專利名稱：一種新型光刻膠剝膜液噴嘴的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種新型光刻膠剝膜液噴嘴。
背景技術：
TFT (薄膜場效應晶體管)基板在制造過程中，需要多次進行光刻膠(PR)的剝膜工序加工(剝膜的次數根據產品結構的不同為4-10次或更多)，然后再進行下一膜層結構的成膜等，在這一過程中，如果剝膜不干凈，PR的殘留將會導致不良產品，造成器件品位低下，更嚴重的會出現產品報廢。而剝膜干凈與否和剝膜液噴嘴的設計密切相關。

實用新型內容本實用新型的目的是提供一種新型光刻膠剝膜液噴嘴，采用該噴嘴能夠更有效的去除高分辨率TFT制程中的PR殘留。一種新型光刻膠剝膜液噴嘴，包括相互連通的剝膜液輸送管道和噴嘴本體，其特征在于:其中在噴嘴本體上開有至少一個條狀噴口。其中噴口的寬度為0.l-2mm。其中噴口的長度與待剝膜基板的長度相同。本實用新型提供了一種應于在TFT基板制造過程中的新型的剝離液噴嘴，該噴嘴不同于現有的將很多圓型噴嘴(一般為4個圓型噴嘴以上)并排安裝在一起的噴嘴結構，這種結構中藥液通過很多噴嘴對基板噴淋剝膜液進行剝膜，而是采用一個完整的“一字型”的噴嘴，將剝膜液用一定壓力導入噴嘴中，這些藥液從噴嘴的一字型細縫中噴出，到達TFT基板表面進行剝離。這一新型噴嘴尤其適應于分辨率較高的TFT基板，經過試用證明，可以有效去除殘留的PR。

附圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
如圖1所示，一種新型光刻膠剝膜液噴嘴，包括相互連通的剝膜液輸送管道I和噴嘴本體2，其中在噴嘴本體2上開有至少一個條狀噴口 3，噴口的寬度為0.l-2mm，噴口的長度與待剝膜基板的長度相同。噴口通常采用矩形口，矩形的長寬比通常大于10:1。當剝膜液由外接泵經由剝膜液管道I輸送到該新型噴嘴本體2內后，在里面形成并且保持0.25-0.75Mpa的壓力，并經下面的條狀噴口 3噴淋到TFT基板表面上，有效的進行PR的剝膜。本實用新型的設計主要是為了避免原有多種圓型噴嘴排列噴淋時，形成的不均勻性，以及各個圓型噴嘴噴出的剝膜液之間的互相干擾，另外也由于使用條狀噴口 3，可以減少噴嘴與TFT基板的間距，從而更有效的去除高分辨率TFT制程中的PR殘留。
權利要求1.一種新型光刻膠剝膜液噴嘴，包括相互連通的剝膜液輸送管道(I)和噴嘴本體(2)，其特征在于:其中在噴嘴本體(2)上開有至少一個條狀噴口(3)。
2.如權利要求1所述的一種新型光刻膠剝膜液噴嘴，其特征在于:其中噴口的寬度為0.l-2mm。
3.如權利要求1或2所述的一種新型光刻膠剝膜液噴嘴，其特征在于:其中噴口的長度與待剝膜基板的長度相同。
專利摘要本實用新型涉及一種新型光刻膠剝膜液噴嘴，包括相互連通的剝膜液輸送管道(1)和噴嘴本體(2)，其特別之處在于其中在噴嘴本體(2)上開有至少一個條狀噴口(3)。本實用新型提供了一種應于在TFT基板制造過程中的新型的剝離液噴嘴，該噴嘴不同于現有的將很多圓型噴嘴(一般為4個圓型噴嘴以上)并排安裝在一起的噴嘴結構，這種結構中藥液通過很多噴嘴對基板噴淋剝膜液進行剝膜，而是采用一個完整的“一字型”的噴嘴，將剝膜液用一定壓力導入噴嘴中，這些藥液從噴嘴的一字型細縫中噴出，到達TFT基板表面進行剝離。這一新型噴嘴尤其適應于分辨率較高的TFT基板，經過試用證明，可以有效去除殘留的PR。
文檔編號G03F7/42GK203037996SQ201220659869
公開日2013年7月3日 申請日期2012年12月4日 優先權日2012年12月4日
發明者張明 申請人:彩虹(佛山)平板顯示有限公司