本發(fā)明涉及的是具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)，屬于機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

涂布機(jī)使用的光刻膠（光阻）經(jīng)過VCD（真空干燥機(jī)臺(tái)）動(dòng)作變?yōu)闅鈶B(tài)藥劑，由高壓泵處理后，由氣態(tài)形式轉(zhuǎn)變?yōu)橐簯B(tài)形式，重新供給到藥液供給端，起到循環(huán)使用功能；目前使用的涂布藥劑無回收系統(tǒng)，只有循環(huán)系統(tǒng)，如果藥劑供給端處于滿狀態(tài)或者不供給狀態(tài)，則會(huì)將循環(huán)的藥劑直接從廢液端口排出，對材料造成浪費(fèi)，故本發(fā)明針對藥劑直接從廢液端排出的問題設(shè)計(jì)解決；

現(xiàn)有技術(shù)在藥劑回收中存在設(shè)計(jì)上的缺陷導(dǎo)致藥劑從廢液端口排出，浪費(fèi)材料加之藥劑材料價(jià)格較高，藥劑采購費(fèi)用較高而且每個(gè)月消耗量極大，造成公司營運(yùn)費(fèi)用增加。現(xiàn)有的循環(huán)系統(tǒng)沒有考量藥劑回收的狀況，僅僅是在機(jī)臺(tái)側(cè)需要使用時(shí)進(jìn)行供給，在不需要使用時(shí)直接排出，造成不必要的浪費(fèi)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提出的是具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)，其目的是在原有的涂布機(jī)藥劑循環(huán)系統(tǒng)的基礎(chǔ)上增加藥劑回收系統(tǒng)，在涂布機(jī)不需要使用時(shí)，將排出的藥劑回收存放，在機(jī)臺(tái)側(cè)需要使用時(shí)進(jìn)行供給，從而將藥劑有效回收，達(dá)到可控及合理利用，降低不必要的消耗，經(jīng)測算單月降低成本30%，一年節(jié)省成本200萬元。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案：具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)，包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環(huán)系統(tǒng)和藥劑回收系統(tǒng)；其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵，高壓冷卻泵通過1個(gè)電磁閥、一個(gè)氣動(dòng)閥連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)，藥劑回收系統(tǒng)的輸入端通過1個(gè)電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口，藥劑回收系統(tǒng)的輸出端連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)。

其工作方法如下：

（1）光刻膠經(jīng)過真空干燥裝置作業(yè)后轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)形式存在，經(jīng)過高壓冷卻泵工作后，轉(zhuǎn)變?yōu)橐簯B(tài)形式形成可供使用的藥劑；

（2）當(dāng)容器液位傳感器感應(yīng)到4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的某個(gè)藥劑容器處于空狀態(tài)時(shí)，發(fā)出供給信號(hào)，供給信號(hào)控制的與空狀態(tài)的藥劑容器對應(yīng)的電磁閥收到信號(hào)，控制氣動(dòng)閥將管道打開，將藥劑提供到空狀態(tài)的藥劑容器內(nèi)進(jìn)行填充作業(yè)，并通過容器供給輸出系統(tǒng)將藥劑輸出，通過藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)控制藥劑進(jìn)入光刻膠輸出口；

（3）當(dāng)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)不需要進(jìn)行供給作業(yè)時(shí)，供給信號(hào)關(guān)閉，在信號(hào)關(guān)閉對應(yīng)的管道出口處設(shè)有藥劑回收系統(tǒng)，通過電磁閥信號(hào)控制氣動(dòng)閥，將排出的溶劑填充至C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)進(jìn)行存儲(chǔ)工作；當(dāng)設(shè)備端口需要藥劑時(shí)，通過信號(hào)引導(dǎo)閥門控制，優(yōu)先將C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)藥劑供給到4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：增加回收系統(tǒng)，提高藥劑使用率，節(jié)省材料消耗，節(jié)省費(fèi)用，降低公司成本。

附圖說明

附圖1是具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如附圖1所示，具有藥劑回收系統(tǒng)的光刻膠涂布機(jī)，包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環(huán)系統(tǒng)和藥劑回收系統(tǒng)；其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵，高壓冷卻泵通過1個(gè)電磁閥、一個(gè)氣動(dòng)閥結(jié)構(gòu)連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)，藥劑回收系統(tǒng)的輸入端通過1個(gè)電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口，藥劑回收系統(tǒng)的輸出端連接藥劑循環(huán)系統(tǒng)。

所述的藥劑循環(huán)系統(tǒng)包括4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)、藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)、光刻膠輸出口；其中4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)由4個(gè)并聯(lián)的電磁閥-氣動(dòng)閥-電磁閥連接而成，4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的A-1藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)和A-2藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)分別通過1個(gè)氣動(dòng)閥、一個(gè)電磁閥連接A藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)，B-1藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)和B-2藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)分別通過1個(gè)氣動(dòng)閥、一個(gè)電磁閥連接B藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)，A藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)和B藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)分別連接光刻膠輸出口。

所述的藥劑回收系統(tǒng)包括1個(gè)C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)，所述C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)的輸入端通過1個(gè)氣動(dòng)閥-電磁閥結(jié)構(gòu)連接廢液排出口前的電磁閥，C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)的輸出端通過1個(gè)電磁閥、一個(gè)氣動(dòng)閥連接高壓冷卻泵的輸出端。

所述的藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)包括藥劑容器、容器供給輸出系統(tǒng)、容器液位傳感器；其中容器液位傳感器設(shè)于藥劑容器的內(nèi)部，容器供給輸出系統(tǒng)設(shè)于藥劑容器的輸出口。

其工作方法如下：

（1）光刻膠經(jīng)過真空干燥裝置作業(yè)后轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)形式存在，經(jīng)過高壓冷卻泵工作后，轉(zhuǎn)變?yōu)橐簯B(tài)形式形成可供使用的藥劑；

（2）當(dāng)容器液位傳感器感應(yīng)到4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的某個(gè)藥劑容器處于空狀態(tài)時(shí)，發(fā)出供給信號(hào)，供給信號(hào)控制的與空狀態(tài)的藥劑容器對應(yīng)的電磁閥收到信號(hào)，控制氣動(dòng)閥將管道打開，將藥劑提供到空狀態(tài)的藥劑容器內(nèi)進(jìn)行填充作業(yè)，并通過容器供給輸出系統(tǒng)將藥劑輸出，通過藥液信號(hào)控制藥液供給開關(guān)控制藥劑進(jìn)入光刻膠輸出口；

（3）當(dāng)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)不需要進(jìn)行供給作業(yè)時(shí)，供給信號(hào)關(guān)閉，在信號(hào)關(guān)閉對應(yīng)的管道出口處設(shè)有藥劑回收系統(tǒng)，通過電磁閥信號(hào)控制氣動(dòng)閥，將排出的溶劑填充至C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)進(jìn)行存儲(chǔ)工作；當(dāng)設(shè)備端口需要藥劑時(shí)，通過信號(hào)引導(dǎo)閥門控制，優(yōu)先將C藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)藥劑供給到4個(gè)藥劑儲(chǔ)存系統(tǒng)中的藥劑容器內(nèi)。