方法實施了刻劃時，基板自然分離的樣子的圖。圖4是表示在實施了基于本發明的一個實施方式的刻劃方法時的評價的圖。圖5是表示用于對厚度為0. 55mm的強化玻璃形成初始龜裂的擠壓負載與初始龜裂之間的關系及刻劃結果的圖。圖6是形成有初始龜裂的強化玻璃的一部分的放大剖面圖。圖7是表示用于對厚度為0. 7mm的強化玻璃形成初始龜裂的擠壓負載與初始龜裂之間的關系及刻劃結果的圖。圖8是表不用于對厚度為I. Imm的強化玻璃形成初始龜裂的擠壓負載與初始龜裂之間的關系及刻劃結果的圖。
符號說明I :刻劃裝置；G :玻璃基板；LB :激光光束；LS:光束點；
SLl SL5 :刻劃預定線；CP :冷卻點；RCl RC4:反射膜。
具體實施例方式[裝置結構]圖I是表示用于實施本發明的一個實施方式的方法的刻劃裝置的示意結構的圖。刻劃裝置I是例如用于將母玻璃基板分割為在FPD(平板顯示器)中使用的多個玻璃基板的裝置。關于此處的玻璃基板，主要使用表面形成有強化層的化學強化玻璃。如上所述，該化學強化玻璃具有通過離子交換處理而在表面具有壓縮應力的強化層。刻劃裝置I具有向玻璃基板G照射激光光束的照射部2、冷卻部3、及未圖示的移動部。冷卻部3通過噴嘴4噴射從未圖示的制冷劑源供給的制冷劑，形成冷卻點CP。移動部使照射部2及冷卻部3的噴嘴4沿著設定于玻璃基板G的刻劃預定線SLl SL5，與玻璃基板G之間進行相對移動。照射部2具有激光振蕩器(例如，CO2激光器)，其照射激光光束LB,通過光學系統將該激光光束LB照射在玻璃基板G上形成光束點LS。另外，此處雖然未圖示，但是設置有初始龜裂形成単元，其用于在玻璃基板G的端部形成作為刻劃起點的初始龜裂。作為初始龜裂形成単元，雖然使用壓頭或刀輪等機械エ具，但是也可以通過激光消融加工來形成初始龜裂。[刻劃方法]-第I實施方式_首先，如圖I所示，使用刀輪等初始龜裂形成単元，在玻璃基板G的端部形成作為刻劃起點的初始龜裂TR。此時，初始龜裂的深度被設為去除了形成在強化玻璃表面的具有壓縮應力的強化層程度的深度。具體地講，初始龜裂的深度被設為強化層厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下的深度。接著，從照射部I對玻璃基板G照射激光光束LB。該激光光束LB作為光束點LS照射到玻璃基板G上。并且，使得從照射部I射出的激光光束LB沿著刻劃預定線SL與玻璃基板G相對移動。通過光束點LS玻璃基板G被加熱到比玻璃基板G的軟化點低的溫度。另外，使冷卻點CP追隨在光束點LS的移動方向的后方。由此，雖然在通過激光光束LB的照射而被加熱的光束點LS的附近產生了壓縮應力，但是由于在剛產生壓縮應カ之后，通過制冷劑的噴射而形成冷卻點CP，因此產生對垂直裂痕的形成有效的拉伸應力。通過該拉伸應力，以形成在玻璃基板G端部的初始龜裂TR為起點，形成沿著刻劃預定線SL的垂直裂痕，形成期望的刻劃槽。-第2實施方式-
首先，如圖2所示，準備在4邊端部區域形成有反射激光的反射膜RCl RC4的玻璃基板G。反射膜RCl形成于在執行沿著刻劃預定線SL1、SL2來形成刻劃槽的處理(以下，記為刻劃處理)時激光照射的掃描開始側的端部區域。反射膜RC2形成于在沿著刻劃預定線SL1、SL2執行刻劃處理時激光照射的掃描結束側的端部區域。另外，反射膜RC3形成于在沿著刻劃預定線SL3、SL4、SL5執行刻劃處理時激光照射的掃描開始側的端部區域，反射膜RC4形成于在沿著刻劃預定線SL3、SL4、SL5執行刻劃處理時激光照射的掃描結束側的端部區域。另外，形成在掃描開始側的端部區域的反射膜RC1、RC3的寬度優選為3mm 5mm。另外，形成在掃描結束側的端部區域的反射膜RC2、RC4的寬度優選為8mm 20mm。接著，使用刀輪等初始龜裂形成単元，在玻璃基板G的端部形成作為刻劃起點的初始龜裂TR。