1.具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機，其特征在于，包括真空干燥裝置、高壓冷卻泵、廢液排出口、藥劑循環系統和藥劑回收系統；其中真空干燥裝置連接高壓冷卻泵，高壓冷卻泵通過1個電磁閥、一個氣動閥連接藥劑循環系統，藥劑回收系統的輸入端通過1個電磁閥連接高壓冷卻泵與廢液排出口，藥劑回收系統的輸出端連接藥劑循環系統。
2.根據權利要求1所述的具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機，其特征在于，所述的藥劑循環系統包括4個藥劑儲存系統、藥液信號控制藥液供給開關、光刻膠輸出口；其中4個藥劑儲存系統由4個電磁閥-氣動閥-電磁閥并聯連接而成，4個中的A-1藥劑儲存系統和A-2藥劑儲存系統分別通過1個氣動閥、一個電磁閥連接A藥液信號控制藥液供給開關，B-1藥劑儲存系統和B-2藥劑儲存系統分別通過1個氣動閥、一個電磁閥連接B藥液信號控制藥液供給開關，A藥液信號控制藥液供給開關和B藥液信號控制藥液供給開關分別連接光刻膠輸出口。
3.根據權利要求1所述的具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機，其特征在于，所述的藥劑回收系統包括1個C藥劑儲存系統，所述C藥劑儲存系統的輸入端通過1個氣動閥、一個電磁閥連接廢液排出口前的電磁閥，C藥劑儲存系統的輸出端通過1個電磁閥、一個氣動閥連接高壓冷卻泵的輸出端。
4.根據權利要求2和3所述的具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機，其特征在于，所述的藥劑儲存系統包括藥劑容器、容器供給輸出系統、容器液位傳感器；其中容器液位傳感器設于藥劑容器的內部，容器供給輸出系統設于藥劑容器的輸出口。
5.如權利要求1所述的具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機的工作方法，其特征在于，包括如下步驟：
（1）光刻膠經過真空干燥裝置作業后轉變為氣態形式存在，經過高壓冷卻泵工作后，轉變為液態形式形成可供使用的藥劑；
（2）當容器液位傳感器感應到4個藥劑儲存系統中的某個藥劑容器處于空狀態時，發出供給信號，供給信號控制的與空狀態的藥劑容器對應的電磁閥收到信號，控制氣動閥將管道打開，將藥劑提供到空狀態的藥劑容器內進行填充作業，并通過容器供給輸出系統將藥劑輸出，通過藥液信號控制藥液供給開關控制藥劑進入光刻膠輸出口；
（3）當藥劑儲存系統不需要進行供給作業時，供給信號關閉，在信號關閉對應的管道出口處設有藥劑回收系統，通過電磁閥信號控制氣動閥，將排出的溶劑填充至C藥劑儲存系統中的藥劑容器內進行存儲工作；當設備端口需要藥劑時，通過信號引導閥門控制，優先將C藥劑儲存系統中的藥劑容器內藥劑供給到4個藥劑儲存系統中的藥劑容器內。