專利名稱：一種可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平板顯示領(lǐng)域，尤其涉及到一種可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設(shè)備。
背景技術(shù)：
如圖I所示加熱器為現(xiàn)有技術(shù)中的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中由箱體I、基片架2、加熱器3、導(dǎo)桿4、傳動(dòng)輪5構(gòu)成。目前的鍍膜設(shè)備采用雙面鍍膜的方式，設(shè)備有正反兩面區(qū)分，設(shè)備兩邊同時(shí)裝有 靶材，且裝載玻璃的基片架也分正反兩面，加熱器裝在真空室中心位置，上下為一個(gè)整體式，采用吊裝方式懸空掛起，在鍍膜過程中，在基片架的正反面分別裝載玻璃，鍍膜時(shí)裝有玻璃的基片架在真空室內(nèi)行走，基片架的正反面分別位于中間加熱器的兩側(cè)，經(jīng)過靶區(qū)通過磁控濺射的方式進(jìn)行鍍膜，這種方式一次只能鍍玻璃的一面，如果玻璃的另外一面也需要鍍膜，則必須鍍完玻璃一面后，將鍍完一面的玻璃重新經(jīng)過清洗，然后再次經(jīng)過真空室進(jìn)行鍍膜，即鍍膜工序要重復(fù)兩次才能完成，這樣不但浪費(fèi)人力、財(cái)力、產(chǎn)量低而且玻璃經(jīng)過多次周轉(zhuǎn)后其良率也會(huì)大大下降，而且由于加熱器是整體式，如果基板受熱不均勻時(shí)，無法進(jìn)行局部溫度調(diào)整。因此現(xiàn)有技術(shù)相比較本發(fā)明而言存在以下不足之處①加熱器位于腔體中間位置，在基片架行走過程中，基片架兩側(cè)的玻璃分別位于加熱器的兩側(cè)，這樣每次只能完成玻璃基板一個(gè)表面的膜層制備；②每個(gè)腔體內(nèi)的加熱器上下為一整體式，對(duì)于玻璃基板出現(xiàn)的溫度不均勻現(xiàn)象，無法采取分段式控制的方式來調(diào)節(jié)溫度；③基片架的設(shè)計(jì)本身分正反兩面，在鍍膜過程中，玻璃基板分別裝載在基片架的兩側(cè)，對(duì)于需要一次性完成玻璃基板兩個(gè)表面的膜層制備工作時(shí)，該基片架無法調(diào)節(jié)，其功能比較單一。整個(gè)真空腔體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，一次只能完成玻璃基板單面的膜層制備，如果玻璃基板兩個(gè)表面均需要制備膜層，現(xiàn)有技術(shù)的做法只能是制備完玻璃基板一個(gè)表面的膜層后，將玻璃基板再重復(fù)第一次鍍膜的工序去完成第二面膜層的制備，這種工藝在第二次制備膜層的過程中，會(huì)對(duì)第一次膜層的性能有所影響，并且由于二次鍍膜會(huì)造成良率的下降，總體生產(chǎn)成本較高。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于提供了一種可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設(shè)備。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過以下方案來實(shí)現(xiàn)一種可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備，該可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備由箱體、基片架、加熱器、導(dǎo)桿、傳動(dòng)輪、上橫梁、下橫梁構(gòu)成，所述加熱器位于箱體兩側(cè)真空室壁上，沒有靶位的地方均設(shè)有加熱器，加熱器的數(shù)量是常規(guī)設(shè)計(jì)的I. 5倍，且加熱器采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻。所述基片架分別卡在上橫梁與下橫梁兩側(cè)，實(shí)現(xiàn)單面鍍膜。所述基片架改成位于上橫梁與下橫梁中間，用卡具卡住固定，實(shí)現(xiàn)雙面鍍膜。所述加熱器采用上、中、下分段式加熱。該可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備的正反兩面的靶位采用錯(cuò)位排布，可以避免兩邊同時(shí)濺射時(shí)，正對(duì)靶位之間的干擾。此發(fā)明可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設(shè)備是一種產(chǎn)量高、可同時(shí)完成基板兩面膜層的制備，適用于各種雙面膜產(chǎn)品，其制造成本遠(yuǎn)低于現(xiàn)有技術(shù)，通過真空腔體內(nèi)部結(jié)構(gòu)的改善，采取多功能基片架，其所生產(chǎn)產(chǎn)品不僅含蓋了現(xiàn)有技術(shù)，最主要的是解決了現(xiàn)有技術(shù)無法完成基板兩面同時(shí)鍍膜的缺陷，降低了雙面膜產(chǎn)品的生產(chǎn)成本尺寸，提 高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的良率，其設(shè)計(jì)思路具有領(lǐng)先地位。
以下結(jié)合附圖
對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)說明圖I為現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明單面鍍膜結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明雙面鍍膜結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖2、圖3所示可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設(shè)備，該可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設(shè)備由箱體I、基片架2、加熱器3、導(dǎo)桿4、傳動(dòng)輪5、上橫梁6、下橫梁7構(gòu)成，所述加熱器3位于箱體I兩側(cè)真空室壁上，如圖2所示傳動(dòng)輪5與下橫梁7連接，基片架2分別卡在上橫梁6與下橫梁7兩側(cè)，實(shí)現(xiàn)單面鍍膜，如圖3所示基片架2改成位于上橫梁6與下橫梁7中間，用卡具8卡住固定，實(shí)現(xiàn)雙面鍍膜，加熱器3采用上、中、下分段式加熱。