此時，初始龜裂的位置與反射膜鄰接且位于其內側。另外，初始龜裂的深度被設為去除了形成在強化玻璃的表面的具有壓縮應力的強化層程度的深度。具體地講，初始龜裂的深度被設為強化層厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下的深度。 接著，從照射部I對玻璃基板G照射激光光束LB。該激光光束LB作為光束點LS照射到玻璃基板G上。并且，使得從照射部I射出的激光光束LB沿著各刻劃預定線SLl SL5而與玻璃基板G相對移動。此時，由于在掃描開始側及掃描結束側的端部區域形成有反射膜RCl RC4，因此在這些端部區域中，激光光束LB被反射而不會照射到玻璃基板G。因此，在形成有這些反射膜RCl RC4的區域中，玻璃基板G不會被加熱。在未形成反射膜RCl RC4的區域中，玻璃基板G被光束點LS加熱到比玻璃基板G的軟化點低的溫度。另外，通過使冷卻點CP追隨在光束點LS的移動方向的后方，從而對被加熱的區域進行冷卻。由此，雖然在通過激光光束LB的照射而被加熱的光束點LS的附近產生壓縮應力，但是由于在剛產生壓縮應カ之后，通過制冷劑的噴射而形成冷卻點CP，因此產生對垂直裂痕的形成有效的拉伸應力。通過該拉伸應力，以形成在玻璃基板G的端部的初始龜裂TR為起點，形成沿著刻劃預定線SL的垂直裂痕，形成期望的刻劃槽。并且，在沒有照射激光光束LB的端部區域中，龜裂不進展，或者即使龜裂進展也僅是很淺的區域。在如上所述的刻劃方法中，龜裂不會從初始龜裂開始在玻璃基板G的整個深度上發展，能夠防止基板自然而然地分割開來。[與玻璃基板的分割有關的驗證]〈現有例的實驗例〉圖3中示出了現有的方法，即不形成反射膜而從刻劃預定線的開始端到結束端進行了激光加熱及冷卻時的例子。基板是整體厚度為0. 7mm、強化層的厚度為18 y m的強化玻璃。另外，激光光束的條件是激光輸出為200W、掃描速度為200mm/sec。另外，在圖3中，沒有示出玻璃基板的端部區域。圖3 (a)是剛刻劃之后的狀態。此處，刻劃線(刻劃槽)處于不在基板的整個深度上發展的狀態(以下，將該狀態記為“半切”)，在圖中用細線來表示。圖3(b)是從刻劃處理開始起5秒之后的狀態。此處，從刻劃的開始點側(圖中的右側)到圖的中央附近為止刻劃線被全切(在圖中用粗線表示)。圖3(c)是從刻劃處理開始起20秒之后的狀態。此處，在圖中表示的所有部分，刻劃線被全切(在圖中用粗線表示)。如上所述，在從刻劃預定線的開始端到結束端為止的所有位置進行了激光加熱及冷卻時,基板會自然而然地被分割(被全切)。〈實施例及比較例〉圖4示出了包含利用第2實施方式的刻劃方法來進行了刻劃處理的例子的驗證結果。此處，作為對象的玻璃基板與圖3所示的比較例相同。另外，激光光束的條件也與圖3所示的比較例相同。在圖4中，“基板開始邊緣”意味著刻劃(掃描)開始側的基板端部，“基板結束邊緣”意味著刻劃(掃描)結束側的基板端部。另外，“遮蔽”意味著反射膜。“n/5”表示進行5次刻劃處理，n次實現不全切而是半切的刻劃處理。另外，在這些例子中，初始龜裂形成在位于刻劃(掃描)開始側的基板端面的內側 IOmm的位置處。并且，遮蔽的條件如下。“基板開始邊緣當遮蔽初始龜裂吋，由于龜裂不發展，因此遮蔽了從刻劃(掃描)開始側的基板端面開始5mm的范圍，以不遮蔽初始龜裂。“基板結束邊緣遮蔽了從刻劃(掃描)結束側的基板端面開始IOmm的范圍。另夕卜，關于結束側的遮蔽，在寬度為5mm程度吋，龜裂有時會自然而然地發展到端面部，從此處開始成為全切。因此，優選不成為全切的刻劃(掃描)結束側的遮蔽寬度為8mm以上。在該圖4的實驗中，通過將鋁帶附到基板表面來作為反射膜。以如上所述的條件，對從玻璃基板的端部到端部為止的整條線照射了激光光束。