專利名稱：取向膜預固化裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及液晶顯示面板的制造領域，尤其涉及液晶顯示面板中的取 向膜預固化裝置。
背景技術：
液晶顯示面板的制造過程中，在完成基板的制作工藝后，需要在基板上涂 覆一層厚度均一的PI (聚酰亞胺)取向膜。之后采用摩擦工藝在取向膜上形成 取向，以實現(xiàn)液晶分子的定向排列。取向膜的厚度直接決定了液晶分子定向排 列的均一性，進而影響了液晶顯示面板的顯示效果。
PI取向膜的形成機理是這樣的采用轉(zhuǎn)印技術在基板上涂覆一層PI溶液薄 膜；通過預固化和主固化工藝使得溶液內(nèi)產(chǎn)生反應，同時溶劑揮發(fā)，最后形成 PI取向膜。圖1所示為現(xiàn)有技術PI取向膜預固化裝置示意圖。在基板A上涂覆 有PI溶液B;基板的下方為加熱臺100對基板進行加熱；基板上方有一比基板 尺寸略大的排風裝置200;在平行于基板長軸方向的基板兩側(cè)各設置有一個氣體 吸收裝置300,用于吸收流向氣體吸收裝置300的氣體。在工作過程中，排風裝 置200不斷地排出氣體， 一方面是為了使置于所述加熱臺上的基板溫度均一， 另一方面是為了幫助PI溶液中的溶劑揮發(fā)，所述溶劑揮發(fā)后則被基板兩側(cè)的氣 體吸收裝置吸收。
在現(xiàn)有技術中，排風裝置的排氣口朝下并向整個基板排出氣體，而且排出 的是室溫的清潔千空氣，因此對于基板下面的加熱臺來說，加熱臺便形成了中 間熱周圍低的溫度分布；而且由于氣體吸收裝置分別設置于平行于基板的長軸 方向的基板兩側(cè)，排風裝置產(chǎn)生的氣流在基板上無法形成有效的層流；另外排 風裝置產(chǎn)生的空氣流之間也沒有充分的熱量交換。因此導致了基板表面的溫度
4不夠均勻。
在實現(xiàn)上述液晶顯示面板取向膜預固化的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術中
至少存在如下問題
由于加熱過程中1^反表面的溫度分布不均勻，在PI溶液預固化后無法形成一定厚度和均一度的PI涂層，這會影響到最終形成的取向膜的厚度和均一度，取向膜中的不良區(qū)域造成顯示污漬，從而影響液晶顯示面板的顯示效果。
實用新型內(nèi)容
本實用新型提供一種取向膜預固化裝置，能夠解決現(xiàn)有的取向膜預固化裝置在取向膜預固化過程中容易造成取向膜厚度不均的問題。為了解決上述問題，本實用新型采用如下技術方案
一種取向膜預固化裝置，包括放置基板的加熱臺，設置于所述基板上方的第一排氣裝置，設置于所述基板兩側(cè)且平行于所述第一排氣裝置的第一氣體吸收裝置，所述第一排氣裝置為柱狀排氣裝置，所述第一排氣裝置的排氣嘴設
置于所述柱狀排氣裝置的下方，并指向所述^i^反。
本實用新型取向膜預固化裝置，通過在基板的正上方設置第 一排氣裝置，在所述基板平行于所述第一排氣裝置的兩側(cè)設置第一氣體吸收裝置，并且所述第一排氣裝置為柱狀排氣裝置，所述第一排氣裝置的排氣嘴設置于所述柱狀排氣裝置的下方并指向基板，從而能夠促進氣體形成有效層流，使得基板表面溫度均勻，改善最終制成的取向膜的均一度，得到厚度均勻的取向膜。
圖1為現(xiàn)有技術取向膜預固化裝置的示意圖2為本實用新型取向膜預固化裝置的實施例一的側(cè)視圖3為本實用新型取向膜預固化裝置的實施例一的俯視圖；圖4為本實用新型取向膜預固化裝置的實施例一第一排氣裝置的示意圖5為本實用新型取向膜預固化裝置的實施例二的側(cè)視圖6為本實用新型取向膜預固化裝置的實施例二的俯視圖7為本實用新型取向膜預固化裝置的實施例二第二排氣裝置的示意圖8為基板溫度檢測點坐標示意圖。
附圖標記iJL明
100，加熱臺；200,排氣裝置；300,第一氣體吸收裝置(氣體吸收裝置); 400，第一排氣裝置；500，第二排氣裝置；600，第二氣體吸收裝置；410, 510, 排氣嘴；411,第一排氣嘴；412，第二排氣嘴；A，基板；B，取向溶液。
具體實施方式
本實用新型提供一種取向膜預固化裝置，能夠解決現(xiàn)有的取向膜預固化裝 置在取向膜預固化過程中容易造成取向膜厚度不均的問題。
以下結(jié)合附圖對本 實用新型實施例取向膜預固化裝置進行詳細描述。應當明確，以下實施例僅用 于說明本實用新型，而不用于限定本實用新型的保護范圍。
實施例一
圖2為本實施例的側(cè)視圖。如圖2所示，本實用新型實施例取向膜預固化 裝置包括放置基板A的加熱臺100;設置于所述基板A正上方、且平行于基板 A的長軸方向的第一排氣裝置400,所述第一排氣裝置400為柱狀排氣裝置，所 述第一排氣裝置的排氣嘴410設置于所述柱狀排氣裝置的下方且指向所述基板 A;以及設置于所述基板A的的兩側(cè)、且平行于第一排氣裝置400的第一氣體吸 收裝置300。
