本技術(shù)涉及硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，具體地說是一種打碼裝置。

背景技術(shù)：

1、硅片生產(chǎn)完畢后，一般需要將硅片的型號(hào)、生產(chǎn)批次、性能參數(shù)等信息通過激光打碼方式寫在硅片上。

2、現(xiàn)有的處理方式為，直接將打碼機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片主輸送線的上方，當(dāng)硅片被輸送至打碼機(jī)構(gòu)下方時(shí)，控制硅片主輸送線暫停輸送，待打碼機(jī)構(gòu)完成對(duì)硅片的打碼操作后，再次啟動(dòng)主輸送線輸送。現(xiàn)有的打碼方式，需要頻繁實(shí)施對(duì)主輸送線的啟停，從而降低主輸送線的輸送效率，影響了工作節(jié)拍。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種打碼裝置，其采用如下技術(shù)方案：

2、一種打碼裝置，包括主輸送線、分流輸送機(jī)構(gòu)、第一轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)和至少一條打碼作業(yè)線，打碼作業(yè)線包括分支輸送線、打碼機(jī)構(gòu)和解碼機(jī)構(gòu)，其中：

3、主輸送線被配置為沿第一水平方向輸送硅片，主輸送線的輸送路徑上依次設(shè)置有分流工位及第一轉(zhuǎn)運(yùn)工位；

4、打碼作業(yè)線設(shè)置在主輸送線的邊側(cè)，分流輸送機(jī)構(gòu)被配置為將位于分流工位的硅片分流至打碼作業(yè)線的分支輸送線上；

5、分支輸送線被配置為沿第一水平方向輸送硅片，分支輸送線的輸送路徑上依次設(shè)置有至少一個(gè)打碼工位、解碼工位和第一下料工位，每個(gè)打碼工位處對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)打碼機(jī)構(gòu)，打碼機(jī)構(gòu)用于對(duì)位于打碼工位的硅片打碼，解碼工位處設(shè)置有解碼機(jī)構(gòu)，解碼機(jī)構(gòu)用于對(duì)位于解碼工位的完成打碼的硅片實(shí)施解碼，以確定打碼是否合格；

6、第一轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)被配置為從第一下料工位拾取打碼合格的硅片，并將拾取的打碼合格的硅片輸送至位于第一下料工位邊側(cè)的收料盒內(nèi)，或者將拾取的打碼合格的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)至第一轉(zhuǎn)運(yùn)工位。

7、本技術(shù)提供的打碼裝置，主輸送線的邊側(cè)設(shè)置有用于對(duì)硅片打碼的打碼作業(yè)線，硅片在打碼作業(yè)線上完成打碼操作。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的打碼裝置不會(huì)對(duì)主輸送線的正常輸送產(chǎn)生影響，從而確保主輸送線的輸送效率，提升工作節(jié)拍。

8、在一些實(shí)施例中，打碼作業(yè)線還包括ng料盒，ng料盒設(shè)置在分支輸送線的輸出端，ng料盒用于接收分支輸送線輸出的打碼不合格的硅片。

9、實(shí)現(xiàn)了對(duì)分支輸送線上的未被第一轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)取走的打碼不合格的硅片的自動(dòng)回收。

10、在一些實(shí)施例中，主輸送線的輸出端設(shè)置有能夠升降的料籃，料籃用于收取主輸送線輸出的硅片。

11、將硅片收取至料籃中，方便了后道處理設(shè)備對(duì)硅片的取料。

12、在一些實(shí)施例中，分流輸送機(jī)構(gòu)包括取片部和分流輸送部，取片部的輸送方向和分流輸送部的輸送方向均與主輸送線的輸送方向垂直，其中：取片部位于分流工位的上方，分流輸送部與取片部對(duì)接；取片部被配置為從分流工位吸取硅片，以及被配置為將吸取的硅片輸送至分流輸送部，分流輸送部被配置為將硅片輸送至打碼作業(yè)線的分支輸送線上。

13、通過取片部和分流輸送部的配合，分流輸送機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了從分流工位吸取硅片，以及將吸取的硅片分流輸送至打碼作業(yè)線的分支輸送線上。

14、在一些實(shí)施例中，打碼作業(yè)線為至少兩條，至少兩條打碼作業(yè)線分別位于主輸送線兩側(cè)，分流輸送部設(shè)置為兩組，兩組分流輸送部均與取片部對(duì)接且位于取片部兩側(cè)；取片部還被配置為從所述分流工位吸取硅片，并被配置為將吸取的硅片輸送至兩組分流輸送部中的其中一者上，兩組分流輸送部被配置為分別將硅片輸送至對(duì)應(yīng)的分支輸送線上。

15、通過在主輸送線兩側(cè)設(shè)置至少兩條打碼作業(yè)線，并對(duì)應(yīng)設(shè)置兩組分流輸送部，兩組分流輸送部可交替地將取片部從主輸送線上吸取的硅片分流至對(duì)應(yīng)的打碼作業(yè)線上，至少兩條打碼作業(yè)線并行地實(shí)施硅片打碼，從而進(jìn)一步提升打碼效率。

