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一種精確控制硅片切片裝置的制作方法

文檔序號:12050754閱讀:301來源:國知局

本發(fā)明涉及硅片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種精確控制硅片切片裝置。



背景技術(shù):

由于硅元素是地殼中儲量最豐富的元素之一,硅片是光伏產(chǎn)業(yè)最重要的材料,通過在硅片上集成大量的晶體管形成微電子芯片。硅片一般都是由硅棒切割成片,現(xiàn)有的一般都是由人工手動(dòng)完成切割,切割效率低,而且切割精度也低,無法保證硅片質(zhì)量。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為了解決上述問題,本發(fā)明提供了一種精確控制硅片切片裝置,其能夠自動(dòng)實(shí)現(xiàn)硅片的切片操作,保證切割精度。

其技術(shù)方案是這樣的:一種精確控制硅片切片裝置,其特征在于,其包括底座,所述底座上安裝有兩個(gè)對稱平行布置的橫向?qū)к墸鰴M向?qū)к壣贤ㄟ^橫向滑塊安裝有切割平臺,所述切割平臺上安裝有切割?yuàn)A具,在兩個(gè)所述橫線導(dǎo)軌中間,所述底座上安裝有絲桿,所述切割平臺通過絲桿螺母連接所述絲桿,所述絲桿連接絲桿驅(qū)動(dòng)電機(jī),在兩個(gè)所述橫向?qū)к壨鈧?cè),所述底座上安裝有與所述橫向?qū)к壪嗷ゴ怪钡目v向?qū)к墸隹v向?qū)к壣贤ㄟ^縱向滑塊安裝有切割座,所述切割座上安裝有轉(zhuǎn)軸,靠近所述橫向?qū)к壍乃鲛D(zhuǎn)軸一端安裝有切割輪,所述轉(zhuǎn)軸另一端通過從動(dòng)輪、皮帶和主動(dòng)輪連接切割驅(qū)動(dòng)電機(jī),所述切割座連接縱向驅(qū)動(dòng)氣缸,在所述縱向?qū)к壱粋?cè),所述底座上安裝有與之平行的標(biāo)尺,所述橫向?qū)к墐啥朔謩e安裝有限位塊,所述限位塊到所述切割輪的距離與所述切割平臺的尺寸對應(yīng)。

采用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)后,將需要切割的硅棒排布于切割?yuàn)A具上,縱向驅(qū)動(dòng)氣缸驅(qū)動(dòng)切割座移動(dòng)使切割輪移動(dòng)到位,絲桿驅(qū)動(dòng)電機(jī)工作實(shí)現(xiàn)切割平臺的移動(dòng),硅棒經(jīng)過切割輪自動(dòng)實(shí)現(xiàn)切割,并且縱向?qū)к壱粋?cè)設(shè)有標(biāo)尺,可以精確控制切割輪的位置,實(shí)現(xiàn)切出來的硅片的尺寸精確,限位塊起到限定切割平臺的作用,保證了硅片的切割到位。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

見圖1所示,一種精確控制硅片切片裝置,其包括底座1,底座1上安裝有兩個(gè)對稱平行布置的橫向?qū)к?,橫向?qū)к?上通過橫向滑塊安裝有切割平臺3,切割平臺3上安裝有切割?yuàn)A具4,在兩個(gè)橫線導(dǎo)軌2中間,底座1上安裝有絲桿5,切割平臺3通過絲桿螺母連接絲桿5,絲桿5連接絲桿驅(qū)動(dòng)電機(jī)7,在兩個(gè)橫向?qū)к?外側(cè),底座1上安裝有與橫向?qū)к?相互垂直的縱向?qū)к?,縱向?qū)к?上通過縱向滑塊安裝有切割座9,切割座9上安裝有轉(zhuǎn)軸10,靠近橫向?qū)к?的轉(zhuǎn)軸10一端安裝有切割輪11,轉(zhuǎn)軸10另一端通過從動(dòng)輪、皮帶12和主動(dòng)輪13連接切割驅(qū)動(dòng)電機(jī)14,切割座9連接縱向驅(qū)動(dòng)氣缸15,在縱向?qū)к?一側(cè),底座1上安裝有與之平行的標(biāo)尺16,橫向?qū)к?兩端分別安裝有限位塊6,限位塊6到切割輪11的距離與切割平臺3的尺寸對應(yīng)。

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