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一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機的制作方法

文檔序號:12754143閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機,包括底座(1)、導向柱(2)、主動帶輪(3)、傳動帶(4)、電機(5)、活動橫梁(6)、從動帶輪(7)、主動鋸輪(8)、帶鋸(9)、進給輪(10)、進給輪支架(11)、從動鋸輪(12);其特征在于:進給輪(10)與進給輪支架(11)活動連接,進給輪支架(11)與底座(1)固定連接,底座(1)與導向柱(2)固定連接,導向柱(2)與活動橫梁(6)活動連接,活動橫梁(6)與電機(5)固定連接,電機(5)與主動帶輪(3)同軸連接,主動帶輪(3)通過傳動帶(4)與從動帶輪(7)連接,從動帶輪(7)與主動鋸輪(8)同軸連接,主動鋸輪(8)通過帶鋸(9)與從動鋸輪(12)連接。

2.根據權利要求1所述的一種豎直進給式高精度硅片帶鋸機,其特征在于:進給輪(10)采用豎直方向排列的方式。

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