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一種基板搬送機(jī)器人的制作方法

文檔序號(hào):11169033閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基板搬送機(jī)器人,包括基座、設(shè)置在所述基座上的立柱,其特征在于,還包括多個(gè)由所述立柱向不同方向伸出的機(jī)械手臂組、以及與所述機(jī)械手臂組一一對(duì)應(yīng)且固定連接的升降機(jī)構(gòu);

多個(gè)所述機(jī)械手臂組在與其連接的所述升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下,分別沿所述立柱的延伸方向移動(dòng);

其中,所述機(jī)械手臂組包括至少一個(gè)機(jī)械手臂。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬送機(jī)器人,其特征在于,所述升降機(jī)構(gòu)包括固定在所述立柱內(nèi)的第一軸芯、套設(shè)于所述第一軸芯上的第一軸芯套、以及與所述第一軸芯套連接的第一控制裝置;

所述第一軸芯的軸向與所述立柱的延伸方向一致,所述第一控制裝置用于帶動(dòng)所述第一軸芯套沿所述第一軸芯的軸向移動(dòng);

其中,所述機(jī)械手臂組與所述第一軸芯套相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬送機(jī)器人,其特征在于,所述升降機(jī)構(gòu)包括固定在所述立柱內(nèi)的第一軸芯、套設(shè)于所述第一軸芯上的第一軸芯套、與所述第一軸芯套連接的第一控制裝置、與所述第一軸芯套相連且位于所述立柱外側(cè)的移動(dòng)件、固定在所述移動(dòng)件內(nèi)的第二軸芯、套設(shè)于所述第二軸芯上的第二軸芯套、以及與所述第二軸芯套連接的第二控制裝置;

所述移動(dòng)件內(nèi)部中空,所述第一軸芯和所述第二軸芯的軸向與所述立柱的延伸方向一致,所述第一控制裝置用于帶動(dòng)所述第一軸芯套沿所述第一軸芯的軸向移動(dòng),所述第二控制裝置用于帶動(dòng)所述第二軸芯套沿所述第二軸芯的軸向移動(dòng);

其中,所述機(jī)械手臂組與所述第二軸芯套相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板搬送機(jī)器人,其特征在于,所述升降機(jī)構(gòu)還包括與所述第一軸芯套連接的第三控制裝置;

所述第一軸芯套的下端面相對(duì)所述移動(dòng)件的下端面更靠近所述基座;

所述第一控制裝置帶動(dòng)所述第一軸芯套向上移動(dòng),使所述移動(dòng)件的下端面與所述立柱的上端面平齊或超過所述立柱的上端面時(shí),所述第三控制裝置用于帶動(dòng)所述第一軸芯套轉(zhuǎn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬送機(jī)器人,其特征在于,所述立柱為正四棱柱;

所述基板搬送機(jī)器人包括兩個(gè)所述機(jī)械手臂組,兩個(gè)所述機(jī)械手臂組在與其連接的所述升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下,分別沿所述立柱的相鄰兩個(gè)側(cè)面上下移動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬送機(jī)器人,其特征在于,所述機(jī)械手臂組包括兩個(gè)機(jī)械手臂。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板搬送機(jī)器人,其特征在于,所述機(jī)械手臂包括多個(gè)子臂,相鄰兩個(gè)所述子臂之間活動(dòng)連接,且每個(gè)所述子臂可平行于所述基座轉(zhuǎn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬送機(jī)器人,其特征在于,還包括設(shè)置在所述基座中心的旋轉(zhuǎn)軸,所述旋轉(zhuǎn)軸與所述立柱連接,用于帶動(dòng)所述立柱旋轉(zhuǎn);

其中,所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向與所述立柱的延伸方向相同。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板搬送機(jī)器人,其特征在于,還包括連接條,所述連接條的延伸方向與所述旋轉(zhuǎn)軸的軸向垂直,所述連接條的一端與所述旋轉(zhuǎn)軸連接,另一端與所述立柱連接;

其中,所述立柱設(shè)置在所述連接條遠(yuǎn)離所述基座的表面。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的基板搬送機(jī)器人,其特征在于,所述機(jī)械手臂組包括固定座,所述機(jī)械手臂組通過所述固定座與所述升降機(jī)構(gòu)固定連接。

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