針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本發(fā)明通過對(duì)設(shè)備和工藝的完善，采取了可調(diào)節(jié)式多功能基片架2，上、中、下分段式加熱器3，且加熱器3置于兩側(cè)的腔體室壁上等，能夠?qū)崿F(xiàn)玻璃兩面同時(shí)鍍膜，及雙面都要求鍍膜的產(chǎn)品可以一次性完成，節(jié)省了人力財(cái)力，大大提高了生產(chǎn)效率。加熱器3位于兩側(cè)真空室壁上，沒有靶位的地方均設(shè)有加熱器3，此種方式加熱器3的數(shù)量是常規(guī)設(shè)計(jì)的I. 5倍，且加熱器3采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻。基片架2具備多種功能，根據(jù)不同產(chǎn)品的要求可以調(diào)整基片架2來滿足，一方面該種基片架2可以實(shí)現(xiàn)設(shè)備兩邊同時(shí)上片鍍膜，即可以實(shí)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)的功能；另一方面通過對(duì)基片架2框架結(jié)構(gòu)的調(diào)整，可以實(shí)現(xiàn)玻璃基板兩面同時(shí)鍍膜的功能，即單片玻璃的雙面膜層的同步制備。正反兩面的靶位采用錯(cuò)位排布，可以避免兩邊同時(shí)濺射時(shí)，正對(duì)靶位之間的干擾。該設(shè)備的夾具拋棄了傳統(tǒng)的簡(jiǎn)單彈片式夾具，也不同于傳統(tǒng)的鑲嵌式夾具，對(duì)于超薄玻璃彈片式夾具會(huì)由于彈片彈性的不同影響玻璃的夾緊度，導(dǎo)致玻璃會(huì)出現(xiàn)由于夾不緊而掉片或者夾得過緊而有所彎曲的現(xiàn)象，最終都會(huì)導(dǎo)致玻璃破碎，傳統(tǒng)鑲嵌式夾具由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，無法調(diào)整，不適用不同厚度的玻璃，如果保證厚玻璃的夾緊效果，則無法保證薄玻璃的夾緊效果，導(dǎo)致薄玻璃由于夾不緊而在基片架2上晃動(dòng)，容易使玻璃因晃動(dòng)而破碎。新的夾具結(jié)合了以上兩種夾具的優(yōu)點(diǎn)，采用螺釘式彈簧夾具，與玻璃接觸部位采用圓點(diǎn)式接觸，對(duì)于不同厚度的玻璃利用彈簧的彈性來改善玻璃與夾具之間的距離，保證不管什么厚度的玻璃，夾具的圓點(diǎn)都能接觸到玻璃表面，保證玻璃都能夠夾緊。 此發(fā)明可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設(shè)備提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)不良率與生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求1.一種可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備，其特征在于該可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備由箱體(I)、基片架(2)、加熱器(3)、導(dǎo)桿(4)、傳動(dòng)輪(5)、上橫梁(6)、下橫梁(7)構(gòu)成，所述加熱器(3)位于箱體(I)兩側(cè)真空室壁上，沒有靶位的地方均設(shè)有加熱器(3)，加熱器(3)的數(shù)量是常規(guī)設(shè)計(jì)的I. 5倍，且加熱器(3)采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻。
2.按照權(quán)利要求I或2所述的可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設(shè)備，其特征在于所述基片架(2)分別卡在上橫梁￠)與下橫梁(7)兩側(cè)，實(shí)現(xiàn)單面鍍膜。
3.按照權(quán)利要求I或2所述的可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設(shè)備，其特征在于所述基片架(2)改成位于上橫梁(6)與下橫梁(7)中間，用卡具(8)卡住固定，實(shí)現(xiàn)雙面鍍膜。
4.按照權(quán)利要求I所述的可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜的多功能設(shè)備，其特征在于所述加熱器(3)采用上、中、下分段式加熱。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備，其特征在于該可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備的正反兩面的靶位采用錯(cuò)位排布，可以避免兩邊同時(shí)濺射時(shí)，正對(duì)靶位之間的干擾。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備，該可同時(shí)實(shí)現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備由箱體、基片架、加熱器、導(dǎo)桿、傳動(dòng)輪、上橫梁、下橫梁構(gòu)成，所述加熱器位于箱體兩側(cè)真空室壁上，沒有靶位的地方均設(shè)有加熱器，加熱器的數(shù)量是常規(guī)設(shè)計(jì)的1.5倍，且加熱器采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻，最主要的是解決了現(xiàn)有技術(shù)無法完成基板兩面同時(shí)鍍膜的缺陷，降低了雙面膜產(chǎn)品的生產(chǎn)成本尺寸，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的良率，其設(shè)計(jì)思路具有領(lǐng)先地位。
文檔編號(hào)C03C17/00GK202671420SQ20122022042
公開日2013年1月16日 申請(qǐng)日期2012年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月16日
發(fā)明者姜翠寧 申請(qǐng)人:深圳市正星光電技術(shù)有限公司