16、在一些實(shí)施例中，打碼作業(yè)線還包括規(guī)整機(jī)構(gòu)，分支輸送線的輸送路徑上還設(shè)置有位于打碼工位前道的規(guī)整工位；規(guī)整機(jī)構(gòu)設(shè)置在規(guī)整工位處，規(guī)整機(jī)構(gòu)用于對(duì)位于規(guī)整工位的硅片實(shí)施位置歸正。

17、實(shí)現(xiàn)在打碼前對(duì)硅片的位置歸正，確保打碼機(jī)構(gòu)對(duì)目標(biāo)指定位置的精準(zhǔn)打碼。

18、在一些實(shí)施例中，分支輸送線包括沿分支輸送線的輸送路徑依次設(shè)置的第一輸送段、第二輸送段、第三輸送段及第四輸送段，其中：規(guī)整工位位于第一輸送段的輸送路徑上，打碼工位位于第二輸送段的輸送路徑上，解碼工位位于第三輸送段的輸送路徑上，第一下料工位位于第四輸送段的輸送路徑上；第二輸送段被配置為能夠吸附住硅片。

19、通過對(duì)第二輸送段進(jìn)行設(shè)置，使得第二輸送段在打碼過程中將硅片吸緊固定住，從而確保對(duì)硅片的打碼效果。第一輸送段、第三輸送段及第四輸送段僅需實(shí)施對(duì)硅片的輸送，采用普通的輸送皮帶即可，無需設(shè)置吸附機(jī)構(gòu)，從而節(jié)省分支輸送線的成本。

20、在一些實(shí)施例中，第二輸送段包括吸附件和兩條平行設(shè)置的輸送帶，吸附件的吸附面低于兩條輸送帶的輸送面，吸附件用于將硅片吸附在兩條輸送帶上；或者，第二輸送段包括一條輸送帶，輸送帶上均設(shè)置有與抽氣裝置連通的吸附孔，輸送帶經(jīng)吸附孔吸附住硅片。

21、通過對(duì)第二輸送段進(jìn)行設(shè)置，使得第二輸送段實(shí)施對(duì)硅片的吸附固定。

22、在一些實(shí)施例中，打碼機(jī)構(gòu)包括打碼激光器、定位相機(jī)和面光源，其中：定位相機(jī)設(shè)置在分支輸送線的下方，定位相機(jī)被配置為對(duì)位于打碼工位的硅片進(jìn)行定位以獲得硅片的位置信息；打碼激光器設(shè)置在分支輸送線的上方，打碼激光器被配置為基于硅片的位置信息對(duì)硅片實(shí)施激光打碼；打碼激光器設(shè)置在升降機(jī)構(gòu)上，升降機(jī)構(gòu)被配置為驅(qū)動(dòng)打碼激光器升降，以調(diào)節(jié)打碼激光器與位于打碼工位的硅片之間的距離；面光源設(shè)置在分支輸送線上方，面光源位于打碼激光器和定位相機(jī)之間，面光源上設(shè)置有供激光通過的光通道；面光源用于照射位于打碼工位的硅片，以配合定位相機(jī)對(duì)位于硅片進(jìn)行定位，打碼激光器發(fā)出的激光經(jīng)光通道到達(dá)硅片上。

23、通過定位相機(jī)和面光源的配合，實(shí)現(xiàn)了對(duì)位于打碼工位處的硅片的精確定位，而通過將打碼激光器設(shè)置在升降機(jī)構(gòu)上，則實(shí)現(xiàn)了對(duì)打碼激光器與硅片間的距離的調(diào)整，最終確保打碼激光器能夠?qū)嵤?duì)硅片的指定位置的精準(zhǔn)打碼。

24、在一些實(shí)施例中，打碼作業(yè)線還包括設(shè)置在打碼工位邊側(cè)的除塵機(jī)構(gòu)，除塵機(jī)構(gòu)用于吸取打碼過程中產(chǎn)生的粉塵。

25、通過在打碼工位邊側(cè)設(shè)置除塵機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)打碼過程中產(chǎn)生的粉塵的及時(shí)吸除，防止粉塵污染硅片及機(jī)臺(tái)。

26、在一些實(shí)施例中，解碼機(jī)構(gòu)包括角度調(diào)節(jié)支架及設(shè)置在角度調(diào)節(jié)支架上的掃碼槍；掃碼槍與上位機(jī)信號(hào)連接，掃碼槍用于識(shí)別硅片上的打碼形成的圖文，并將識(shí)別結(jié)果提供給上位機(jī)，上位機(jī)根據(jù)識(shí)別結(jié)果確定打碼是否合格。