<實驗例及比較例的總結>從圖4的驗證可知，在至少不對刻劃開始側的端部區域照射激光光束(使得激光光束進行反射)時，能夠以40%的概率來實現半切的刻劃。并且，在除刻劃開始側以外，還遮蔽了刻劃結束側時，能夠以100%的概率來實現半切的刻劃。另ー方面，在不遮蔽刻劃開始側而僅遮蔽了刻劃結束側時，能夠實現半切的刻劃的概率減少為20%。另外，在沒有在雙方的端部區域上進行遮蔽的情況下，不能進行半切的刻劃，而成為全切，這ー點在圖3中也進行了示出。[與初始龜裂有關的研究]接著，在以下示出與初始龜裂的深度有關的實驗例。<實驗例1>圖5示出了對整體厚度為0. 55mm、強化層的厚度為18 y m的強化玻璃形成了刻劃槽的實驗例I。具體地講，圖5在示出初始龜裂形成時的工具(壓頭)對玻璃的按壓負載與此時的槽深度之間的關系的同時，示出基于之后的激光加熱及冷卻處理的刻劃結果。用于此時的加熱處理的激光輸出為200W、加工速度為230mm/SeC。另外，冷卻條件是，在光束后端的高度為4_的位置處配置冷卻噴嘴，將冷卻水及空氣噴出到被光束點加熱的部分。從該實驗例I可知，如果初始龜裂的槽深度為19 30 U m(強化層厚度的I. 05 I. 67倍)，則沿著刻劃預定線形成期望的刻劃槽。并且可知，在槽深度小于19 y m時，龜裂不會可靠地發展(不穩定)，并且當超過30 y m時會發生破損而在刻劃預定線以外形成龜裂
另外，圖6示出了初始龜裂的槽深度的例子。如該圖6所示，將到確保規定面積的最深的部分為止的深度設為“槽深度”，忽視掉一部分急進地到達深部的龜裂。[實驗例2]圖I示出了對整體厚度為0. 7_且強化層的厚度為21 ii m的強化玻璃形成了刻劃槽的實驗例2。圖的橫軸與縱軸的關系與圖5相同。另外，用于進行此時的加熱處理的激光輸出為200W、加工速度為170mm/sec。另外，冷卻條件與實驗例I相同。從該實驗例2可知，如果初始龜裂的槽深度為約24 50iim(強化層厚度的
I.14 2. 38倍)，則沿著刻劃預定線形成期望的刻劃槽。并且可知，在槽深度小于24 y m時龜裂不會可靠地發展(不穩定)，并且當超過50 y m時會發生破損而在刻劃預定線以外形成龜裂。另外，如果擠壓負載為約6 24N，則即使槽深度超過50 u m,也能夠形成期望的刻劃槽，但是當僅關注槽深度時，妥當的初始龜裂的槽深度為約24 50 ii m。[實驗例3]圖8示出了對整體厚度為I. Imm且強化層的厚度為34 y m的強化玻璃形成了刻劃槽的實驗例3。圖的橫軸與縱軸的關系與圖5相同。另外，用于進行此時的加熱處理的激光輸出為200W、加工速度為170mm/sec。另外，冷卻條件與實驗例I相同。從該實驗例3可知，如果初始龜裂的槽深度為約24 60iim(強化層厚度的
0.71 I. 76倍)，則沿著刻劃預定線形成期望的刻劃槽。并且，在槽深度過淺時龜裂不發展，并且當超過60 y m吋，龜裂發展不穩定。另外，與實驗例2相同，如果擠壓負載為約6N 24N，則即使槽深度超過60 u m,也能夠形成期望的刻劃槽，但是僅關注槽深度時，妥當的初始龜裂的槽深度為約24 60 ii m。[總結]從以上可知，為了沿著刻劃預定線形成期望的刻劃槽，初始龜裂的深度優選為強化玻璃的強化層厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。另外，優選初始龜裂的深度在玻璃板厚為0. 55mm時為30iim(5. 5% )以下、在玻璃板厚為0. 7mm時為50 y m(7. I % )以下、在玻璃板厚為I. Imm時為60 Um(5. 4% )以下。這表示初始龜裂的深度優選為玻璃的板厚的
