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一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機的制作方法

文檔序號:12754143閱讀:260來源:國知局

本實用新型涉及硅片帶鋸設備技術領域,尤其是一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機。



背景技術:

當前,企業在對硅片進行加工時所采用的帶鋸機均為水平進給,這種進給方式容易受到水平方向的外力干擾,導致進給出現偏差,降低硅片的加工精度,導致大量的殘次品出現,增加企業生產成本,存在不足。



技術實現要素:

本實用新型的目的是提供一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機,為克服上述的不足,采用豎直進給的方式,避免水平的外力干擾,提高硅片加工精度,降低企業生產成本。

本實用新型的技術方案:

一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機,包括底座、導向柱、主動帶輪、傳動帶、電機、活動橫梁、從動帶輪、主動鋸輪、帶鋸、進給輪、進給輪支架、從動鋸輪;其中:進給輪與進給輪支架活動連接,進給輪支架與底座固定連接,底座與導向柱固定連接,導向柱與活動橫梁活動連接,活動橫梁與電機固定連接,電機與主動帶輪同軸連接,主動帶輪通過傳動帶與從動帶輪連接,從動帶輪與主動鋸輪同軸連接,主動鋸輪通過帶鋸與從動鋸輪連接。

一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機,其中:進給輪采用豎直方向排列的方式。

本實用新型的優點在于:本裝置采用豎直進給的方式,避免水平的外力干擾,提高硅片加工精度,降低企業生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意簡圖。

附圖標記:底座1、導向柱2、主動帶輪3、傳動帶4、電機5、活動橫梁6、從動帶輪7、主動鋸輪8、帶鋸9、進給輪10、進給輪支架11、從動鋸輪12。

具體實施方式

實施例1、一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機,包括底座1、導向柱2、主動帶輪3、傳動帶4、電機5、活動橫梁6、從動帶輪7、主動鋸輪8、帶鋸9、進給輪10、進給輪支架11、從動鋸輪12;其中:進給輪10與進給輪支架11活動連接,進給輪支架11與底座1固定連接,底座1與導向柱2固定連接,導向柱2與活動橫梁6活動連接,活動橫梁6與電機5固定連接,電機5與主動帶輪3同軸連接,主動帶輪3通過傳動帶4與從動帶輪7連接,從動帶輪7與主動鋸輪8同軸連接,主動鋸輪8通過帶鋸9與從動鋸輪12連接。

實施例2、一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機,其中:進給輪10采用豎直方向排列的方式,采用豎直進給的方式,避免水平的外力干擾,提高硅片加工精度,降低企業生產成本。其余同實施例1。

工作原理:

將硅料放置于進給輪10之間,進而由進給輪10帶動硅料進給,同時,啟動電機5,電機5帶動主動帶輪3旋轉,主動帶輪通過3傳動帶4帶動從動帶輪7旋轉,從動帶輪7帶動主動鋸輪8同軸旋轉,主動鋸輪8通過帶鋸9帶動從動鋸輪12旋轉,并保持帶鋸9持續的高速轉動,進而對硅料進行加工,由于進給輪10采用的是豎直方向的排列,因此,硅料在重力作用下直線向下進給,確保硅料不受其他摩擦力的影響,進而提高硅片的生產精度,動作結束。

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