27、通過對(duì)解碼機(jī)構(gòu)進(jìn)行設(shè)置，使得解碼機(jī)構(gòu)能夠?qū)嵤?duì)硅片上的打碼形成的圖文的準(zhǔn)確識(shí)別，最終確保上位機(jī)確定打碼是否合格。

28、在一些實(shí)施例中，第一轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)包括中間轉(zhuǎn)運(yùn)部和第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部，中間轉(zhuǎn)運(yùn)部的輸送方向和第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部的輸送方向均與主輸送線的輸送方向垂直，其中：中間轉(zhuǎn)運(yùn)部位于第一轉(zhuǎn)運(yùn)工位的上方，第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部的第一端與中間轉(zhuǎn)運(yùn)部對(duì)接，第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部的第二端的下方設(shè)有收料盒；第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部被配置為從分支輸送線的第一下料工位處拾取打碼合格的硅片，以及將拾取的打碼合格的硅片輸送至收料盒內(nèi)；或者，第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部被配置為將拾取的打碼合格的硅片輸送至中間轉(zhuǎn)運(yùn)部，中間轉(zhuǎn)運(yùn)部被配置為將打碼合格的硅片輸送至第一轉(zhuǎn)運(yùn)工位；中間轉(zhuǎn)運(yùn)部還被配置為從第一轉(zhuǎn)運(yùn)工位拾取硅片，以及將拾取的硅片輸送至第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部，第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部被配置為將硅片輸送至收料盒內(nèi)。

29、通過對(duì)第一轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行設(shè)置，使得第一轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)能夠?qū)⒎种л斔途€上的打碼合格的硅片收至位于分支輸送線邊側(cè)的收料盒內(nèi)，或者將分支輸送線上的打碼合格的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)回主輸送線上，由主輸送線將其輸送至后道工位或收至料籃內(nèi)。此外，第一轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)能夠?qū)⒅鬏斔途€上的硅片收至位于分支輸送線邊側(cè)的收料盒內(nèi)。如此，可根據(jù)各種不同的應(yīng)用需求，實(shí)施對(duì)硅片的靈活轉(zhuǎn)運(yùn)。

30、在一些實(shí)施例中，打碼作業(yè)線為至少兩條，至少兩條打碼作業(yè)線分別位于主輸送線兩側(cè)，第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部設(shè)置為兩組，兩組第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部均與中間轉(zhuǎn)運(yùn)部對(duì)接且位于中間轉(zhuǎn)運(yùn)部兩側(cè)；兩組第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部分別從對(duì)應(yīng)的分支輸送線的第一下料工位處拾取打碼合格的硅片，以及分別將拾取的打碼合格的硅片輸送至對(duì)應(yīng)的收料盒內(nèi)；或者，分別將拾取的打碼合格的硅片輸送至中間轉(zhuǎn)運(yùn)部；中間轉(zhuǎn)運(yùn)部還被配置為從第一轉(zhuǎn)運(yùn)工位拾取硅片，以及將拾取的硅片輸送至兩組第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部中的其中一者上。

31、通過設(shè)置至少兩條打碼輸送線及兩組第一轉(zhuǎn)運(yùn)輸送部，提升了打碼效率。

32、在一些實(shí)施例中，打碼作業(yè)線的分支輸送線的輸送路徑上還設(shè)置有位于第一下料工位后道的第二下料工位；打碼裝置還包括第二轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)，第二轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)被配置為從分支輸送線的第二下料工位拾取打碼合格的硅片，并將拾取的打碼合格的硅片輸送至位于第二下料工位邊側(cè)的收料盒內(nèi)。

33、通過在第一下料工位后道設(shè)置第二下料工位，并對(duì)應(yīng)設(shè)置第二轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)，第二轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)可將第一轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)未及時(shí)收取的打碼合格的硅片收至收料盒內(nèi)，確保分支輸送線上的打碼合格的硅片均能夠被收至收料盒內(nèi)。

34、在一些實(shí)施例中，打碼作業(yè)線為至少兩條，至少兩條打碼作業(yè)線分別位于主輸送線兩側(cè)，第二轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)設(shè)置為兩組，兩組第二轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)位于主輸送線兩側(cè)；兩組第二轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)分別從對(duì)應(yīng)的分支輸送線上拾取打碼合格的硅片，并將拾取的打碼合格的硅片輸送至對(duì)應(yīng)的收料盒內(nèi)。

35、通過設(shè)置至少兩條打碼輸送線及兩組第二轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)，提升了打碼效率。

36、在一些實(shí)施例中，主輸送線的輸送路徑上還設(shè)置有位于分流工位前道的剔除工位；打碼裝置還包括設(shè)置在剔除工位處的剔除機(jī)構(gòu)，剔除機(jī)構(gòu)用于剔除位于剔除工位處的存在缺陷的硅片。

37、實(shí)現(xiàn)了對(duì)存在缺陷的硅片的剔除，防止存在缺陷的硅片的剔除流入打碼工作線。