本實用新型優(yōu)選將所述第一排氣裝置400設置于所述基板A長軸中心線的 正上方，以實現(xiàn)基板表面溫度均勻化的最好效果。在進行取向膜預固化的過程中，基板A上涂覆有取向溶液B。取向溶液B是 由形成取向膜的材料例如PI溶解于溶劑中形成的。在預固化過程中，由加熱臺 100對基板A以及涂覆于所述基板A上的PI溶液B進行加熱，使得部分溶劑在 加熱過程中產(chǎn)生反應并揮發(fā)。在基板長軸中心線正上方設有排氣嘴的第一排氣 裝置400用于向下提供氣流，目的是為了是使得整個加熱臺100上溫度均勻。 并且所述基板A長軸方向兩側(cè)且平行于第一排氣裝置設有第一氣體吸收裝置 300,用于將笫一排氣裝置400排出、并在PI溶液B表面上流動的氣體以及PI 溶液B揮發(fā)的溶劑進行吸收。如圖3所示為本實用新型實施例的俯視圖，箭頭 所示即為PI溶液B表面的氣體流向。
為了促進排氣嘴排出的氣體在所述PI溶液B的表面上能夠以預定方向流 動，如圖2、圖4所示，本實用新型實施例優(yōu)選^:置第一排氣裝置400的排氣嘴 410包括第一排氣嘴411和第二排氣嘴412;所述第一排氣嘴411和第二排氣嘴 412交叉布置，且所述第一排氣嘴411和第二排氣嘴412所指方向分別為向兩側(cè) 偏離基板A的法線方向。本實用新型優(yōu)選將第一排氣嘴411和第二排氣嘴412 所指方向與基板A的法線方向的夾角范圍設定為5°~15°。圖4僅為一示意圖， 在第一排氣裝置400上有多個排氣嘴，并且孔徑很小，約為3~5咖，每個排氣 嘴之間的間隔約為2 ~ 3cm。
本實用新型優(yōu)選在第一排氣裝置400上設置有流量控制閥，在取向膜預固 化過程中，應通過所述流量控制閥控制第一排氣裝置400的排氣流量為5L/min ~ 10 L/min,以實現(xiàn)基板溫度均勻化的較佳效果。另外，所述第一排氣裝置400 還設有氣體預加熱裝置，并且溫度可以調(diào)節(jié)，用于根據(jù)具體工藝中PI溶液所需 的溫度對所述第一排氣裝置400內(nèi)的氣體溫度進行調(diào)節(jié)。
設置于基板A兩側(cè)、且平行于第一排氣裝置400的第一氣體吸收裝置300還設有負壓調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)裝置內(nèi)負壓，以便更好地吸收在PI溶液B表面向所述基板A長軸中心線兩側(cè)流動的氣體。為了使氣體能夠較好地控制基板溫度的均勻，將所述第一氣體吸收裝置300的負壓范圍調(diào)節(jié)為2KPa-7KPa。
圖2中，本實用新型實施例優(yōu)選將所述第一排氣裝置400的排氣嘴410設置于所述基4反A長軸中心線的正上方，即，圖4所示的虛線位于基板A的長軸中心線的正上方。但本實用新型并不局限于此，還可以將第一排氣裝置400平行于基板的短軸方向設置于基板A的上方，第一排氣裝置400的下方設置了排氣嘴，并且優(yōu)選將排氣嘴設置于所述基板A的短軸中心線的正上方，第一氣體吸收裝置300平行于第一排氣裝置400設置于基板兩側(cè)。所述第一排氣裝置400的排氣嘴包括兩部分，所述兩部分排氣嘴交叉布置、分別向兩側(cè)偏離所述基板A的法線方向朝向所述基板。本實用新型優(yōu)選將所述兩部分排氣嘴所指方向與所述基板A的法線之間的夾角設為5°~15°。
實施例二
圖5所示為本實用新型實施例二取向膜預固化裝置的側(cè)視圖。如圖5所示，在上述實施例一的基礎上，本實施例取向膜預固化裝置還包括第二排氣裝置500，第二排氣裝置500也為柱狀排氣裝置，設置于所述基;f反一側(cè)的上方，且垂直于所述第一排氣裝置400,所述第二排氣裝置500上的排氣嘴510朝向所述基板A;第二氣體吸收裝置600，設置于所述基板A的另一側(cè)。如圖6所示為本實用新型實施例取向膜預固化裝置的俯視圖，從圖上可以看到所述第二排氣裝置500設置在平行于J^反A的短軸方向的基板一側(cè)的上方，第二氣體吸收裝置600設置在平行于基板A的短軸方向的基板另一側(cè)。第二排氣裝置500產(chǎn)生的氣流在PI溶液B表面的流向與第一排氣裝置400產(chǎn)生的氣流的流向垂直。
如圖5、圖7所示，本實施例優(yōu)選將所述排氣嘴510所指方向設置為與基4反A的法線方向成一定角度指向所述J4良、且朝向平行于基板短軸方向的基板另一 側(cè)，即設置有所述第二氣體吸收裝置600的一側(cè)。本實施例優(yōu)選將所述一定角 度設置為5°~20"。