5.4%以下。[特征](I)在第2實施方式中，由于不對刻劃線的掃描開始側及掃描結束側的端部區域照射激光，因此能夠實現基板的半切，能夠避免基板的自然分離。因此，容易進行交叉刻劃等后續的加工步驟。(2)在第2實施方式中，作為使激光光束照射不到的手段，在基板的兩端部區域形成反射膜，因此能夠容易形成激光光束的非照射區域。(3)在形成初始龜裂吋，由于使初始龜裂的深度為強化玻璃的強化層厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下，因此能夠穩定地形成期望的刻劃槽。(4)由于使初始龜裂的深度成為強化玻璃的整個厚度的5. 4%以下，因此能夠抑制龜裂向不期望的方向發展。[其他的實施方式]本發明不限定于如上所述的實施方式，在不脫離本發明的范圍內，能夠進行各種變形或修正。在上述第2實施方式中，雖然是在基板上形成反射膜來形成激光光束的非照射區 域，但是也可以是在各端部區域中斷開激光振蕩來形成激光光束的非照射區域。
權利要求
1.一種對強化玻璃進行刻劃的玻璃基板刻劃方法，該強化玻璃的表面具備帶有壓縮應力的強化層，其中，所述刻劃方法包括 第I步驟，在所述強化玻璃的表面，去除強化層而形成初始龜裂；以及第2步驟，在對所述初始龜裂照射激光進行加熱的同時，對被加熱的區域進行冷卻，使龜裂沿著刻劃預定線發展。
2.根據權利要求I所述的玻璃基板刻劃方法，其中， 在所述第I步驟中，初始龜裂的深度為強化玻璃的強化層厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。
3.根據權利要求2所述的玻璃基板刻劃方法，其中， 在所述第I步驟中，初始龜裂的深度不超過強化玻璃的整個厚度的5. 4%。
4.一種對強化玻璃進行刻劃的玻璃基板刻劃方法，該強化玻璃的表面具備帶有壓縮應力的強化層，其中，所述刻劃方法包括 第I步驟，在刻劃預定線的掃描開始側的玻璃基板端面內側的規定距離處的強化玻璃的表面，形成初始龜裂；以及 第2步驟，在除了所述掃描開始側的端部區域以外，從所述初始龜裂沿著刻劃預定線照射激光進行加熱的同時，對被加熱的區域進行冷卻，使龜裂沿著刻劃預定線發展。
5.根據權利要求4所述的玻璃基板刻劃方法，其中， 在所述強化玻璃的表面，反射激光的反射膜形成于刻劃預定線的掃描開始側的端部區域， 所述第2步驟是對形成有所述反射膜的強化玻璃的表面執行處理。
6.根據權利要求4或5所述的玻璃基板刻劃方法，其中， 在所述第2步驟中，在從刻劃預定線的掃描結束側的玻璃基板端面到內側的規定距離處為止的端部區域，停止基于激光照射的加熱及加熱區域的冷卻。
7.根據權利要求6所述的玻璃基板刻劃方法，其中， 在所述強化玻璃的表面上，在刻劃預定線的掃描開始側及掃描結束側的端部區域分別形成有反射激光的反射膜， 所述第2步驟是對形成有所述反射膜的強化玻璃的表面執行處理。
8.根據權利要求4或5所述的玻璃基板刻劃方法，其中， 所述第I步驟中的初始龜裂的深度為強化玻璃的強化層厚度的I. 14倍以上且在I. 67倍以下。
9.根據權利要求8所述的玻璃基板刻劃方法，其中， 在所述第I步驟中，初始龜裂的深度不超過強化玻璃的整個厚度的5. 4%。
全文摘要
本發明提供一種玻璃基板刻劃方法。在對表面被強化的強化玻璃形成刻劃槽時，能夠防止全切而容易地將玻璃基板分割為期望的形狀。該刻劃方法是對在表面具備帶有壓縮應力強化層的強化玻璃進行刻劃的方法，該方法包括第1步驟和第2步驟。在第1步驟中，在位于刻劃預定線的掃描開始側的玻璃基板端面內側的規定距離處的強化玻璃表面形成初始龜裂。在第2步驟中，在除了掃描開始側及掃描結束側的端部區域以外，從初始龜裂沿著刻劃預定線照射激光而加熱的同時，冷卻被加熱的區域，使龜裂沿著刻劃預定線發展。
文檔編號C03B33/09GK102643019SQ201210034230
公開日2012年8月22日 申請日期2012年2月15日 優先權日2011年2月17日
發明者山本幸司, 蘇宇航 申請人:三星鉆石工業股份有限公司