技術特征：

技術總結
本發明提供一種曝光機及遮光葉片。該曝光機通過在第一前遮光葉片的豎直部中設置開口，使得第一前遮光葉片移動時空氣可通過所述開口流動，進而減少第一前遮光葉片移動時第一前遮光葉片與光罩保護膜之間的氣壓下降，避免光罩保護膜被刮蹭，并通過在所述開口的頂部和側部設置遮光板，避免曝光所用的紫外光從所述開口泄漏出去，保證第一前遮光葉片的遮光效果和曝光機的曝光效果，防止圖形異常。

技術研發人員：王維;林明文;江敏成;許俊安;熊定;蔡在秉
受保護的技術使用者：深圳市華星光電技術有限公司
技術研發日：2017.07.17
技術公布日：2017.09.29