本實施例優(yōu)選在第二排氣裝置500上設置有流量控制閥，在取向膜預固化 過程中，應通過所述流量控制閥控制第二排氣裝置500的排氣流量為5L/min 10 L/min，以實現(xiàn)均勻基板溫度的較佳效果。另外，所述第二排氣裝置500還 設有氣體預加熱裝置，并且溫度可以調(diào)節(jié)，用于根據(jù)具體工藝中PI溶液所需的 溫度對第二排氣裝置500內(nèi)的氣體溫度進行調(diào)節(jié)。
設置在平行于基板A的短軸方向另一側(cè)的第二氣體吸收裝置600設有負壓 調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)裝置內(nèi)負壓，以便更好地吸收在PI溶^面沿所述J^反A 長軸方向流動的氣體。為了使得氣體能夠?qū)鍦囟冗M行較好的控制和調(diào)節(jié)， 將第二氣體吸收裝置600的負壓范圍調(diào)節(jié)為2KPa~7 KPa。
為了體現(xiàn)本實用新型的有益效果，針對現(xiàn)有技術的取向膜預固化裝置以及 本實用新型實施例二的取向膜預固化裝置，在取向膜預固化過程中對基板表面 上的各點進行溫度檢測，各溫度檢測點坐標如圖8所示。為了避免偶然因素的 影響，對現(xiàn)有技術以及本實用新型實施例二都選取四個取向膜預固化裝置進行 溫度4全測。
如表1所示為現(xiàn)有技術的取向膜預固化裝置一 (heaterl)、裝置二 (heater2)、裝置三(heater3)和裝置四(heater4)的基板上各個4企測點枱， 測到的溫度。表1 現(xiàn)有技術的取向膜預固化裝置的溫度檢測點檢測到的溫度表
Temperature in old air blow method
xlx2x3x4x5x6Avergige3承o
yl666768686867
y2666768686967
+■>y366676770706767.473.41
666767706867
y5666767686867
yl656868696968
v2666869707069
+■>y366686970706968. 334.41
y4666869707069
y5656769696968
COyl656667686867
y2656667686868
y365666768686867.003.34
v4656667686868
y5666667686868
vl646568707069
v2656668707069
+■>y365676970706967.806. 22
nj <Dv4656668707069
y5646567696968
表2所示為本實用新型實施例二的取向膜預固化裝置一 (heaterl)、裝置 二 (heater2)、裝置三(heater3)和裝置四(heater4)的基板上各個檢測點 才企測到的溫度。
表2本實用新型實施二的取向膜預固化裝置的溫度檢測點檢測到的溫度表
'emperature in new air blow methodxlx2x3x4x5x6Average3承o
Heater 1vl66676768686666.92.1
y2666767686867v3666767686866y4666767676766v5666767676766Heater 2yl66676767666666,32.5
y2666767676666v3666868676665v4666767676665v5656667666565Heater 3yl66676767676666. 71.4
v2666767676766y3666667676767y4666767676766v5666767676766Heater 4Yl66676766656666.22.3
v2666768676665v3666767676666v4666767676666y565666666656510從表l、表2可以看出，在本發(fā)明實施例二中取向膜預固化裝置的基板上的 溫度較為均一，大多數(shù)情況下，基板的邊緣與中心溫度差值不超過1。C，另外各 點溫度與平均溫度(average)的差值也較小，而且在基板上位于同一條與基板 長軸平行的線上各點的溫度標準偏差(7也較小。
但本實用新型并不局限于此，若第一排氣裝置400的排氣嘴位于所述基板 短軸中心線的正上方，則將所述第二排氣裝置500設置在平行于基板A長軸方 向的基板一側(cè)的上方，且垂直于所述基板的短軸中心線，所述笫二排氣裝置500 上的排氣嘴朝向所述基板，同時將第二氣體吸收裝置600設置在平行于基板A 的長軸方向的另一側(cè)。
