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一種精確控制硅片切片裝置的制作方法

文檔序號:12050754閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種精確控制硅片切片裝置,其特征在于,其包括底座,所述底座上安裝有兩個對稱平行布置的橫向導軌,所述橫向導軌上通過橫向滑塊安裝有切割平臺,所述切割平臺上安裝有切割夾具,在兩個所述橫線導軌中間,所述底座上安裝有絲桿,所述切割平臺通過絲桿螺母連接所述絲桿,所述絲桿連接絲桿驅動電機,在兩個所述橫向導軌外側,所述底座上安裝有與所述橫向導軌相互垂直的縱向導軌,所述縱向導軌上通過縱向滑塊安裝有切割座,所述切割座上安裝有轉軸,靠近所述橫向導軌的所述轉軸一端安裝有切割輪,所述轉軸另一端通過從動輪、皮帶和主動輪連接切割驅動電機,所述切割座連接縱向驅動氣缸,在所述縱向導軌一側,所述底座上安裝有與之平行的標尺,所述橫向導軌兩端分別安裝有限位塊,所述限位塊到所述切割輪的距離與所述切割平臺的尺寸對應。

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