技術總結
本發明是具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機，包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環系統和藥劑回收系統；其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵，高壓冷卻泵通過1個電磁閥?氣動閥結構連接藥劑循環系統，藥劑回收系統的輸入端通過1個電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口，藥劑回收系統的輸出端連接藥劑循環系統。優點：增加回收系統，提高藥劑使用率，節省材料消耗，節省費用，降低公司成本。

技術研發人員：徐飛;彭建中;李亞明;高廣修;吳昌龍;張良
受保護的技術使用者：南京中電熊貓液晶材料科技有限公司
文檔號碼：201611016640
技術研發日：2016.11.18
技術公布日：2017.02.15