本實用新型實施例通過在基板的正上方設置第一排氣裝置，所述第一排氣 裝置為柱狀排氣裝置，在平行于所述第一排氣裝置的基板兩側(cè)設置第一氣體吸 收裝置，并且所述第 一排氣裝置的排氣嘴:沒置于所述柱狀排氣裝置的下方并指 向基板，還在基板一側(cè)上方、且垂直于所述第一排氣裝置的位置設置第二排氣 裝置，所述第二排氣裝置上的排氣嘴朝向所述基板，在所述基板的另一側(cè)設置 第二氣體吸收裝置，因而能夠促進氣體在所述PI溶液表面形成有效層流以及氣 體之間充分的熱量交換，從而實現(xiàn)基板表面溫度均勻，在取向膜預固化結(jié)束后 能夠得到厚度一致的取向膜，降低取向膜不良率，從而減少液晶顯示器的顯示 污漬。
以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護范圍并不 局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內(nèi)， 可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本
ii實用新型的保護范圍應以權利要求的保護范圍為準'
權利要求1、一種取向膜預固化裝置，包括放置基板的加熱臺，設置于所述基板上方的第一排氣裝置，設置于所述基板兩側(cè)且平行于所述第一排氣裝置的第一氣體吸收裝置，其特征在于，所述第一排氣裝置為柱狀排氣裝置，所述排氣嘴設置于所述柱狀排氣裝置的下方，并指向所述基板。
2、 如權利要求1所述的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述柱狀的排氣 裝置位于所述基;^反的長軸中心線或短軸中心線的正上方。
3、 如權利要求1所述的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述排氣嘴包括 第一排氣嘴和第二排氣嘴，所述第一排氣嘴和第二排氣嘴交叉布置，且所述第 一排氣嘴和第二排氣嘴所指方向分別向兩側(cè)偏離所述基板的法線方向。
4. 如權利要求3所述的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述兩部分排氣 嘴與所述基板的法線方向的夾角范圍為5°~15°。
5. 如權利要求3所述的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述第一排氣裝 置設有流量控制閥。
6. 如權利要求3所述的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述笫一排氣裝 置設有氣體預加熱裝置。
7. 如權利要求3所迷的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述第一氣體吸 收裝置設有負壓調(diào)節(jié)裝置。
8. 如權利要求1至7任一所述的取向膜預固化裝置，其特征在于，還包括 第二排氣裝置，所述第二排氣裝置為柱狀排氣裝置，設置于所述基板一側(cè)的上方，且垂直于所述第一排氣裝置，所述第二排氣裝置上的排氣嘴朝向所述 基板；第二氣體吸收裝置，設置于所述基板的另一側(cè)。
9、 如權利要求8所迷的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述第二排氣裝 置上的排氣嘴與所述基板法線方向的夾角范圍為5°~20°。
10、 如權利要求8所述的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述第二排氣 裝置設有流量控制閥。
11、 如權利要求8所述的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述第二排氣 裝置設有氣體預加熱裝置。
12、 如權利要求8所述的取向膜預固化裝置，其特征在于，所述第二氣體 吸收裝置設有負壓調(diào)節(jié)裝置。
專利摘要本實用新型公開了一種取向膜預固化裝置，涉及液晶顯示面板的制造領域，尤其涉及液晶顯示面板中的取向膜預固化裝置，能夠解決現(xiàn)有的取向膜預固化裝置容易造成取向膜厚度不均的問題。本實用新型取向膜預固化裝置，包括放置基板的加熱臺，設置于所述基板上方的第一排氣裝置，設置于所述基板兩側(cè)且平行于所述第一排氣裝置的第一氣體吸收裝置，所述第一排氣裝置為柱狀排氣裝置，所述第一排氣裝置的排氣嘴設置于所述柱狀排氣裝置的下方，并指向所述基板。本實用新型適用于液晶顯示面板的制造。
文檔編號G02F1/13GK201293896SQ20082011006
公開日2009年8月19日 申請日期2008年8月18日 優(yōu)先權日2008年8月18日
發(fā)明者宋勇志, 煦 王 申請人:北京京東方光電科技有限公司