技術(shù)特征：

1.一種熔石英高精度表面激光雙面拋光方法，其特征在于，主要包括以下步驟：

2.如權(quán)利要求1所述的熔石英高精度表面激光雙面拋光方法，其特征在于，s2步驟中所述有限元仿真模擬具體步驟為：

3.如權(quán)利要求1所述的熔石英高精度表面激光雙面拋光方法，其特征在于，s3步驟中所述的激光拋光參數(shù)包括：激光波長為10.6μm，功率為10w-150w，掃描速度為1mm/s-10mm/s，路徑間距為20μm-1mm，光斑直徑為2mm-6mm。

4.如權(quán)利要求1所述的熔石英高精度表面激光雙面拋光方法，其特征在于，s3和s5步驟中所述掃描路徑包括光柵式掃描路徑，每條掃描路徑的起始點和終止點均超出加工面的范圍。

5.如權(quán)利要求1所述的熔石英高精度表面激光雙面拋光方法，其特征在于，所述s4步驟中，熱力學(xué)溫度分布利用傅里葉熱力學(xué)方程進(jìn)行計算，所述公式為：

6.如權(quán)利要求1所述的熔石英高精度表面激光雙面拋光方法，其特征在于，所述s3步驟的激光拋光實驗中光斑半徑、激光功率、激光頻率、激光波長和路徑間距均與s2步驟的有限元仿真中參數(shù)相同，s5步驟的激光拋光實驗中光斑半徑、激光功率、激光頻率、激光波長和路徑間距均與s4步驟的有限元仿真中參數(shù)相同。

7.如權(quán)利要求1所述的熔石英高精度表面激光雙面拋光方法，其特征在于，所述s3和s5步驟中，利用測溫儀實時監(jiān)控元件表面最高溫度，反饋控制激光掃描速度，若元件表面溫度低于熔石英的熔融溫度(1800k)，則降低掃描速度，若元件表面溫度高于熔石英的氣化溫度(2500k)，則提高掃描速度。

技術(shù)總結(jié)
一種熔石英高精度表面激光雙面拋光方法，屬于光學(xué)元件激光加工技術(shù)領(lǐng)域。為了解決熔石英元件在現(xiàn)有激光拋光工藝下產(chǎn)生面形畸變的問題，該方法包括：首先將熔石英元件進(jìn)行超聲清洗并使用壓縮空氣吹干；通過有限元仿真模擬激光拋光后熔石英形貌分布，優(yōu)化掃描速度；然后按照優(yōu)化掃描速度后的工藝參數(shù)及加工路徑進(jìn)行目標(biāo)面的拋光；通過有限元仿真獲取激光拋光后熔石英內(nèi)部溫度分布，對不同厚度元件的拋光功率進(jìn)行優(yōu)化；再利用優(yōu)化后的激光功率對目標(biāo)面的背面進(jìn)行拋光；激光拋光后再次進(jìn)行超聲清洗及烘干。本發(fā)明工藝簡單且成本低廉，可顯著提升表面面形質(zhì)量并降低粗糙度，規(guī)避了參數(shù)交叉實驗耗費的時間成本，高效地實現(xiàn)了激光拋光參數(shù)的優(yōu)化。

技術(shù)研發(fā)人員：魏朝陽,韓宜池,萬嵩林,彭小聰,邵建達(dá)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/28